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基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器
被引量:
10
1
作者
张涛
吴一辉
+3 位作者
黎海文
刘波
张平
王淑荣
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期866-872,共7页
提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形,接着沉积种子层铜(Cu),然后对种子层进行整体Cu的电铸;当种子层生长到20μm左右时,剥离硅片表面的镀层并用光刻胶保护磁芯...
提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形,接着沉积种子层铜(Cu),然后对种子层进行整体Cu的电铸;当种子层生长到20μm左右时,剥离硅片表面的镀层并用光刻胶保护磁芯位置的镀层;再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸;最后保护制作好的线圈镀层,电铸NiFe合金材料。在10 mm×10 mm×0.38 mm的硅片上,制作出线圈匝数22×2(铜线截面积60μm×60μm、总长度达1 164 mm)、NiFe合金磁芯尺寸为3mm×3 mm×0.2 mm的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验:通入0.3 A的正弦电流时,微驱动器产生约50 mN的电磁力。实验结果表明:这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器具有更高的能量密度,能产生更大的电磁驱动力。
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关键词
MEMS
微型电磁驱动器
高能量密度
多匝双层平面微线圈
厚NiFe合金镀层
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职称材料
多回转阀门电动执行机构的现代设计流程研究
被引量:
6
2
作者
聂建军
吕亚磊
+2 位作者
李辉
姜二彪
刘媛
《煤矿机械》
2015年第10期83-85,共3页
对比分析了多回转阀门电动执行机构传统设计方法和现代设计流程的差异,并按照现代设计流程对执行机构进行了开发设计。在设计过程中,对各零部件进行了参数化设计,并采用虚拟样机技术建立了传动机构的虚拟装配模型,为机构的运动学和动力...
对比分析了多回转阀门电动执行机构传统设计方法和现代设计流程的差异,并按照现代设计流程对执行机构进行了开发设计。在设计过程中,对各零部件进行了参数化设计,并采用虚拟样机技术建立了传动机构的虚拟装配模型,为机构的运动学和动力学模拟提供理论模型,并便于设计优化;运用仿真软件对机构进行了运动学和动力学分析,并与实验结果进行了对比,实现了预期目的,取得了良好效果。
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关键词
多回转阀门
电动执行机构
现代设计流程
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职称材料
多转式智能阀门电动执行机构控制系统设计
被引量:
6
3
作者
武自才
郭万军
《阀门》
2007年第1期25-28,共4页
阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制、现场手动调节、信号检测、故障指示及人机交互接口等功能于一体的智能...
阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制、现场手动调节、信号检测、故障指示及人机交互接口等功能于一体的智能阀门控制系统。
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关键词
多转式
智能化
阀门
电动执行机构
模块化
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职称材料
阀门多回转驱动装置连接技术相关标准规定的分析与研究
被引量:
1
4
作者
项美根
黄明亚
胡军
《阀门》
2018年第4期26-29,共4页
介绍了ISO 5210-2017《工业阀门多回转阀门驱动装置的连接》的技术内容修订过程和目的。分析了国际标准与我国现行国家标准GB/T 12222-2005《多回转阀门驱动装置的连接》的数据对比和技术要求。讨论了国际标准增加的法兰代号范围及多种...
介绍了ISO 5210-2017《工业阀门多回转阀门驱动装置的连接》的技术内容修订过程和目的。分析了国际标准与我国现行国家标准GB/T 12222-2005《多回转阀门驱动装置的连接》的数据对比和技术要求。讨论了国际标准增加的法兰代号范围及多种连接形式与尺寸,并提出了促进我国阀门驱动装置产品有序发展的意见和建议。
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关键词
阀门
多回转驱动装置
ISO
标准
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职称材料
阀门与多回转电动装置的连接
5
作者
王景军
《阀门》
2018年第3期40-43,共4页
介绍了阀门与多回转电动装置的连接结构型式,分析了各种阀门结构的特点及适用性,论述了实际应用中正确的连接程序。
关键词
阀门
多回转电动装置
连接
结构
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职称材料
智能多转式电动阀门执行机构控制系统设计
6
作者
武自才
郭万军
《自动化信息》
2006年第10期64-65,60,共3页
本文详细阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用Freescal。公司的16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制,现场手动调节,信号检测,故障指示及人机交...
本文详细阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用Freescal。公司的16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制,现场手动调节,信号检测,故障指示及人机交互接口等功能干一体的智能阀门控制系统。
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关键词
多转式
智能化
阀门
电动执行机构
模块化
力矩
现场总线
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职称材料
题名
基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器
被引量:
10
1
作者
张涛
吴一辉
黎海文
刘波
张平
王淑荣
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期866-872,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60574089)
文摘
提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形,接着沉积种子层铜(Cu),然后对种子层进行整体Cu的电铸;当种子层生长到20μm左右时,剥离硅片表面的镀层并用光刻胶保护磁芯位置的镀层;再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸;最后保护制作好的线圈镀层,电铸NiFe合金材料。在10 mm×10 mm×0.38 mm的硅片上,制作出线圈匝数22×2(铜线截面积60μm×60μm、总长度达1 164 mm)、NiFe合金磁芯尺寸为3mm×3 mm×0.2 mm的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验:通入0.3 A的正弦电流时,微驱动器产生约50 mN的电磁力。实验结果表明:这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器具有更高的能量密度,能产生更大的电磁驱动力。
关键词
MEMS
微型电磁驱动器
高能量密度
多匝双层平面微线圈
厚NiFe合金镀层
Keywords
MEMS
micro electromagnetic
actuator
high energy density
multi
-
turn
double planar microcoils
thick permalloy plating
分类号
TM57 [电气工程—电器]
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
多回转阀门电动执行机构的现代设计流程研究
被引量:
6
2
作者
聂建军
吕亚磊
李辉
姜二彪
刘媛
机构
中原工学院机电学院
郑州宏宇自控设备有限公司
出处
《煤矿机械》
2015年第10期83-85,共3页
基金
河南省科技攻关资助项目(132102210196)
河南省产学研合作项目(142107000038)
文摘
对比分析了多回转阀门电动执行机构传统设计方法和现代设计流程的差异,并按照现代设计流程对执行机构进行了开发设计。在设计过程中,对各零部件进行了参数化设计,并采用虚拟样机技术建立了传动机构的虚拟装配模型,为机构的运动学和动力学模拟提供理论模型,并便于设计优化;运用仿真软件对机构进行了运动学和动力学分析,并与实验结果进行了对比,实现了预期目的,取得了良好效果。
关键词
多回转阀门
电动执行机构
现代设计流程
Keywords
multi
-
turn
valves
electric
actuator
modern design process
分类号
TH132.41 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
多转式智能阀门电动执行机构控制系统设计
被引量:
6
3
作者
武自才
郭万军
机构
吴忠仪表股份有限公司
出处
《阀门》
2007年第1期25-28,共4页
文摘
阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制、现场手动调节、信号检测、故障指示及人机交互接口等功能于一体的智能阀门控制系统。
关键词
多转式
智能化
阀门
电动执行机构
模块化
Keywords
multi
-
turn
intelligent
valve
electric
actuator
s
modularization
分类号
TM921.5 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
阀门多回转驱动装置连接技术相关标准规定的分析与研究
被引量:
1
4
作者
项美根
黄明亚
胡军
机构
黄山良业阀门有限公司
合肥通用机械研究院有限公司
出处
《阀门》
2018年第4期26-29,共4页
文摘
介绍了ISO 5210-2017《工业阀门多回转阀门驱动装置的连接》的技术内容修订过程和目的。分析了国际标准与我国现行国家标准GB/T 12222-2005《多回转阀门驱动装置的连接》的数据对比和技术要求。讨论了国际标准增加的法兰代号范围及多种连接形式与尺寸,并提出了促进我国阀门驱动装置产品有序发展的意见和建议。
关键词
阀门
多回转驱动装置
ISO
标准
Keywords
valve
multi - turn actuator
ISO
standardization
分类号
TH134 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
阀门与多回转电动装置的连接
5
作者
王景军
机构
天津百利二通机械有限公司
出处
《阀门》
2018年第3期40-43,共4页
文摘
介绍了阀门与多回转电动装置的连接结构型式,分析了各种阀门结构的特点及适用性,论述了实际应用中正确的连接程序。
关键词
阀门
多回转电动装置
连接
结构
Keywords
valve
multi - turn actuator
connection
structure
分类号
TH134 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
智能多转式电动阀门执行机构控制系统设计
6
作者
武自才
郭万军
机构
吴忠仪表股份有限公司
出处
《自动化信息》
2006年第10期64-65,60,共3页
文摘
本文详细阐述了一种多转式阀门电动执行机构智能控制系统的工作原理、硬件构成和软件设计。该控制系统采用Freescal。公司的16位微处理器作为中央控制单元,完成了一个集远程自动、手动控制,现场手动调节,信号检测,故障指示及人机交互接口等功能干一体的智能阀门控制系统。
关键词
多转式
智能化
阀门
电动执行机构
模块化
力矩
现场总线
Keywords
multi
-
turn
Intelligent
Valve
Electric
actuator
s
Modularization
Torque
Fieht Bus
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器
张涛
吴一辉
黎海文
刘波
张平
王淑荣
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
10
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职称材料
2
多回转阀门电动执行机构的现代设计流程研究
聂建军
吕亚磊
李辉
姜二彪
刘媛
《煤矿机械》
2015
6
下载PDF
职称材料
3
多转式智能阀门电动执行机构控制系统设计
武自才
郭万军
《阀门》
2007
6
下载PDF
职称材料
4
阀门多回转驱动装置连接技术相关标准规定的分析与研究
项美根
黄明亚
胡军
《阀门》
2018
1
下载PDF
职称材料
5
阀门与多回转电动装置的连接
王景军
《阀门》
2018
0
下载PDF
职称材料
6
智能多转式电动阀门执行机构控制系统设计
武自才
郭万军
《自动化信息》
2006
0
下载PDF
职称材料
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