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Modeling and Analysis of Mechanical Quality Factor of the Resonator for Cylinder Vibratory Gyroscope 被引量:5
1
作者 XI Xiang WU Xuezhong +1 位作者 WU Yulie ZHANG Yongmeng 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期180-189,共10页
Mechanical Quality factor(Q factor) of the resonator is an important parameter for the cylinder vibratory gyroscope(CVG). Traditional analytical methods mainly focus on a partial energy loss during the vibration p... Mechanical Quality factor(Q factor) of the resonator is an important parameter for the cylinder vibratory gyroscope(CVG). Traditional analytical methods mainly focus on a partial energy loss during the vibration process of the CVG resonator, thus are not accurate for the mechanical Q factor prediction. Therefore an integrated model including air damping loss, surface defect loss, support loss, thermoelastic damping loss and internal friction loss is proposed to obtain the mechanical Q factor of the CVG resonator. Based on structural dynamics and energy dissipation analysis, the contribution of each energy loss to the total mechanical Q factor is quantificationally analyzed. For the resonator with radius ranging from 10 mm to 20 mm, its mechanical Q factor is mainly related to the support loss, thermoelastic damping loss and internal friction loss, which are fundamentally determined by the geometric sizes and material properties of the resonator. In addition, resonators made of alloy 3J53 (Ni42CrTiA1), with different sizes, were experimentally fabricated to test the mechanical Q factor. The theoretical model is well verified by the experimental data, thus provides an effective theoretical method to design and predict the mechanical Q factor of the CVG resonator. 展开更多
关键词 mechanical Quality factor cylinder vibratory gyroscope energy loss
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Linear,nonlinear dynamics,and sensitivity analysis of a vibratory ring gyroscope
2
作者 Dong-Dong Liang Xiao-Dong Yang +2 位作者 Wei Zhang Yuan Ren Tianzhi Yang 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS CSCD 2018年第6期393-403,I0004,共12页
The linear and nonlinear dynamic responses of a vibratory ring gyroscope are investigated in this study focusing on the response mechanism of such a vibratory gyroscope. It is found that the nonlinear equations govern... The linear and nonlinear dynamic responses of a vibratory ring gyroscope are investigated in this study focusing on the response mechanism of such a vibratory gyroscope. It is found that the nonlinear equations governing the drive and sense directions are coupled through both inertial linear and geometric nonlinear terms. Nonlinear responses are studied based on the full coupled nonlinear dynamic equations. The varying amplitude on the sense direction is analyzed for different input angular rates. The effect of nonlinearity on the ring gyroscope system is performed by comparing the results of nonlinear responses to those of linear responses. The contributions of some parameters to the amplitude responses and gyroscope sensitivity are analyzed, the conclusions of which provide guidelines to improve the sensitivity of the vibratory ring gyroscopes. 展开更多
关键词 vibratory ring gyroscope Amplitude responses Nonlinear effect Sensitivity
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圆柱壳体振动陀螺修调技术进展
3
作者 郑皓宁 路国光 +2 位作者 龙超 孙小燕 胡友旺 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第3期6-10,共5页
圆柱壳体振动陀螺是一种重要的惯性导航传感器,有精度高、能耗低、耐冲击和寿命长等特点,具有广阔的应用空间。其性能与频率裂解、振型偏移、品质因数有关,它们直接影响陀螺的零偏稳定性。为了提高圆柱壳体振动陀螺的性能,机械修调十分... 圆柱壳体振动陀螺是一种重要的惯性导航传感器,有精度高、能耗低、耐冲击和寿命长等特点,具有广阔的应用空间。其性能与频率裂解、振型偏移、品质因数有关,它们直接影响陀螺的零偏稳定性。为了提高圆柱壳体振动陀螺的性能,机械修调十分必要。本文梳理了圆柱壳体振动陀螺修调的相关理论和近年来国内外有关陀螺修调的方法与装置,提出修调技术在未来可能的发展方向。 展开更多
关键词 圆柱壳体振动陀螺 频率裂解 振型偏移 品质因数 修调技术
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全金属固态振动陀螺振子特性仿真分析
4
作者 周建欣 刘洪 +2 位作者 谢帅 祝正原 于东明 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第11期34-37,共4页
设计了一种具有小体积、抗高过载、高Q值等特点的新型金属陀螺,即全金属固态振动陀螺(ASVG)。利用仿真软件建立振子三维度的动态模型,通过有限元分析软件进行模态分析,得到振子的固有频率及不同频率对应的振动形状;并通过谐响应分析,得... 设计了一种具有小体积、抗高过载、高Q值等特点的新型金属陀螺,即全金属固态振动陀螺(ASVG)。利用仿真软件建立振子三维度的动态模型,通过有限元分析软件进行模态分析,得到振子的固有频率及不同频率对应的振动形状;并通过谐响应分析,得到振子在特定频率下的结构响应;对振子进行过载特性仿真分析,得出振子在不同过载下的最大应力值及最大位移值。最终得出一种直径为10 mm,固有频率为10566 Hz,模态隔离度大于1000 Hz,并且能够承受不小于16×10^(4)gn的过载冲击的新型金属振子。 展开更多
关键词 金属振子 振动陀螺 有限元仿真 幅频特性 抗高过载
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Closed loop control design for the sense mode of micromachined vibratory gyroscopes 被引量:10
5
作者 HE ChunHua ZHAO QianCheng +2 位作者 LIU YuXian YANG ZhenChuan YAN GuiZhen 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第5期1112-1118,共7页
This paper presents a novel design method of force rebalance control for the sense mode of micromachined vibratory gyroscopes.Specific theoretical deductions are performed to identify a precise linear model of the ope... This paper presents a novel design method of force rebalance control for the sense mode of micromachined vibratory gyroscopes.Specific theoretical deductions are performed to identify a precise linear model of the open loop system of the sense mode,which is crucial for the PI controller design.The frequency responses obtained by experimental tests agree well with those calculated with the theoretical model,indicating the accuracy of the theoretical analyses.Experimental results demonstrate that the bandwidth of the closed loop is extended to 94.8 Hz from 2.3 Hz in the open loop and the quadrature signal is suppressed by about 64 dBV in the closed loop system.The overshoot and stable time in the step response of the closed loop system are measured to be about 15% and 35 ms,respectively.The mode-splitting gyroscope with the closed loop controlled sense mode achieves a scale factor of 41.0 mV/deg/s with nonlinearity of 0.09% and asymmetry of 1%,and a bias instability of 4.0 °/h with angle random walk of 0.171 deg/h1/2. 展开更多
关键词 振动陀螺仪 闭环系统 控制设计 微机械 检测 线性模型 实验测试 PI控制器
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硅微机械振动陀螺零偏温度补偿研究 被引量:20
6
作者 程龙 王寿荣 叶甫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期483-485,共3页
在对某型硅微机械振动陀螺进行大量高低温环境试验的基础上,根据试验数据,建立了一种零偏温度补偿模型,并用该模型对新测的试验数据进行了预测补偿。补偿结果表明:硅微机械陀螺经该模型补偿后零偏可以减少一个数量级,补偿效果明显。
关键词 微机械振动陀螺 零偏 温度补偿
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微机械振动陀螺仪正交误差分析 被引量:12
7
作者 许宜申 王寿荣 +1 位作者 吉训生 盛平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期105-107,共3页
本文在简要介绍微机械振动陀螺仪工作原理的基础上,分析影响陀螺仪性能的正交误差所产生的原因,推导其内在的数学机理,并探讨抑制或消除正交误差影响的方法和措施。
关键词 微机械振动陀螺仪 正交误差
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硅微振动陀螺仪设计与性能测试 被引量:14
8
作者 贾方秀 裘安萍 +1 位作者 施芹 苏岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1272-1281,共10页
介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测。利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构。为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空... 介绍了基于DDSOG(Deep Dry Silicon On Glass)工艺自主研发的硅微振动陀螺仪的结构,封装,及信号与性能检测。利用结构解耦的方法和DDSOG工艺设计和制备了双质量线振动式陀螺结构。为了提高它的机械灵敏度、可靠性和长期稳定性,采取真空封装技术实现了器件级真空封装,并消除了轴向加速度等共模干扰的影响。陀螺电路采用自激闭环驱动、开环检测的方式,简化了电路。为了降低环境温度对陀螺零偏的影响,研究了既定范围内陀螺的输出特性,建立了陀螺输出与温度之间的关系模型,设计了温度补偿电路,降低了陀螺整表的功耗和体积。对采用上述技术的硅微陀螺仪进行了性能测试,测试结果表明,陀螺Q值>100 000,量程为±500(°)/s,标度为21.453mV.(°)-1s-1,非线性和对称性分别为36.905×10-6和184.125×10-6。常温下陀螺零偏稳定性为7.714 3(°)/h,带宽为100Hz,整表体积为31mm×31mm×12mm,功耗为288mW。该陀螺仪性能好、体积小、功耗低,在中等精度的惯性导航系统中有较好的应用前景。 展开更多
关键词 硅微振动陀螺仪 真空封装 自激驱动 温度补偿
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振动轮式微机械陀螺仪数学模型及工作状况分析 被引量:10
9
作者 谈振藩 罗跃生 李康 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期33-36,共4页
介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简... 介绍了振动轮式微机械陀螺仪的工作原理 ,给出了振动轮式微机械陀螺仪的结构示意图和工作原理图 .利用刚体转动的欧拉动力学方程 ,通过严格的力学分析和严密的数学验算推导了振动轮式微机械陀螺仪的一个数学模型 ,并对数学模型进行了简化 ,得到了近似解 . 展开更多
关键词 振动轮式微机械陀螺仪 欧拉动力学方程 数学模型 工作状况
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振动式微陀螺正交误差自补偿方法 被引量:8
10
作者 刘学 陈志华 +4 位作者 肖定邦 吴学忠 苏剑彬 侯占强 贺琨 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1221-1225,共5页
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正... 微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。 展开更多
关键词 微机电系统 正交误差 自补偿 振动式微陀螺 交叉耦合
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硅微振动陀螺仪驱动器自激驱动研究 被引量:14
11
作者 王存超 苏岩 王寿荣 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期364-366,370,共4页
为了提高硅微机械陀螺仪的检测精度,稳定驱动振动速度的幅度和频率,采用了硅微机械陀螺仪自激驱动方式。该方式能够使驱动振动自动稳定在陀螺仪驱动模态的谐振频率上。同时,采用自动增益控制(AGC)保持恒定的驱动振动幅度。根据自激驱动... 为了提高硅微机械陀螺仪的检测精度,稳定驱动振动速度的幅度和频率,采用了硅微机械陀螺仪自激驱动方式。该方式能够使驱动振动自动稳定在陀螺仪驱动模态的谐振频率上。同时,采用自动增益控制(AGC)保持恒定的驱动振动幅度。根据自激驱动电路原理和现有的陀螺样品,建立了陀螺仪驱动动力学方程的等效电路模型。设计、制作了自激驱动电路,仿真和实验结果表明该方法切实可行。 展开更多
关键词 硅微振动陀螺仪 自激驱动 模态
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基于高速摄像的双线性振动陀螺力学特性分析 被引量:9
12
作者 蒋明 杨福俊 +2 位作者 董萼良 郑翔 何小元 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期121-126,共6页
针对微机械陀螺特征尺寸小、振动频率高,其动态特性难以精确评价的问题,提出了基于高速摄像技术、显微技术与数字图像相关技术的测试方案。并用此方法测量了双线性振动陀螺的固有频率、品质因子、—阶模态振型和杨氏模量。实验数据表明... 针对微机械陀螺特征尺寸小、振动频率高,其动态特性难以精确评价的问题,提出了基于高速摄像技术、显微技术与数字图像相关技术的测试方案。并用此方法测量了双线性振动陀螺的固有频率、品质因子、—阶模态振型和杨氏模量。实验数据表明,系统分辨率可达0.01μm,不同驱动频率下所测振子响应频率误差小于0.023%。 展开更多
关键词 双线性振动陀螺 固有频率 品质因子 杨氏模量 高速摄影
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微机械振动式陀螺接口电路设计与实现 被引量:12
13
作者 陈懿 金仲和 +2 位作者 王慧泉 焦纪伟 王跃林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期726-732,共7页
介绍了一种电磁驱动电容检测的微机械振动式陀螺的接口电路,电路由自激驱动电路和信号检测处理电路组成。自激驱动部分利用陀螺自身的谐振特性配合反馈电路产生自激振荡,同时为检测部分提供了稳定的同步信号;检测部分利用该同步信号和... 介绍了一种电磁驱动电容检测的微机械振动式陀螺的接口电路,电路由自激驱动电路和信号检测处理电路组成。自激驱动部分利用陀螺自身的谐振特性配合反馈电路产生自激振荡,同时为检测部分提供了稳定的同步信号;检测部分利用该同步信号和陀螺的输出信号进行同步解调,得到角速度信号。最后对该电路的性能和测试结果进行了分析。 展开更多
关键词 微机械振动式陀螺 自激驱动 电容电压变换 同步解调 自动增益控制
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陀螺系统的受迫振动及其时滞反馈控制 被引量:11
14
作者 李欣业 张利娟 张华彪 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第9期63-68,共6页
对简谐激励下陀螺系统的受迫振动及其在含时滞的位移和速度反馈控制下的动力学行为进行研究。利用拉格朗日方程,建立两自由度陀螺系统的运动微分方程。考虑主共振和1:1内共振的情况,采用平均法得到了平均方程。通过对平均方程进行化简,... 对简谐激励下陀螺系统的受迫振动及其在含时滞的位移和速度反馈控制下的动力学行为进行研究。利用拉格朗日方程,建立两自由度陀螺系统的运动微分方程。考虑主共振和1:1内共振的情况,采用平均法得到了平均方程。通过对平均方程进行化简,得到关于系统振幅的分岔方程,分别讨论各个参数对系统振幅的影响。根据奇异性理论,分析参数变化对系统分岔行为的影响。对受迫陀螺系统施加含时滞的位移和速度反馈控制,讨论反馈增益和时滞对系统振幅的影响。 展开更多
关键词 微机械振动式陀螺系统 非线性动力学 时滞反馈控制 分岔
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半球谐振陀螺控制及补偿技术 被引量:9
15
作者 伊国兴 魏振楠 +2 位作者 王常虹 奚伯齐 孙一为 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期780-789,共10页
首先介绍了半球谐振陀螺(HRG)发展历程,分析国内外研究现状并总结了现阶段半球谐振陀螺发展趋势;其次讨论了半球谐振陀螺控制技术,包括不同条件下驻波的激励检测方法、陀螺工作模式、驻波控制方案,以及一种全新的频率调制控制方案;另外... 首先介绍了半球谐振陀螺(HRG)发展历程,分析国内外研究现状并总结了现阶段半球谐振陀螺发展趋势;其次讨论了半球谐振陀螺控制技术,包括不同条件下驻波的激励检测方法、陀螺工作模式、驻波控制方案,以及一种全新的频率调制控制方案;另外,分别以驻波调制补偿、电极增益补偿、多陀螺补偿以及环境载荷补偿为例,分析了控制方案补偿、器件补偿、系统补偿以及场景补偿等四种半球谐振陀螺补偿技术;最后通过对现有技术和研究的分析,提出了半球谐振陀螺控制及补偿技术未来的发展方向。 展开更多
关键词 半球谐振陀螺 哥氏振动陀螺 驻波控制技术 陀螺补偿技术
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微型双框架角振动陀螺仪的原理及结构误差分析 被引量:4
16
作者 蔡体菁 裘安萍 周百令 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1999年第3期130-133,共4页
给出了内框驱动、外框敏感、电容检测的微型双框架角振动陀螺仪的的运动方程和其运动规律。
关键词 角振动陀螺仪 原理误差 结构误差 微机械陀螺仪
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微机械振动陀螺仪闭环驱动电路分析与设计 被引量:10
17
作者 许宜申 王寿荣 +1 位作者 盛平 吉训生 《测控技术》 CSCD 2006年第10期68-70,共3页
为了提高微机械振动陀螺仪输出信号的灵敏度,通常要求驱动信号频率与陀螺仪驱动模态的谐振频率相匹配,且驱动信号幅值稳定。驱动电压信号要满足这些要求,必须采用闭环驱动方式。完整地推导了闭环驱动电路的内在机理,探讨了自激振荡与锁... 为了提高微机械振动陀螺仪输出信号的灵敏度,通常要求驱动信号频率与陀螺仪驱动模态的谐振频率相匹配,且驱动信号幅值稳定。驱动电压信号要满足这些要求,必须采用闭环驱动方式。完整地推导了闭环驱动电路的内在机理,探讨了自激振荡与锁相环两种实现方式,并给出了具体的电路原理框图。 展开更多
关键词 微机械振动陀螺仪 闭环驱动 自激振荡 锁相环
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一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环驱动方案研究 被引量:10
18
作者 杨波 周百令 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期433-437,468,共6页
提出了一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环自激驱动方案。该方案对相角进行了优化控制,消除了驱动频率和驱动模态固有频率的相对频差影响,实现了闭环驱动的相角和增益条件的解耦。利用闭环回路中直流控制量与驱动力间的非线性关系,实现闭... 提出了一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环自激驱动方案。该方案对相角进行了优化控制,消除了驱动频率和驱动模态固有频率的相对频差影响,实现了闭环驱动的相角和增益条件的解耦。利用闭环回路中直流控制量与驱动力间的非线性关系,实现闭环自激控制。试验结果表明,1小时内,驱动频率变化的均方差为0.009Hz,相对变化量为2.2ppm;驱动幅度变化的均方差为0.0025mV,相对变化量为15ppm。由此可见,本方案使驱动频率和幅度稳定性得到了极大提高。 展开更多
关键词 硅微陀螺仪 闭环 自激驱动 解耦
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金属圆柱壳谐振陀螺的静电激励方法研究 被引量:4
19
作者 王鑫 潘瑶 +2 位作者 曲天良 樊振方 许光明 《导航定位与授时》 2018年第1期88-92,共5页
重点对静止状态谐振子的静电激励方法进行研究。理论上分析了采用单频激励和半频激励时由外加电压产生的静电驱动力之间的差别,根据理论分析结果,设计了不同的激励方法进行实验验证,并对实验结果进行了详细分析。
关键词 圆柱壳谐振陀螺 谐振子 静电激励
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单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究 被引量:2
20
作者 许宜申 王寿荣 王元山 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1034-1038,共5页
设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空... 设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空气中的驱动性能进行了初步测试.测试结果表明,该单片三轴硅微机械振动陀螺仪驱动模态的实际谐振频率与理论值之间的最大误差小于5%,满足设计要求. 展开更多
关键词 微机械振动陀螺仪 三轴陀螺仪 体硅溶解薄片法
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