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基于SAW滤波器的电磁寄生提取
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作者 胡月 白凤 +8 位作者 周艺蒙 范维 魏子杰 李沛然 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期453-457,共5页
针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装... 针对封装管壳和版图电磁寄生参数导致射频声表面波(SAW)滤波器通带变窄及驻波增大等问题,提出一种能快速提取封装管壳和版图中电磁寄生效应的方法,精准模拟了封装和版图对滤波器性能的影响。首先利用有限元法(FEM)电磁仿真软件提取封装管壳的电磁寄生参数,再使用电路仿真软件将所设计出的滤波器结合所提取的封装寄生参数和滤波器版图直接进行联合仿真,此方法不需将版图在FEM软件中再次进行电磁仿真,可提高时间利用率。此方法在中心频率为1 268 MHz、通带插入损耗小于1 dB、带内驻波小于1.6、带内波动为0.5 dB、带宽为24 MHz(相对带宽为1.8%)的SAW滤波器上进行了验证,结果表明仿真结果与实测值吻合度较高。该设计中所用的SAW谐振器均经过去嵌操作,能更精准地模拟实测滤波器的结果。 展开更多
关键词 电磁寄生 saw滤波器 封装 去嵌 版图
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SAW滤波器功率容量研究
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作者 白凤 帅垚 +2 位作者 吴传贵 罗文博 张万里 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第7期860-865,共6页
为了提高声表面波(SAW)滤波器的使用寿命和设计效率,有必要研究谐振单元对滤波器功率耐受力的影响。首先通过FEM有限元软件搭建由Al电极、42°Y-X LiTaO_(3)压电材料薄膜和SiO_(2)/Poly-Si/Si衬底构成的谐振器模型,并分析IDT、声孔... 为了提高声表面波(SAW)滤波器的使用寿命和设计效率,有必要研究谐振单元对滤波器功率耐受力的影响。首先通过FEM有限元软件搭建由Al电极、42°Y-X LiTaO_(3)压电材料薄膜和SiO_(2)/Poly-Si/Si衬底构成的谐振器模型,并分析IDT、声孔径、半周期对其阻抗的影响。同时,提出了一种谐振器功率测试方法,该方法可以计算出谐振器的各个频点下加载功率随输入功率的变化。为了验证功率测试方法的可靠性,对采用3030C封装的B41(2515~2675 MHz)滤波器进行功率测试,结果显示在输入功率为23 dBm时,滤波器被烧毁,与仿真数据一致。最后结合电容公式和仿真数据证实了谐振器的面积变化会改变滤波器的电容比,进而影响滤波器的散热,因此可以通过改变SAW滤波器各支路串并联结构以及各谐振器叉指对数、孔径、半周期,来提高滤波器功率耐受性。 展开更多
关键词 saw 功率 电容比 谐振器 有限元
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陶瓷封装SAW滤波器除金工艺研究
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作者 唐盘良 李亚飞 +3 位作者 黄莹 张钧翀 冷俊林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期695-699,共5页
针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。... 针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。详细介绍了搪锡载板的焊盘设计,利用红外测温仪对操作过程进行监控,对除金后的器件进行焊盘表面、焊点界面分析以及环境试验验证。试验表明,焊盘表面镀金层被完全去除,除金后的器件具有较高的可靠性。 展开更多
关键词 陶瓷封装 声表面波(saw)滤波器 搪锡 除金 可靠性
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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
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作者 王吉芳 陈平静 +6 位作者 曹稚颖 潘虹芝 董加和 肖强 吴浩东 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期447-452,457,共7页
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,... 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 压电复合薄膜 saw器件 杂波抑制 分层级联 2D-COM模型
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电磁寄生参数对SAW滤波器性能的影响
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作者 魏园林 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期463-467,共5页
设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引... 设计了B41频段的声表面波(SAW)滤波器,利用三维电磁场仿真工具HFSS建立表面贴装器件(SMD)封装和芯片级(CSP)封装模型,对比两种封装的声-电磁联合仿真结果得出,在滤波器电路拓扑结构中,当2条不同并联支路连接在一起时,由于SMD封装键合引线的电磁寄生参数影响,滤波器在高频处的带外抑制会出现“上翘”。建立不同键合线数量、直径及长度的SMD封装模型,并仿真计算S参数。对比仿真结果可知,随着键合线直径的增大和长度的减小,其等效电感逐渐变小,即键合线的电磁寄生参数逐渐减小,对SAW滤波器性能的影响逐渐减弱,高频处的带外抑制性能得到优化。结果表明,CSP封装植球倒扣的电磁寄生参数更小,声-电磁联合仿真的结果更优,与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 saw滤波器 表面贴装器件(SMD)封装 芯片级(CSP)封装 电磁寄生参数 带外抑制 键合线
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基于软件无线电方案无线无源SAW温度阅读器设计
6
作者 王其豪 曹俊豪 +1 位作者 张光祖 罗为 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期22-25,共4页
目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射... 目前谐振型声表面波(SAW)阅读器射频电路大多采取分立器件设计,针对系统整体工作频段受限,硬件设计繁琐的问题,该文提出了一种软件无线电方案。软件无线电系统主体由ZYNQ和AD9361组成,射频收发端口添加LNA、PA进行信号功率放大,使用射频开关隔离收发。通过发射步进频率5 kHz、带宽1 MHz扫频信号,并对回波进行频谱分析求取最大值,最终得到谐振频率。针对SAW传感器回波持续时间较短而导致FFT计算分辨率的不足,使用重复采集增加数据长度,将阅读器的分辨率提高到468.75 Hz。实验结果表明,该阅读器能够正确探测传感器温度变化。 展开更多
关键词 声表面波 saw谐振器 AD9361 软件无线电 ZYNQ
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面内传播方向对SAW滤波器性能的影响研究
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作者 朱建宇 魏子杰 +7 位作者 范维 李沛然 钱一聪 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期435-438,共4页
为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分... 为了满足窄带声表面波滤波器对品质因数Q值和带外抑制日益增长的需求,提出了一种窄带滤波器设计方法。在基于新型POI结构谐振器的基础上,通过旋转谐振器达到改变波传播角度的目的,并利用二维全模型得到准确的实验数据,与原结构谐振器分别代入滤波器设计中进行比较。实验结果表明,该方法在一定程度上能够有效地增加带外抑制,对过渡带抑制能力有2~4 dB的提升,且具有设计简便,占用空间小等优点。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 窄带 谐振器 带外抑制 压电材料
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Utilization of Basalt Saw Mud as a Spherical Porous Functional Aggregate for the Preparation of Ordinary Structure Concrete 被引量:1
8
作者 周永祥 关青锋 +2 位作者 LENG Faguang WANG Jing LI Tianjun 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期364-375,共12页
To promote the production and application of artificial aggregates,save natural sand resources and protect the ecological environment,we evaluated the feasibility of using spherical porous functional aggregates(SPFAs)... To promote the production and application of artificial aggregates,save natural sand resources and protect the ecological environment,we evaluated the feasibility of using spherical porous functional aggregates(SPFAs) formed by basalt saw mud under autoclave curing in ordinary structural concrete.In our work,two types of prewetted functional aggregates were taken as replacements for natural aggregates with different volume substitution rates(0%,5%,10%,15%,20%,25%,and 30%) in the preparation of ordinary structural concrete with water-to-binder ratios(W/B) of 0.48 and 0.33.The effects of the functional aggregate properties and content,W/B,and curing age on the fluidity,density,mechanical properties and autogenous shrinkage of ordinary concrete were analyzed.The experimental results showed that the density of concrete declined at a rate of not more than 5%,and the 28 d compressive strength could reach 31.0-68.2 MPa.Low W/B,long curing age and high-quality functional aggregates were conducive to enhancing the mechanical properties of SPFAs concrete.Through the rolling effects,SPFAs can optimize the particle gradation of aggregate systems and improve the fluidity of concrete,and the water stored inside SPFAs provides an internal curing effect,which prolongs the cement hydration process and considerably reduces the autogenous shrinkage of concrete.SPFAs exhibits high strength and high density,as well as being more cost-effective and ecological,and is expected to be widely employed in ordinary structural concrete. 展开更多
关键词 lightweight concrete civil concrete building basalt saw mud fly ash internal curing environmentally friendly
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基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
9
作者 温福军 王园园 +5 位作者 钱莉荣 王荔田 李翠平 熊阳 田亚会 李红浪 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期290-295,共6页
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器... 铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。 展开更多
关键词 X切铌酸锂薄膜 水平剪切声表面波 有效机电耦合系数 频率温度系数 声表面波谐振器 超宽带声表面波滤波器
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高隔离SAW双工器模组的研制
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作者 蒲志勇 杨桃均 +4 位作者 罗文汀 张伟 龚旭 杨卫东 温桎茹 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期429-434,共6页
为进一步提高LTE B3双工器频段间隔离度,利用系统级封装(SIP)技术设计了一种高隔离声表面波(SAW)双工器模组。该模组由2个SAW双工器和3个耦合器组成,利用TX-RX路径的相位相消及耦合器的隔离度,实现单颗SAW双工器上下行链路间隔离度的提... 为进一步提高LTE B3双工器频段间隔离度,利用系统级封装(SIP)技术设计了一种高隔离声表面波(SAW)双工器模组。该模组由2个SAW双工器和3个耦合器组成,利用TX-RX路径的相位相消及耦合器的隔离度,实现单颗SAW双工器上下行链路间隔离度的提高。采用阻抗元滤波器架构,实现了单颗SAW双工器隔离度达51 dB。采用宽边带状线多层螺旋耦合线结构实现了工作宽带宽、集成小型化的3 dB耦合器。研制的模组测试结果表明,在B3频段内,尺寸为8.0 mm×8.0 mm×2.0 mm,插入损耗小于3.2 dB,回波损耗大于13 dB,隔离度优于65 dB,承受瞬间功率可达34 dBm。 展开更多
关键词 高隔离 saw双工器 耦合器 模组 频分双工 多层螺旋耦合线
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离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
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作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
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A Hybrid Integrated and Low-Cost Multi-Chip Broadband Doherty Power Amplifier Module for 5G Massive MIMO Application
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作者 Fei Huang Guansheng Lv +2 位作者 Huibo Wu Wenhua Chen Zhenghe Feng 《Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期223-232,共10页
In this paper,a hybrid integrated broadband Doherty power amplifier(DPA)based on a multi-chip module(MCM),whose active devices are fabricated using the gallium nitride(GaN)process and whose passive circuits are fabric... In this paper,a hybrid integrated broadband Doherty power amplifier(DPA)based on a multi-chip module(MCM),whose active devices are fabricated using the gallium nitride(GaN)process and whose passive circuits are fabricated using the gallium arsenide(GaAs)integrated passive device(IPD)process,is proposed for 5G massive multiple-input multiple-output(MIMO)application.An inverted DPA structure with a low-Q output network is proposed to achieve better bandwidth performance,and a single-driver architecture is adopted for a chip with high gain and small area.The proposed DPA has a bandwidth of 4.4-5.0 GHz that can achieve a saturation of more than 45.0 dBm.The gain compression from 37 dBm to saturation power is less than 4 dB,and the average power-added efficiency(PAE)is 36.3%with an 8.5 dB peak-to-average power ratio(PAPR)in 4.5-5.0 GHz.The measured adjacent channel power ratio(ACPR)is better than50 dBc after digital predistortion(DPD),exhibiting satisfactory linearity. 展开更多
关键词 5G Doherty power amplifier Multi-input multi-output multi-chip modules Hybrid integrated
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基于IDT/ZnO/AlN/Diamond结构的混合SAW/BAW压力敏感元件特性研究
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作者 武庆鹏 王地懋 +1 位作者 曾龙 王艳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期322-327,共6页
利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(... 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同结构混合SAW/BAW器件的声学特性,包括层状薄膜结构、ZnO薄膜刻蚀结构和填充结构。结果表明,当h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蚀(d/h_(ZnO)=1)时,刻蚀结构混合SAW/BAW(准西沙瓦波)的机电耦合系数(K^(2))取得最大值6.54%,比层状结构(d/h_(ZnO)=0)提升了近一倍。刻蚀结构中,SiO_(2)和Diamond填充物的引入不仅提高了准西沙瓦波的K_(2),而且改善了其压力传感特性。当d/h_(ZnO)=1时,SiO_(2)和Diamond填充结构准西沙瓦波的压力频移分别为81.2 kHz/MPa和207.4 kHz/MPa,比刻蚀结构分别提高了58.7%和300%;同时,Diamond填充物的引入使准西沙瓦波的频率压力系数(PCF)达到最大值297×10^(-6)/MPa,比d/h_(ZnO)=0时提高了约30%。由此可知,通过引入不同的填充物可以开发不同的功能传感器,在压力、温度和气敏等传感领域将具有极大的应用前景。 展开更多
关键词 声表面波 准西沙瓦波 刻蚀结构 压力传感
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S355热轧H型钢SAW焊接接头微观组织与低温冲击性能研究
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作者 方革新 《金属加工(热加工)》 2024年第10期52-56,共5页
采用埋弧焊(SAW)焊接S355热轧H型钢,利用光学显微镜和扫描电镜观察焊接接头微观组织,按照欧洲标准对焊接接头进行显微硬度测试和低温冲击性能试验,利用SEM观察断口形貌进行分析。结果表明:焊缝区组织主要由针状铁素体+珠光体构成;热影... 采用埋弧焊(SAW)焊接S355热轧H型钢,利用光学显微镜和扫描电镜观察焊接接头微观组织,按照欧洲标准对焊接接头进行显微硬度测试和低温冲击性能试验,利用SEM观察断口形貌进行分析。结果表明:焊缝区组织主要由针状铁素体+珠光体构成;热影响区由粗晶区、细晶区和不完全重结晶区构成,粗晶区组织主要由粗大的铁素体+珠光体+少量的块状铁素体+粒状贝氏体构成;细晶区组织由细小均匀的铁素体和珠光体构成;不完全重结晶区组织由细小的铁素体、珠光体及原始母材带状组织构成。焊接接头各区域维氏硬度分布均匀,均<185HV10。焊接接头-40℃冲击吸收能量在熔合线位置最高,在其他位置均有一定的降低,冲击性能均满足使用要求。 展开更多
关键词 S355 saw 显微组织 低温冲击性能
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SAW-RFID系统在变压器油温在线监测中的应用与实践探究
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作者 李小君 王骁 +1 位作者 刘志高 钱昱呈 《电气传动自动化》 2024年第2期28-32,共5页
SAW-RFID系统具有较强的监测能力,可应用于变压器油温监测中,并且形成在线监测手段,实现对油温的实时控制。基于此,本文先从测温过程、高频测量、叉指换能器、反射栅、射频标签等方面对相关技术进行分析,并对SAW-RFID系统进行设计,再从... SAW-RFID系统具有较强的监测能力,可应用于变压器油温监测中,并且形成在线监测手段,实现对油温的实时控制。基于此,本文先从测温过程、高频测量、叉指换能器、反射栅、射频标签等方面对相关技术进行分析,并对SAW-RFID系统进行设计,再从标签性能、通讯距离、监测结果三个方面检测系统的性能,确保在线监测性能的可靠性,消除在线检测中的不利因素,将变压器油温控制在稳定范围。 展开更多
关键词 saw-RFID 变压器 油温监测
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Al_(2)O_(3)厚度对SAW传感器声波模式及性能的影响 被引量:1
16
作者 刘强 李鸿源 徐鸿 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期359-362,367,共5页
该文采用多物理场耦合的有限元模型,探究了保护层Al_(2)O_(3)厚度对以LGS为压电基底、Pt为电极的声表面波(SAW)高温传感器中声波特性及器件性能的影响。结果表明,随着Al_(2)O_(3)保护层厚度的增加,声表面波在L波方向的振动位移增加,在S... 该文采用多物理场耦合的有限元模型,探究了保护层Al_(2)O_(3)厚度对以LGS为压电基底、Pt为电极的声表面波(SAW)高温传感器中声波特性及器件性能的影响。结果表明,随着Al_(2)O_(3)保护层厚度的增加,声表面波在L波方向的振动位移增加,在SH波和SV波方向的振动位移减弱,当保护层归一化厚度为6.25%时,其能量向衬底内部扩散;当保护层归一化厚度为18.75%时,Rayleigh波消失,此时为体波BAW模式;增加Al_(2)O_(3)保护层,波速v、机电耦合系数K^(2)显著升高;一阶频率温度系数τ_(f,1)和转换温度随保护层厚度的增加而升高。利用Al_(2)O_(3)薄膜对SAW温度传感器进行结构优化,为了获得良好的综合性能,归一化厚度应该在0.94%附近。 展开更多
关键词 声波模式 saw传感器 Al_(2)O_(3)保护层 有限元
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高频低温漂TC-SAW滤波器的设计 被引量:1
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作者 王巍 滕洪菠 +3 位作者 王方 张迎 袁军 宋小瑛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期544-548,553,共6页
该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2... 该文设计了一款温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器,建立了弹性材料及压电材料温度方程,对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料(128°YX-LiNbO3)上沉积SiO2作为温度补偿层,降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2温度补偿层后,谐振器的反谐振频率处出现杂散响应,通过增加电极厚度,降低了谐振器杂散响应对滤波器性能的影响。采用四阶级联提高滤波器的带外抑制。仿真结果表明,设计的TC-SAW滤波器中心频率为2497 MHz,频率温度系数为-9.89×10^(-6)/℃,-30~85℃工作温度范围内的带内最大插损为1.95 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于97 MHz。 展开更多
关键词 TC-saw滤波器 谐振器 频率温度系数 电极厚度 SiO2温度补偿层
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I.H.P.SAW谐振器孔径对性能的影响 被引量:1
18
作者 钱一聪 帅垚 +3 位作者 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期350-354,共5页
该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初... 该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P.SAW)衬底上,孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO_(2)/多晶硅(Poly-Si)/Si上,通过建立对应的有限元三维仿真模型,初步得出在小锤结构下孔径总长的增大能够抑制横向模态杂散的结论。绘制了周期T为1.44μm、2μm、2.56μm下,孔径总长为7.5T、10T、15T、20T、25T、32.5T、40T的单端口谐振器版图并进行流片。通过实测结果表明,在不同周期下,随着孔径总长的不断增加,对谐振器横向模态的抑制会不断增强,机电耦合系数也不断增加,在孔径总长约为20T时阻抗比最高。仿真和实测结果体现了孔径总长对I.H.P.SAW谐振器的性能影响较大,为应用于I.H.P.SAW滤波器中的高性能谐振器提供了设计指导。 展开更多
关键词 I.H.P.saw 谐振器 孔径长度 机电耦合系数 阻抗比
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改进型3IDT-LCR结构的低损耗小矩形系数SAW滤波器 被引量:1
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作者 陈华志 罗文汀 +3 位作者 马晋毅 陈彦光 伍平 董加和 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期335-337,共3页
通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接... 通过理论仿真,该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构,并基于该结构在42°Y-X LiTaO_(3)压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz,实测插入损耗1.05 dB,低端带外抑制接近80 dB,高端带外抑制接近65 dB,-1 dB带宽10.52 MHz,-3 dB带宽12.54 MHz,-40 dB带宽16.68 MHz,矩形系数1.33。实测结果表明,该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器
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基于HCT-FEM和3D电磁模型的SAW滤波器性能仿真系统
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作者 陈华志 马晋毅 +3 位作者 罗文汀 陈彦光 唐盘良 杜雪松 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期540-543,共4页
该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的... 该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的外部电磁S参数,并在ADS软件中对SAW滤波器频率响应进行复原。将该系统应用于一款芯片级封装(CSP)的普通SAW滤波器和一款表贴封装(SMD)的单晶薄膜SAW滤波器电性能仿真,仿真与实测结果吻合较好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 分层级联 电磁仿真 有限元法
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