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Effect of cathode composition on microstructure and tribological properties of TiBN nanocomposite multilayer coating synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition 被引量:1
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作者 Lü Wen-quan CAO Yong-zhi +4 位作者 WANG Lang-ping WANG Xiao-feng GU Zhi-wei YAN Yong-da YU Fu-li 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第10期2238-2244,共7页
Nanocomposite multilayer TiBN coatings were prepared on Si(100) and 9Cr18Mo substrates using TiBN composite cathode plasma immersion ion implantation and deposition technique(PIIID). Synthesis of TiBN composite cathod... Nanocomposite multilayer TiBN coatings were prepared on Si(100) and 9Cr18Mo substrates using TiBN composite cathode plasma immersion ion implantation and deposition technique(PIIID). Synthesis of TiBN composite cathodes was conducted by powder metallurgy technology and the content of hexagonal boron nitride(h-BN) was changed from 8% to 40%(mass fraction). The as-deposited coatings were characterized by energy dispersive spectrometer(EDS), grazing incidence X-ray diffraction(GIXRD), Fourier Transform Infrared Spectroscopy(FTIR) and high resolution transmission electron microcopy(HRTEM). EDS results show that the B content of the coatings was varied from 3.71% to 13.84%(molar fraction) when the composition of the h-BN in the composited cathodes was changed from 8 % to 40%(mass fraction). GIXRD results reveal that the TiBN coatings with a B content of 8% has the main diffraction peak of TiN(200),(220) and(311), and these peaks disappear when the B content is increased. FTIR analysis of the multilayer coatings showed the presence of h-BN in all coatings. TEM images reveal that all coatings have the characteristics of self-forming nanocomposite multilayers, where the nanocomposites are composed of face-centered cubic Ti N or h-BN nanocrystalline embedded in amorphous matrix. The tribological tests reveal that the Ti BN coatings exhibit a marked decrease of coefficient at room temperature(~0.25). The improved properties were found to be derived from the comprehensiveness of the self-forming multilayers structure and the h-BN solid lubrication effects in the coatings. 展开更多
关键词 TiBN coatings NANOCOMPOSITE multilayer plasma immersion ion implantation and deposition
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Structure and Tribological Property of TiBN Nanocomposite Multilayer Synthesized by Ti-BN Composite Cathode Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition 被引量:1
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作者 吕文泉 王浪平 +4 位作者 曹永志 顾至伟 王小峰 闫永达 于福利 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第9期73-76,共4页
A Ti-BN complex cathode is made from Ti and h-BN powders by the powder metallurgy technology, and TiBN coating is obtained by plasma immersion ion implantation and deposition with this Ti-BN composite cathode. The TiB... A Ti-BN complex cathode is made from Ti and h-BN powders by the powder metallurgy technology, and TiBN coating is obtained by plasma immersion ion implantation and deposition with this Ti-BN composite cathode. The TiBN coating shows a self-forming multilayered nanocomposite structure while with relative uniform elemental distributions. High resolution transmission electron microscopy images reveal that the multilayered structure is derived from different grain sizes in the nanocomposite. Due to the existence of h-BN phase, the friction coefficient of the coating is about 0.25. 展开更多
关键词 of in is BN Structure and Tribological Property of TiBN Nanocomposite Multilayer Synthesized by Ti-BN Composite Cathode Plasma immersion ion implantation and deposition by TI
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Diamond-like carbon films synthesized on bearing steel surface by plasma immersion ion implantation and deposition
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作者 LIU Hong-xi TANG Bao-yin +4 位作者 WANG Lang-ping WANG Xiao-feng YU Yong-hao SUN Tao HU Li-guo 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2004年第z1期291-295,共5页
Diamond-like carbon (DLC) films were synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID) on 9Cr18 bearing steel surface. Influences of working gas pressure and pulse width of the bias voltage on pr... Diamond-like carbon (DLC) films were synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID) on 9Cr18 bearing steel surface. Influences of working gas pressure and pulse width of the bias voltage on properties of the thin film were investigated. The chemical compositions of the as-deposited films were characterized by Raman spectroscopy. The micro-hardness, friction and wear behavior, corrosion resistance of the samples were evaluated, respectively. Compared with uncoated substrates, micro-hardness results reveal that the maximum is increased by 88.7%. In addition, the friction coefficient decreases to about 0.1, and the corrosion resistance of treated coupons surface are improved significantly. 展开更多
关键词 plasma immersion ion implantation and deposition(PIIID) diamond-like carbon friction and wear behavior bearing steel
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PLASMA IMMERSION ION IMPLANTER FOR THE MODIFICATION OF INDUSTRIAL AEROSPACE COMPONENTS
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作者 TONGHong-hui CHENQin-chuan +5 位作者 HUOYan-feng WANGKe FENGTan-min MULi-lan ZHAOJun PaulKChu 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期186-192,共7页
A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumpi... A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumping and gas inlet system, custom sample chuck, four sets of hotfilaments, threefiltered vacuum arc plasma sources, special high voltage modulator, as well as monitoring and control systems. Special attention has been paid to improve the uniformity of plasma in the chamber. The power modulator operates in both the pulse bunching and single pulse modes. The maximum pulse voltage output is 80kV, maximum pulse current is 60A, and repetition frequency is 50~500Hz. The target chuck has been specially designed for uniform implantation into multiple aerospace components with irregular geometries as well as effective sample cooling. An in situ temperature monitoring device comprising dual thermocouples has been developed. The instrument was installed in an aerospace company and has been operating reliably for a year. In addition to reporting some of the hardware innovations, data on the improvement of the lifetime of an aircraft hydraulic pump disk using a dual nitrogen treatment process m-2; 30~45kV are presented. This treatment protocol has been adopted as a standard production procedure in the factory. 展开更多
关键词 等离子体沉积 离子注入 薄膜沉积 等离子体源
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Hybrid Method for the Formation of Biocomposites on the Surface of Stainless Steel Implants
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作者 Sergei I. Tverdokhlebov Viktor P. Ignatov +2 位作者 Igor B. Stepanov Denis O. Sivin Danila G. Petlin 《Engineering(科研)》 2012年第10期613-618,共6页
This study reports a hybrid method which allows the formation of biocomposites on stainless steel implants. The main idea of the method is to create multilayer coatings consisting of titanium primer layer and a microa... This study reports a hybrid method which allows the formation of biocomposites on stainless steel implants. The main idea of the method is to create multilayer coatings consisting of titanium primer layer and a microarc calcium-phosphate coating. The titanium layer is deposited from plasma of continuous vacuum-arc discharge, and calcium-phosphate coating is formed by the microarc oxidation technique. The purpose of the hybrid method is to combine the properties of good strength stainless steel with high bioactivity of calcium-phosphate coating. This paper describes the chemical composition, morphology characteristics, adhesion and the ability of the formed biocomposites to stimulate the processes of osteoinduction. It is expedient to use such biocomposites for implants which carry heavy loads and are intended for long-term use, e.g. total knee endoprosthesis. 展开更多
关键词 BIOCOMPOSITE STAINLESS Steel Titanium VACUUM-ARC deposition of Coatings SHORT-PULSE High-Frequency Plasma-immersion ion implantation Microarc Oxidation implant
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MPIIID制备TiAlN涂层的高温抗氧化及摩擦性能 被引量:5
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作者 解志文 王浪平 +3 位作者 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期175-180,共6页
采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高温抗氧化和摩擦性能进行分析.结果表明:Al... 采用多源等离子体注入与沉积(MPIIID)装置制备了不同Al含量的TiAlN涂层,利用X射线能谱仪(EDX)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、纳米探针和摩擦试验对涂层的组成以及高温抗氧化和摩擦性能进行分析.结果表明:Al元素的加入明显提高了涂层的高温抗氧化能力,生成的Al2O3能有效地抑制氧的扩散;当Al的原子百分数为6.18%时,涂层硬度最高,约为38 GPa,涂层具有良好的摩擦磨损特性. 展开更多
关键词 多源等离子体注入与沉积(mpiiid) TIALN涂层 氧化 摩擦
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Zinc ion implantation-deposition modification of titanium for enhanced adhesion of focal plaques of osteoblast-like cells
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作者 XU Juan HU Min +1 位作者 TAN Xin-ying LIU Chang-kui 《Chinese Medical Journal》 SCIE CAS CSCD 2013年第18期3557-3560,共4页
Background Surface modification by ion implantation-deposition is well established in materials science and can be an effective way to improve biocompatibility. The aim of this study is to evaluate the chemical compos... Background Surface modification by ion implantation-deposition is well established in materials science and can be an effective way to improve biocompatibility. The aim of this study is to evaluate the chemical composition of a modified titanium (Ti) surface after zinc (Zn) ion implantation and deposition and examine the effect of the modification on the formation of cellular focal adhesion plaques in vitro. Methods cp-Ti discs were modified with Zn ion implantation and deposition via PIIID. The chemical composition of the surface modification was characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The formation of focal adhesion plaques on the modified Ti was investigated with human osteoblast-like MG-63 cells that were seeded onto the Ti surfaces and quantified by morphometric analysis under a confocal microscope. Results XPS data revealed that the modified Zn-Ti surface consisted of Ti, oxygen, Zn, and carbon. In addition, Gaussian fitting of the spectra indicated that the modified surface contained titanium dioxide and zinc oxide. After 6 hours of MG-63 cell culture, there were significantly more focal adhesion plaques on the modified surfaces than observed on the nonmodified Ti (P 〈0.05). Conclusion Zn ion implantation and deposition greatly improved the biocompatibility of Ti for the growth of MG-63 cells. 展开更多
关键词 TITANIUM plasma immersion ion implantation-deposition zinc osteoblast focal adhesion plaque
原文传递
Electrochemical Corrosion Behavior of the DLC Coated and Uncoated NiTi Alloys
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作者 Jiehe SUI Wei CAI Liancheng ZHAO 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第5期577-580,共4页
A dense and well-adhered diamond-like carbon (DLC) coating was prepared on the nickel-titanium (NiTi) alloys by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID). Potentiodynamic polarization tests indica... A dense and well-adhered diamond-like carbon (DLC) coating was prepared on the nickel-titanium (NiTi) alloys by plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID). Potentiodynamic polarization tests indicated the corrosion resistance of the NiTi alloys was markedly improved by the DLC coating. The Ni ions release of the NiTi alloys was effectively blocked by the DLC coating. 展开更多
关键词 NiTi alloys Diamond-like carbon (DLC) Plasma immersion ion implantation and deposition (PIIID) Corrosion resistance
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用于材料表面强化处理的第三代多功能PⅢ装置 被引量:6
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作者 汤宝寅 王浪平 +5 位作者 王小峰 甘孔银 王松雁 朱剑豪 黄楠 孙鸿 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期690-694,共5页
第三代多功能等离子体浸没离子注入 (PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能 ,同时也具有强的金属离子注入功能 ;它的脉冲高压电源能输出大的电流 ;并可获得高的注入剂量均匀性。该装置既能执行离子注入 ,又能把... 第三代多功能等离子体浸没离子注入 (PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能 ,同时也具有强的金属离子注入功能 ;它的脉冲高压电源能输出大的电流 ;并可获得高的注入剂量均匀性。该装置既能执行离子注入 ,又能把离子注入与溅射沉积 ,镀膜结合在一起 ,形成多种综合性表面改性工艺。本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果。 展开更多
关键词 表面强化处理 多功能PⅢ装置 等离子体浸没离子注入 表面改性 强流脉冲阴极弧金属等离子体源 金属材料
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GCr15轴承钢表面PIIID处理膜层膜基结合力的研究 被引量:4
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作者 王宇航 汤宝寅 +5 位作者 王浪平 王晓峰 甘孔银 于永澔 刘洪喜 王松雁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期233-237,共5页
采用等离子体浸没离子注入沉积 (PIIID)技术在GCr1 5轴承钢表面形成TiN薄膜 ,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量。结果发现 :适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力 。
关键词 GCR15 轴承钢 表面处理 等离子体浸没离子注入沉积 PIIID TIN薄膜 结合力 划痕法
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等离子体浸没离子注入与沉积合成TiN薄膜的滚动接触疲劳寿命和机械性能 被引量:11
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作者 刘洪喜 蒋业华 +3 位作者 周荣 周荣锋 金青林 汤宝寅 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期325-330,共6页
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI 52100轴承钢表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜.膜层元素分布、化学组成和表面形貌分别用XRD,XPS表征.合成薄膜前后试样的滚动接触疲劳寿命和摩擦磨损性能分别由球棒疲劳磨损试验机和... 采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在AISI 52100轴承钢表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜.膜层元素分布、化学组成和表面形貌分别用XRD,XPS表征.合成薄膜前后试样的滚动接触疲劳寿命和摩擦磨损性能分别由球棒疲劳磨损试验机和球-盘磨损试验机测定;疲劳破坏后的微观形貌通过SEM观察;薄膜力学性能经纳米压痕和纳米划痕实验评价.结果表明,TiN膜中还含有少量的TiO_2和Ti,N,O的化台物.在优化条件下,TiN膜层致密均匀,与基体结合良好,纳米硬度和弹性模量分别达到25和350 GPa;最低摩擦系数由基体的0.92下降到0.2.被处理薄膜试件在90%置信区间下的最大L_(10),L_(50),L_a和(?)寿命较基体分别提高了约4.5,1.8,1.3和1.2倍,疲劳寿命的分散性得到了显著改善. 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 TIN薄膜 机械性能 滚动接触疲劳寿命 轴承钢
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等离子体浸没离子注入和沉积技术制备TiN薄膜研究 被引量:15
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作者 冷永祥 孙鸿 +3 位作者 徐禄祥 裘叶军 陈俊英 黄楠 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期295-298,225,共5页
利用多功能等离子体浸没离子注入设备 ,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜。研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响 :当氮以中性气体存在于真空室中 ,薄膜的生长主要受热... 利用多功能等离子体浸没离子注入设备 ,采用等离子体浸没离子注入和沉积技术在Ti合金表面制备具有优异力学性能的TiN薄膜。研究了真空室中氮气存在状态及氮气压力对薄膜性能的影响 :当氮以中性气体存在于真空室中 ,薄膜的生长主要受热力学因素控制 ,沿着低自由能的密排面 (低指数面 )TiN(1 1 1 )择优生长 ;当氮以等离子体状态存在于真空室中 ,薄膜沿着高指数面TiN(2 2 0 )择优生长 ,具有高硬度、耐磨性好的优点 ,并且随着N分压的提高 。 展开更多
关键词 氮化钛 等离子浸没离子注入和沉积硬度 耐磨性 成分 结构
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等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究 被引量:7
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作者 万国江 黄楠 +2 位作者 冷永祥 杨萍 陈俊英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期904-910,共7页
采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较... 采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较强的结合力。薄膜的纳米压痕测试显示出很高的纳米硬度和弹性模量值。通过对合成TiN薄膜的TEM结构测试、AFM表面观察、AES成分结果分析,认为该合成薄膜的纳米级晶粒尺寸、致密的表面质量以及成分沿深度的分布是其具有优异的抗塑性变形性能以及高的结合强度的原因。 展开更多
关键词 纳米薄膜 机械性能 TIN 等离子体浸没离子注入沉积
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9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究 被引量:5
14
作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王小峰 王浪平 于永澔 孙韬 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期167-171,共5页
采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射... 采用不同的等离子体浸没离子注入 (PIII)工艺在 9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛 (TiC)、类金刚石 (DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积 (PIIID)。对处理后的试样进行了X射线光电子能谱 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、俄歇电子能谱 (AES)和拉曼光谱 (Raman)分析 ;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数。结果表明 :处理后试样表面均形成了不同的改性层 ,且改性层中化学组成和各元素的浓度 深度分布随处理工艺的不同而变化 ;处理后试样的显微硬度都有较大提高 ,最大增幅达 77.7% ;表面摩擦系数由 0 .8下降到0 .16 ;磨痕宽度减少了 2 3倍 ;与PIII工艺相比 ,相同参数下 ,PIIID处理后的试样表面综合性能更加优异。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入(PⅢ) 等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD) 9Cr18轴承钢 摩擦磨损性能
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NiTi合金表面类金刚石膜的表面特征和腐蚀行为 被引量:10
15
作者 隋解和 吴冶 +2 位作者 王志学 蔡伟 赵连城 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期255-258,共4页
采用等离子浸没离子注入和沉积(PIIID)法以C2H2为等离子源对NiTi合金进行表面改性。利用Raman光谱分析膜层结构。采用原子力显微镜和纳米压痕分析涂层前后NiTi的表面形貌和力学性能,利用电化学测试、扫描电镜和原子吸收光谱测试涂层前... 采用等离子浸没离子注入和沉积(PIIID)法以C2H2为等离子源对NiTi合金进行表面改性。利用Raman光谱分析膜层结构。采用原子力显微镜和纳米压痕分析涂层前后NiTi的表面形貌和力学性能,利用电化学测试、扫描电镜和原子吸收光谱测试涂层前后基体的耐腐蚀性和Ni离子析出。结果表明:NiTi合金表面的膜层是类金刚石(DLC);经过PIIID处理后,基体表面的粗糙度降低;纳米硬度得到提高;耐腐蚀性能获得明显改善;Ni离子析出得到有效的抑制。 展开更多
关键词 类金刚石 NITI形状记忆合金 等离子浸没离子注入和沉积 腐蚀行为
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金属等离子体浸没离子注入与沉积技术合成类金刚石薄膜研究 被引量:5
16
作者 刘洪喜 汤宝寅 +3 位作者 王浪平 王小峰 于永澔 孙韬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期372-376,共5页
采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后... 采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在 9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜。研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响 ;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后试样表面的化学组成和微观结构、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能。结果表明 :合成薄膜后 ,试样的显微硬度增大了 88 7% ,摩擦磨损和抗腐蚀性能也明显改善。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入 沉积技术 金属 显微硬度 维氏硬度 钢基体 表面 类金刚石薄膜 合成 RAMAN光谱
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等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题 被引量:6
17
作者 王浪平 王小峰 汤宝寅 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期9-14,共6页
等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景。在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表... 等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景。在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表面注入、大面积注入等一系列问题。若上述问题得到解决,将极大的推进等离子体浸没离子注入与沉积技术的工业应用进程。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 表面改性 发展
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PIIID技术制备Ti/DLC纳米多层薄膜 被引量:3
18
作者 解志文 王浪平 +3 位作者 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期233-236,共4页
采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在2Cr13钢表面制备了Ti/DLC纳米多层薄膜,分析了膜层的微观结构和机械特性。实验结果表明:纳米多层膜具有完整、清晰的调制层结构,薄膜的显微硬度均得到明显的提高,硬度较低的膜层具有... 采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIII&D)技术在2Cr13钢表面制备了Ti/DLC纳米多层薄膜,分析了膜层的微观结构和机械特性。实验结果表明:纳米多层膜具有完整、清晰的调制层结构,薄膜的显微硬度均得到明显的提高,硬度较低的膜层具有较好的膜基结合强度和优良的摩擦性能,从综合性能看:纳米多层薄膜保持了类金刚石(DLC)薄膜低摩擦系数的特性,具有良好的承载能力以及膜-基结合特性。 展开更多
关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 结合强度 纳米多层薄膜
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全方位离子注入与沉积技术及其工业机的研制 被引量:5
19
作者 王浪平 王小峰 汤宝寅 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期983-986,共4页
全方位离子注入与沉积(Plasma immersion ion implantation and deposition,PIIID)技术发展到现在,已经逐步走向工业化应用。本文介绍了全方位离子注入与沉积技术的原理,探讨了全方位离子注入与沉积工业机应该具备的功能,介绍了研制成... 全方位离子注入与沉积(Plasma immersion ion implantation and deposition,PIIID)技术发展到现在,已经逐步走向工业化应用。本文介绍了全方位离子注入与沉积技术的原理,探讨了全方位离子注入与沉积工业机应该具备的功能,介绍了研制成功的全方位离子注入与沉积设备的结构和实施效果,其脉冲阴极弧等离子体源沉积速率达到2.9(?)/s,IGBT固体开关调制器输出电压达到10 kV,能够一次处理多个工业零件。 展开更多
关键词 全方位离子注入与沉积 工业机 功能
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铝合金、钛合金的全方位离子注入与沉积复合处理工艺研究 被引量:2
20
作者 王浪平 王宇航 +2 位作者 王小峰 汤宝寅 董申 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期991-994,共4页
铝合金、钛合金等材料具有许多优良性能,广泛用于航空、航天、舰艇及能源化工等工业部门,但是这两种材料的耐磨损性能较差。本研究利用了全方位离子注入与沉积(PIII&D)技术来强化处理这些合金表面,采用离子注入+过渡层+耐磨损层的... 铝合金、钛合金等材料具有许多优良性能,广泛用于航空、航天、舰艇及能源化工等工业部门,但是这两种材料的耐磨损性能较差。本研究利用了全方位离子注入与沉积(PIII&D)技术来强化处理这些合金表面,采用离子注入+过渡层+耐磨损层的复合强化处理工艺,通过摩擦磨损试验来研究不同的过渡层结构和厚度对磨损性能的影响。实验结果表明,通过优化过渡层结构和厚度,耐磨损性能有了很大的提高。 展开更多
关键词 铝合金 钛合金 全方位离子注入与沉积 复合强化
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