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高压驱动的三波腹多环盘式硅微陀螺仪
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作者 夏敦柱 姚默晗 杜森 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期1-8,共8页
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带... 设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构,工作在三波腹(n=3)的振动模态下,主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动,结构简单,具有良好的稳定性和较大的带宽。其中刚度调谐和正交误差校正所需要的高压直流电由小型化的Boost升压电路提供。样机测试结果表明闭环Boost升压电路精度高,对陀螺仪的零偏不稳定性影响小。陀螺仪具有高品质因数(Q=36503)、低非线性度(314×10^(-6))、低角度随机游走(0.1664°/√4)以及低零偏不稳定性(2.0229°/h)。 展开更多
关键词 多环盘式陀螺仪 三波腹 双闭环电路 Boost升压电路 正交误差校正
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涡摆耦合悬臂双盘碰摩转子的稳定性分析 被引量:5
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作者 袁惠群 李东 +1 位作者 周硕 黄海 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第7期109-112,共4页
建立了涡摆耦合悬臂双盘碰摩转子的动力学模型和运动微分方程,利用求解非线性非自治系统周期解的延拓打靶法和Floquet理论,研究了有无陀螺效应两种情况下系统的稳定性,讨论了间隙和悬臂轴长度对系统稳定性的影响。结果表明:在所讨论的... 建立了涡摆耦合悬臂双盘碰摩转子的动力学模型和运动微分方程,利用求解非线性非自治系统周期解的延拓打靶法和Floquet理论,研究了有无陀螺效应两种情况下系统的稳定性,讨论了间隙和悬臂轴长度对系统稳定性的影响。结果表明:在所讨论的参数范围内,不考虑陀螺效应时,碰摩转子系统在不同的转速下会发生鞍结分岔、倍周期分岔和Hopf分岔等现象。考虑陀螺效应后,混沌区域沿转速增加方向明显后延,转子系统在所讨论的转速区间内没有出现鞍结分岔、倍周期分岔现象,转子系统的稳定区域减小。同时,随悬臂轴长度的减小,系统的稳定性明显增大,当悬臂轴长度与跨轴长度比小于1/4时,系统始终处于稳定状态,陀螺效应可以不考虑;随转静件间隙的减小,考虑陀螺效应的碰摩转子系统的非线性特性明显增强,进入混沌区域所需的转速增大。 展开更多
关键词 悬臂双盘转子 陀螺效应 碰摩 稳定性 非线性
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转盘偏置对转子系统动力学特性的影响研究 被引量:3
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作者 王美令 韩清凯 《动力学与控制学报》 2011年第3期238-242,共5页
以Jeffcott转子系统为对象,研究转盘在转轴上不同偏置安装位置所引起的陀螺效应,以及对转子系统固有特性和弯曲振动模式的影响规律.基于所建立的集中质量模型,数值计算和比较的结果表明,不同的转盘安装偏置量会对转子系统临界转速和不... 以Jeffcott转子系统为对象,研究转盘在转轴上不同偏置安装位置所引起的陀螺效应,以及对转子系统固有特性和弯曲振动模式的影响规律.基于所建立的集中质量模型,数值计算和比较的结果表明,不同的转盘安装偏置量会对转子系统临界转速和不平衡响应产生明显影响.偏置程度越大,陀螺效应对临界转速及不平衡响应的影响越大,而在转子系统完全对称的情况下,陀螺效应则可以忽略. 展开更多
关键词 转子系统 转盘偏置 陀螺效应
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基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作 被引量:2
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作者 朱甲强 张卫平 +7 位作者 唐健 邢亚亮 孙殿竣 吴校生 崔峰 刘武 成宇翔 赵万良 《半导体光电》 北大核心 2017年第2期199-203,共5页
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了... 提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。 展开更多
关键词 阳极键合 圆盘多环谐振陀螺 MEMS工艺
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盘形谐振陀螺的机械灵敏度仿真优化
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作者 向磊 周鑫 许一 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第4期582-585,共4页
针对盘形谐振陀螺的机械灵敏度这一关键性能,采用结构优化法对盘形谐振陀螺的谐振环壁厚分布进行了优化。首先基于COMSOL with MATALB实现了盘形谐振陀螺品质因数Q、谐振频率f0、等效质量meff和角度增益Ag的有效计算,估算出了盘形谐振... 针对盘形谐振陀螺的机械灵敏度这一关键性能,采用结构优化法对盘形谐振陀螺的谐振环壁厚分布进行了优化。首先基于COMSOL with MATALB实现了盘形谐振陀螺品质因数Q、谐振频率f0、等效质量meff和角度增益Ag的有效计算,估算出了盘形谐振陀螺的机械灵敏度;然后以机械灵敏度为优化目标,采用移动渐近线法对盘形谐振子的谐振环壁厚分布进行了优化。壁厚分布优化使陀螺的机械灵敏度提升了20%。 展开更多
关键词 COMSOL 移动渐近线法 结构优化 盘形谐振陀螺 机械灵敏度
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金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺
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作者 李栋 吴校生 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第12期7-9,共3页
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微... 基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微陀螺的结构。使用有限元方法对陀螺金属振子进行了动力学仿真,验证了金属结构多环振动盘陀螺的可行性,并对微陀螺的加工工艺流程进行了微加工制作,获得了微陀螺芯片。研究解决了实现金属结构多环振动盘微陀螺的关键技术。 展开更多
关键词 金属振子 多环结构 科式效应 微陀螺 动力学仿真 微加工工艺
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高端MEMS固体波动陀螺的发展与应用 被引量:8
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作者 权海洋 杨栓虎 +1 位作者 陈效真 王浩 《导航与控制》 2017年第6期74-82,73,共10页
总结了固体波动陀螺的发展历程,分析了从固体波动陀螺到MEMS陀螺的演化过程。通过对MEMS谐振环陀螺的演化与研制历程进行分析,预测未来高端MEMS陀螺发展方向,推动我国高端MEMS环形固体波动陀螺的研究与应用。
关键词 MEMS谐振环陀螺 固体波动陀螺 谐振盘DRG陀螺
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Research of Optical Fiber Coil Winding Model Based on Large-deformation Theory of Elasticity and Its Application 被引量:5
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作者 JIA Ming YANG Gongliu 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期640-647,共8页
Optical fiber coil winding model is used to guide proper and high precision coil winding for fiber optic gyroscope (FOG) application. Based on the large-deformation theory of elasticity, stress analysis of optical f... Optical fiber coil winding model is used to guide proper and high precision coil winding for fiber optic gyroscope (FOG) application. Based on the large-deformation theory of elasticity, stress analysis of optical fiber free end has been made and balance equation of infinitesimal fiber is deduced, then deformation equation is derived by substituting terminal conditions. On condition that only axial tensile force exists, approximate curve equation has been built in small angle deformation scope. The comparison of tangent point longitudinal coordinate result between theory and approximation gives constant of integration, and expression with tangent point as origin of coordinate is readjusted. Analyzing the winding parameters of an example, it is clear that the horizontal distance from the highest point of wheel to fiber tangent point has millimeter order of magnitude and significant difference with fiber tension variation, and maintains invariant when wheel radius changes. The height of tension and accurate position of tangent point are defined for proper fiber guide. For application to fiber optic gyroscope, spiral-disc winding method and nonideal deformation of straddle section are analyzed, and then spiral-disc quadrupole pattern winding method has been introduced and realized by winding system. The winding results approve that the winding model is applicable. 展开更多
关键词 fibers fiber optics LARGE-DEFORMATION fiber optic gyroscope spiral-disc winding quadrupole pattern
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