垂直多结光伏型集成硅X射线探测器的实现和实验

介绍垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果;介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,解决了把所有P型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.描述了利用展宽电极尺度的方法实现多单元器件的集成;给出了X光强与光电流电压之间的数学模型和几个重要参数,介绍了器件输出电压与X光强度之间的测量关系,理论与实际情况符合得非常好.最后对测量数据做了分析,证明器件有足够的灵敏度和分辨率.