A STUDY OF PLASMA PROPERTIES FOR VARIOUS MAGNETIC FIELDS IN A MICROWAVE MULTIPOLAR ECR PLASMA

A sputtering-type microwave multipolar ECR plasma processing for preparing thin films, is built with Nd-Fe-B magnets and 2.45 GHz, TE10 mode microwave. The plasma distributions in the axial direction, which is important for preparing thin films, are found to be very sensitive to the magnetic potential fields in plasma chamber. The plasma parameters are also influenced by the background gas pressure.

圆柱形多极磁选机磁场分布和场强梯度的解析计算

运用保角变换和复势函数方法 ,建立圆柱形多极磁选机分选空间磁场的解析计算方法。推导出计算场内各点上磁场强度及其梯度的大小和方向的公式。实例计算结果表明 ,在磁极面中分面上和在磁极间隙中分面上 ,纵坐标 (或极径 )相同的点上的磁场强度不同 ,随着与磁极面距离的增大 ,场强梯度并不是单调地减小 。

开放式多极磁选机磁场理论推导中存在的问题

根据“数学物理方法”和“电动力学”里的成熟理论 ,具体分析了国内外一些磁选专著中 ,在对开放式多极磁选机的磁场进行理论推导时普遍存在的关键性错误 ,说明了这些理论推导不能为所谓的指数磁场公式H =H0 e-cx 提供任何理论依据。简要介绍了用保角变换法求解这类磁场得到的结果 ,指出用它计算出的具体数值结果与公式H =H0 e-cx 的结果有重要的不同。

对多极中型永磁电机充磁特性的研究

本文以100kVA、3000r/min、16极钕铁硼永磁发电机为例,对其组合充磁特性进行实验、计算研究。并对其研究结果进行了讨论、比较,提出了今后进一步研究的意见。

高分辨率的电机绝对式多极磁编码器设计与研究

为了提高电机绝对式磁编码器的分辨率,提出了一种偏心结构的新型多极磁编码器。该多极磁编码器仅由1个偏心旋转的多极磁体和4个霍尔传感器组成,结构简单、成本低。通过结合查找表和最小二乘法来计算绝对偏移量,能够在使用多极磁体提高分辨率的同时,通过磁铁偏心旋转区分的4个信号计算出绝对角度。此外,由于可以计算正交信号,因此可以使用传统方法来配置转换器,通用性较强。编码器样机测试结果表明:所设计的磁编码器能够计算出绝对角度,并达到了0.08°的角度精度和12 bits的分辨率。

多极磁化技术及其应用研究

本文从典型的RLC电路分析出发,提出充磁回路的合理匹配技术。利用低于2KJ能量的脉冲电源,采用有铁芯或单根导线(无铁芯)法,即可对不同尺寸的磁环进行8极,10极,16极,24极乃至更多极的磁化(充磁)。