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Nb掺杂BaTiO_3薄膜的激光分子束外延及其特性
1
作者
颜 雷
吕惠宾
+4 位作者
戴守愚
陈正豪
陈 凡
赵 彤
杨国桢
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期61-63,共3页
用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4(?)...
用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4(?),达到原子尺度光滑.霍尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0.02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω·cm、1.98×10-4Ω·cm和1.297×10-4Ω·cm,载流子浓度分别为5.9×1021cm-1、6.37×1021cm-1和9.9×102lcm-1.
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关键词
激光分子束外延
氧化物
薄膜
Ba
n
b0.3Ti07O3
超晶格
n型导电薄膜.
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职称材料
题名
Nb掺杂BaTiO_3薄膜的激光分子束外延及其特性
1
作者
颜 雷
吕惠宾
戴守愚
陈正豪
陈 凡
赵 彤
杨国桢
机构
中国科学院物理研究所光物理实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期61-63,共3页
文摘
用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4(?),达到原子尺度光滑.霍尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0.02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω·cm、1.98×10-4Ω·cm和1.297×10-4Ω·cm,载流子浓度分别为5.9×1021cm-1、6.37×1021cm-1和9.9×102lcm-1.
关键词
激光分子束外延
氧化物
薄膜
Ba
n
b0.3Ti07O3
超晶格
n型导电薄膜.
Keywords
laser molecular beam epitaxy, oxide thi
n
film, Ba
n
b0.3Ti0.7O3, superlattice,
n
-type co
n
ductive thi
n
film.
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Nb掺杂BaTiO_3薄膜的激光分子束外延及其特性
颜 雷
吕惠宾
戴守愚
陈正豪
陈 凡
赵 彤
杨国桢
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
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