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Nb掺杂BaTiO_3薄膜的激光分子束外延及其特性
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作者 颜 雷 吕惠宾 +4 位作者 戴守愚 陈正豪 陈 凡 赵 彤 杨国桢 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期61-63,共3页
用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4(?)... 用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4(?),达到原子尺度光滑.霍尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0.02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω·cm、1.98×10-4Ω·cm和1.297×10-4Ω·cm,载流子浓度分别为5.9×1021cm-1、6.37×1021cm-1和9.9×102lcm-1. 展开更多
关键词 激光分子束外延 氧化物薄膜 Banb0.3Ti07O3 超晶格 n型导电薄膜.
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