nA级离子泵电流测量系统的设计

静电陀螺仪正常工作时,高真空度的维持是其重要的静态条件。本文从热阴极离子泵的工作原理出发,通过测量离子流的大小,来监测静电陀螺仪内部的真空度;提出了一种基于STM32的测量系统,包括两级放大调理电路、高精度ADC和STM32单片机,并就其nA级电流测量的软硬件电路设计作出了详细说明。