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Virtual Reality Toolkit for the Assembly of Nanotube-based Nano-electro-mechanical Systems
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作者 GAO Zhan LECUYER Anatole ZHANG Shuyou 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期1-11,共11页
Nano assembly and manipulation technologies are the basis for nano-electro-mechanical systems(NEMS). Atomic force microscope(AFM) is widely used to manipulate nanotubes to assemble NEMS. Manipulating nanotubes wit... Nano assembly and manipulation technologies are the basis for nano-electro-mechanical systems(NEMS). Atomic force microscope(AFM) is widely used to manipulate nanotubes to assemble NEMS. Manipulating nanotubes with AFM is a challenging and difficult task. One of the major reasons is the deficiency of visual information during the manipulation process. To address these difficulties, this research aims to put forward novel virtual tools and assembly strategies to improve the efficiency, accuracy and ease of the assembly process of NEMS. This paper begins by the discussion of the principles and implementation of a virtual nano-assembly simulator, which serves as a benchmark to test the proposed NEMS assembly techniques and virtual tools. Then, a general framework of nanotube-based NEMS assembly is proposed. Several nano-assembly strategies and virtual tools, such as automated path planning for NEMS assembly, a four-step scheme of nanotube manipulation, virtual fixtures for assembly finalization and safe manipulation, are introduced. These virtual tools and methods are experimented for justification. An assembly task of moderate complexity was performed in our virtual nano-assembly simulator with and without the help of the proposed toolkit. Experimental results suggest that the proposed methods tend to greatly enhance the efficiency and accuracy of nanotube-based NEMS assembly. In general, the proposed virtual reality toolkit not only ensures the safety, but also enhances the accuracy and efficiency of the assembly of nanotube-based NEMS. 展开更多
关键词 virtual reality nano-ASSEMBLY nano-electro-mechanical systems haptic feedback
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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究 被引量:3
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作者 杨尊先 于映 +1 位作者 林丽华 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期766-770,共5页
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随... 进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。 展开更多
关键词 nems 压阻敏感器 纳机电探针 数据存储
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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计
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作者 杜艺鑫 金丽 +2 位作者 解琨阳 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期98-104,共7页
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速... 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合
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基于专利分析的NEMS传感器技术发展现状与趋势 被引量:1
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作者 马梅彦 《科技促进发展》 CSCD 2019年第8期777-781,共5页
以orbit专利数据库收录的1997~2017年期间NEMS传感器技术专利分布为研究对象,通过对其年度分布、国家分布、竞争机构分布及技术领域分布等方面的分析,全面揭示NEMS传感器技术的发展现状及趋势,为我国政府、科研机构、行业协会及企业制... 以orbit专利数据库收录的1997~2017年期间NEMS传感器技术专利分布为研究对象,通过对其年度分布、国家分布、竞争机构分布及技术领域分布等方面的分析,全面揭示NEMS传感器技术的发展现状及趋势,为我国政府、科研机构、行业协会及企业制定科技发展计划、开展相关技术研发等提供决策支持与事实依据。 展开更多
关键词 nems 纳机电系统 传感器 专利分析
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计及毛细力作用时旋转式MEMS/NEMS致动器的吸合稳定性
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作者 周丽军 郭建刚 亢一澜 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期391-395,共5页
建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正。研究没有外加电... 建立旋转式MEMS/NEMS(micro-or nano-electro-mechanical system)致动器的单自由度力学模型,研究毛细力对该类致动器吸合时的临界倾角以及临界电压的影响。得到临界倾角随结构特征尺寸的变化曲线,并对临界电压进行修正。研究没有外加电压引起的静电力作用时,旋转式MEMS/NEMS致动器在毛细力作用下的失稳现象,给出致动器的失稳准则,以及失稳时致动器的临界特征几何尺度。 展开更多
关键词 微/纳电子机械系统致动器 吸合 稳定性 毛细力
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NEMS外场驱动微电机研究进展
6
作者 曹富林 许立忠 《微特电机》 2019年第3期77-81,共5页
按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发... 按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发展趋势及应用前景。 展开更多
关键词 微纳米电机 纳机电系统 外场驱动 微电机 发展趋势 应用前景
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From MEMS to NEMS: Smart Chips with Senses and Muscles
7
作者 Ali Jazairy 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2013年第10期1001-1005,共5页
The last half-century was transformed by the electronic revolution that essentially reproduced the human brain and its computing capacity on a chip. But over time, scientists have realized that something was missing t... The last half-century was transformed by the electronic revolution that essentially reproduced the human brain and its computing capacity on a chip. But over time, scientists have realized that something was missing to give life, so to speak, to the small chip with a brain: One needed to awaken its senses and develop its muscles! This challenge was solved through MEMS (micro electro mechanical systems). Indeed, MEMS today are equipped with the sense of sight, smell, hearing, taste and touch through microsensors. They are also capable of physical exertion through small muscles called microactuators. These new capabilities open wide fields of imagination and important specific applications. 展开更多
关键词 MEMS MOEMS (micro opto electro mechanical systems) nems nano electro mechanical systems) wavelength-tunable FP (Fabry-P6rot) interferometer DWDM (dense wavelength division multiplexing) telecommunication VECSELS (vertical external cavity surface emitting lasers).
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Porous Polycarbonate Membranes with Ni and Cu Nano Catalytic Additives Fabricated by Selective Laser Sintering
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作者 Igor Vladimirovich Shishkovsky Angela Vladimirovna Bulanova Yuri Georgievich Morozov 《材料科学与工程(中英文B版)》 2012年第12期634-639,共6页
关键词 聚碳酸酯膜 纳米催化 激光合成 多孔 添加剂 烧结法 CU NI
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n-Al_2O_3/Ni复合镀层的组织与滑动磨损性能研究 被引量:37
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作者 蒋斌 徐滨士 +1 位作者 董世运 丁培道 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期33-36,共4页
用电刷镀技术制得了镍基 n- Al2 O3复合镀层 ,并对镀层的滑动磨损性能进行了试验研究。纳米复合镀层的表面形貌比较细腻 ,镀层中纳米粒子分布均匀 ,与基质金属结合紧密。镀层显微硬度达到 HV70 0 ,比快速镍镀层提高约4 0 %。滑动磨损试... 用电刷镀技术制得了镍基 n- Al2 O3复合镀层 ,并对镀层的滑动磨损性能进行了试验研究。纳米复合镀层的表面形貌比较细腻 ,镀层中纳米粒子分布均匀 ,与基质金属结合紧密。镀层显微硬度达到 HV70 0 ,比快速镍镀层提高约4 0 %。滑动磨损试验结果表明 ,随着纳米粒子含量的增大 ,镀层的耐磨性提高 ,摩擦系数也呈增大趋势 ;但当镀层中n- Al2 O3粒子的超过 2 .5 6 % (质量分数 )时 ,镀层的耐磨性显著下降。纳米复合镀层的磨损机制以疲劳磨损为主 ,而快速镍镀层以粘着磨损为主。 展开更多
关键词 组织 电刷镀 纳米复合镀层 滑动磨损 磨损机制 氧化铝
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基于微纳加工技术的生物传感器研究进展 被引量:8
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作者 李杜娟 陈慧旖 +2 位作者 刘超然 樊凯 王高峰 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1228-1236,共9页
微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以... 微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以将生物敏感反应信号转化为光电等信号而被检测.与其他生物传感器相比,采用MEMS/NEMS技术制备的生物传感器,灵敏度更高、响应时间更短、检测性能更强,更为实现自动化高通量的医学诊断提供了有力的支持.本文着重探讨MEMS/NEMS生物传感器常见的器件类型和对应器件的制备工艺、材料、传感机理、分类及其传感局限,通过综述MEMS/NEMS生物传感器及其国内外研究进展,最后总结MEMS/NEMS生物传感器关键的技术难点与重点,并展望未来MEMS/NEMS生物传感技术的发展前景以及存在的挑战. 展开更多
关键词 MEMS/nems技术 生物传感技术 器件 传感机理 技术难点
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微/纳机电系统 被引量:17
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作者 周兆英 杨兴 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第2期1-5,共5页
微机电系统 (MEMS)和纳机电系统 (NEMS)是微米 /纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展 ,NEMS还处于基础研究阶段。分析了微 /纳机电系统的发展特点 ,简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后 。
关键词 微机电系统 纳机电系统 微米纳米技术
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复合电沉积机理现状及对纳米复合电刷镀机理研究的启示 被引量:17
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作者 涂伟毅 徐滨士 董世运 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2003年第4期1-6,共6页
介绍了复合电沉积机理及纳米复合电刷镀机理研究的概况,评述了Guglielmi等6种复合电沉积机理模型的主要内容和适用范围。在此基础上借鉴这些成果,对其在纳米复合电刷镀机理研究中的可能应用进行了探讨。
关键词 复合电沉积 纳米电刷镀 机理
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功能材料的力、电、磁耦合行为的实验研究 被引量:13
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作者 方岱宁 毛贯中 +6 位作者 李法新 冯雪 万永平 李长青 江冰 刘彬 邴歧大 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期217-226,共10页
自行研制成功力—电、力—磁耦合加载设备,实现进行多场耦合实验;研究开发出力—电耦合场和力—磁耦合场下的力学量与电磁学量的量测技术,实现测量过程自动化;从而具备了同时对铁电材料施加应力场和电场的技术,对铁磁材料同时施加应力... 自行研制成功力—电、力—磁耦合加载设备,实现进行多场耦合实验;研究开发出力—电耦合场和力—磁耦合场下的力学量与电磁学量的量测技术,实现测量过程自动化;从而具备了同时对铁电材料施加应力场和电场的技术,对铁磁材料同时施加应力场和磁场的技术。解决了高电压的绝缘、防电弧放电、防电击穿、电荷测量与数据采集等难题,设计一系列有效的实验装置和实验环境。实验研究了耦合场作用下压铁电材料的本构关系,提出旨在消除内偏场的冲击极化方式;采用三点弯实验,测试了铁电材料的断裂韧度,发现极化方向对断裂韧度的显著影响。将云纹干涉技术应用于力电耦合场作用下裂尖变形场的测量。首次对预制有贯穿裂纹的铁电材料试件进行电疲劳实验,获得了电致疲劳裂纹扩展曲线,发现一些新的电疲劳损伤现象,例如不同载荷作用下裂纹的扩展模式、疲劳裂纹闭合效应、电致裂纹扩展的磨损与击穿等。实验制备并研究03联和13联铁电复合材料的介电性能、压电性能。制备PZTMgO纳米复相铁电陶瓷,在保证其压电性能的前提下,改善铁电材料的韧度。有关铁磁材料的实验研究,量测不同力磁耦合载荷作用下纯镍、6号镍、锰锌铁氧体、TerfenolD等几种铁磁材料的磁滞回线、磁致应变曲线,获得磁导率、磁致伸缩系数、压磁系数、磁弹性系数等。 展开更多
关键词 力电耦合 力磁耦合 电磁耦合 云纹法 铁电复合材料 纳米复相
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中国微纳制造研究进展 被引量:31
14
作者 王立鼎 褚金奎 +1 位作者 刘冲 罗怡 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2-12,共11页
介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面... 介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)制造工艺、非硅MEMS制造工艺等方面介绍了微系统设计与加工工艺研究进展。从物理量微传感器、微执行器件与系统、微纳生化传感与分析和微能源等方面介绍了微纳器件与微纳系统的研究进展,最后对中国微纳制造发展进行了总结和展望。 展开更多
关键词 微纳制造 微电子机械系统 微传感器 微执行器
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MEMS技术发展现状及未来发展趋势 被引量:19
15
作者 秦雷 谢晓瑛 李君龙 《现代防御技术》 北大核心 2017年第4期1-5,23,共6页
MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS... MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS微系统技术的重要性,从微感知与微控制、微流动控制、微惯性测量装置、微型飞行器、可穿戴和可植入式装备、纳机电谐振器、扫描隧道显微镜等七大方面分别论述MEMS微系统技术发展现状,并对该技术进行了展望,以期对未来发展并应用该技术具有借鉴意义。 展开更多
关键词 微机电系统 微感知 微控制 微型飞行器 纳机电系统 惯性测量装置
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MOEMS陀螺的谐振腔设计 被引量:7
16
作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 贺斌 王广龙 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1373-1376,共4页
微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLA... 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响. 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 陀螺 谐振腔 微镜 微纳米加工
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低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展 被引量:6
17
作者 张段芹 刘建秀 褚金奎 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期451-457,共7页
低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学... 低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测。首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性。然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术。最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题。 展开更多
关键词 低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(nems)
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时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征 被引量:5
18
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期44-49,共6页
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器... 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移,并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定,并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能. 展开更多
关键词 纳米计量 微机电系统 相移干涉术 Hariharan算法 台阶标准
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电刷镀新技术及其在机械工程中的应用 被引量:6
19
作者 任雨松 花国然 罗新华 《南通大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第2期49-52,共4页
电刷镀技术是现代表面工程新技术。文章介绍了电刷镀技术的基本原理及其特点,综述了电刷镀技术发展的最新研究成果及其在机械工程领域的应用。
关键词 电刷镀技术 纳米材料 机械工程 应用
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三维立体结构微纳电极研究 被引量:2
20
作者 孙楫舟 夏善红 +4 位作者 边超 佟建华 张虹 董汉鹏 陈庆永 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期668-672,共5页
基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统(MEMS)尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的各向异性湿法腐蚀技术在毫米级的工作电极表面实现微米级的... 基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统(MEMS)尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的各向异性湿法腐蚀技术在毫米级的工作电极表面实现微米级的锥体形微池阵列,以H2O2为检测对象考察立体电极结构对传感器性能的改进效果,实验证明,立体结构的设计使传感器具有更低的检出限(8μmol/L)及更高的灵敏度(在0~200μmol/L浓度范围内检测灵敏度提高约85%),且具有较好的线性和重复性。利用电化学方法在电极表面沉积铂黑,通过微观形貌分析和电化学特性考察,比较了在平面微电极和立体微电极上修饰纳米材料的效果。立体结构为电沉积铂纳米颗粒提供了更为理想的微环境,改善了纳米材料修饰的效果;立体结构微电极与纳米颗粒的尺寸效应相结合,进一步提高了电极的催化效率和电化学特性。 展开更多
关键词 安培型微传感器 微电机系统 三维立体结构 微纳电极
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