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Preparation of Scratch-Resistant Nano-Porous Silica Films Derived by Sol-Gel Process and Their Anti-reflective Properties 被引量:1
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作者 Guangming WU, Jun SHEN, Tianhe YANG, Bin ZHOU and Jue WANGPohl Institute of Solid State Physics, Tongji University, Shanghai 200092, China 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第4期299-302,共4页
Structural strengthening of the nano porous silica films has been reported. The films were prepared with a base/acid two-step catalyzed TEOS-based sol-gel processing and dip-coating, and then baked in the mixed gas of... Structural strengthening of the nano porous silica films has been reported. The films were prepared with a base/acid two-step catalyzed TEOS-based sol-gel processing and dip-coating, and then baked in the mixed gas of ammonia and water vapor. The silica films were characterized with TEM, AFM, FTIR, spectrophotometer, ellipsometer, and abrasion test, respectively. The experimental results have shown that the films have a nanostructure with a low refractive index and can form an excellent scratch-resistant broadband anti-reflectance. The two-step catalysis noticeably strengthens the films, and the mixed gas treatment further improves mechanical strength of the silica network. Finally the strengthening mechanism has been discussed. 展开更多
关键词 Sol-gel process Silica films Anti-reflectance nano porous structure
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溶胶凝胶制备纳米多孔SiO_2光学增透薄膜耐磨特性强化研究 被引量:6
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作者 吴广明 沈军 +2 位作者 王珏 周斌 倪星元 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期374-379,共6页
在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。... 在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明 :采用碱 /酸两步催化法能够明显提高纳米多孔SiO2 光学增透薄膜的力学特性 ,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等力学性能增强归因于SiO2 颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时 ,薄膜折射率仍保持约 1 2 4的较低值 ,光学增透效果良好 ,透射率≥ 99 5 %。 展开更多
关键词 制备 纳米多孔SiO2 光学增透薄膜 耐磨特性 强化 溶胶-凝胶技术 二氧化硅 性能 形貌
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Al_2O_3层对超薄各向异性磁电阻薄膜性能影响的研究 被引量:7
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作者 丁雷 王乐 +1 位作者 滕蛟 于广华 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期26-29,共4页
各向异性磁电阻(AMR)薄膜材料被广泛应用于磁传感器和硬盘的读出磁头中。器件的小型化要求AMR薄膜材料必须做得很薄。采用磁控溅射的方法在玻璃基片上制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻超薄薄膜,将几个纳米厚的Al2O3层插入Ta/NiFe/Ta薄膜的Ta/NiF... 各向异性磁电阻(AMR)薄膜材料被广泛应用于磁传感器和硬盘的读出磁头中。器件的小型化要求AMR薄膜材料必须做得很薄。采用磁控溅射的方法在玻璃基片上制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻超薄薄膜,将几个纳米厚的Al2O3层插入Ta/NiFe/Ta薄膜的Ta/NiFe界面,研究该插层对超薄NiFe薄膜性能的影响。结果表明:由于Al2O3层的"镜面反射"作用,适当厚度和结构状态的Al2O3层可以提高薄膜的磁电阻值,当NiFe薄膜厚度为5 nm时,通过在界面处插入约2nm的Al2O3层,薄膜的磁电阻值从0.65%提高到了0.80%,增加幅度超过20%。性能提高的主要原因是除纳米Al2O3插层的"镜面反射"作用外,抑制Ta/NiFe的界面反应以及减少Ta层分流也是重要的影响因素。 展开更多
关键词 NiFe薄膜 各向异性磁电阻(AMR) 纳米氧化层 镜面反射
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光学薄膜及其发展现状 被引量:10
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作者 李金丽 刘全校 许文才 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期14-15,20,共3页
介绍了传统光学薄膜的原理,并对反光膜、增透膜、纳米光学薄膜等传统光学薄膜的研究现状及应用情况,以及几种新型光学薄膜如高强度激光器、金刚石及类金刚石膜、软X射线多层膜、光电通信用光学薄膜的研究现状及应用进行了详细分析;最后... 介绍了传统光学薄膜的原理,并对反光膜、增透膜、纳米光学薄膜等传统光学薄膜的研究现状及应用情况,以及几种新型光学薄膜如高强度激光器、金刚石及类金刚石膜、软X射线多层膜、光电通信用光学薄膜的研究现状及应用进行了详细分析;最后对光学薄膜的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学薄膜 反光膜 增透膜 纳米光学薄膜 新型光学薄膜
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纳米铜薄膜瞬态热输运过程试验研究与数值模拟分析 被引量:3
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作者 韩亚萍 曾凡达 吴江 《东北农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期93-98,共6页
利用磁控溅射法制备厚度100 nm的铜薄膜,使用800 nm泵浦和400 nm探测瞬态反射技术,测量铜薄膜的时间分辨反射率,分析铜薄膜在飞秒激光作用下瞬态热输运过程。利用双温模型对铜薄膜热输运过程进行数值模拟,模拟结果显示电子和晶格体系温... 利用磁控溅射法制备厚度100 nm的铜薄膜,使用800 nm泵浦和400 nm探测瞬态反射技术,测量铜薄膜的时间分辨反射率,分析铜薄膜在飞秒激光作用下瞬态热输运过程。利用双温模型对铜薄膜热输运过程进行数值模拟,模拟结果显示电子和晶格体系温度变化过程,电声耦合系数为1.2×1016W·m-3K。变换参数进行模拟,分析薄膜厚度和电声耦合系数对非平衡热输运过程影响规律,为铜薄膜在集成电路中应用提供参考。 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米铜薄膜 飞秒瞬态热反射技术 双温模型 热输运过程 电声耦合系数
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纳米硅薄膜的镜反射红外光谱研究 被引量:1
6
作者 赵涛 张毅 +4 位作者 陈英颖 吴则嘉 刘晓晗 杨晟远 张林春 《理化检验(物理分册)》 CAS 2005年第2期79-82,共4页
研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用。通过等离子化学气相沉积法(PECVD),制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(ncSi:H),利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜的光谱特征。通过实验,发现这两种薄膜中都存在多氢键合方式,PE... 研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用。通过等离子化学气相沉积法(PECVD),制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(ncSi:H),利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜的光谱特征。通过实验,发现这两种薄膜中都存在多氢键合方式,PECVD工艺参数如衬底温度、直流电压和掺杂浓度对薄膜结构具有一定的影响。 展开更多
关键词 镜反射 纳米硅薄膜 衬底温度 直流电压 掺杂浓度 本征 掺杂
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全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统
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作者 刘菊 沈志 +2 位作者 常胜利 杨建坤 李修建 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期392-393,共2页
由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示薄膜折射率的误差<0.1,薄膜厚度的误差<3%。
关键词 纳米多孔材料薄膜 全自动系统 反射率 折射率和厚度
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非晶硅薄膜表面微纳结构制备及抗反射性能研究 被引量:1
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作者 吴杰 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2016年第3期45-49,共5页
为了对非晶硅薄膜表面改性,使其具有更好的抗反射性,将采用激光干涉光刻的方法,在非晶硅薄膜表面制备具有抗反射性能的微纳结构。首先搭建三光束激光干涉系统,使用波长为1064nm的Nd:YAG激光光源,使其在空间分布上接近旋转对称的三束光,... 为了对非晶硅薄膜表面改性,使其具有更好的抗反射性,将采用激光干涉光刻的方法,在非晶硅薄膜表面制备具有抗反射性能的微纳结构。首先搭建三光束激光干涉系统,使用波长为1064nm的Nd:YAG激光光源,使其在空间分布上接近旋转对称的三束光,对非晶硅薄膜进行干涉实验,然后用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对激光刻蚀后的非晶硅薄膜表面结构特征参数进行检测,并使用反射率测量仪对改性后的非晶硅薄膜表面反射率进行测量,分析各参数对抗反射性能的影响。实验结果表明,随着能量逐步增加,光强分布周期没有发生改变,孔的直径、孔与孔之间的距离以及结构深度逐渐发生改变且呈线性分布,而非晶硅表面反射率逐步降低,最低达到10%。 展开更多
关键词 激光干涉 非晶硅薄膜 微纳结构 抗反射
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TiO_2双层薄膜电极与背反射共构DSSC制备及表征
9
作者 丛伟 巴德纯 +1 位作者 王贺权 韩恩相 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期275-279,共5页
提出并设计制备了一种新型的染料敏化太阳能电池(DSSC)的结构.该结构是在DSSC的光阳极上通过丝网印刷技术制备由尺寸不同的纳晶粒子构成的双层纳米晶TiO2薄膜,并在DSSC对电极的背面置放一层镀银反光膜.采用透射电子显微镜(TEM)、扫描电... 提出并设计制备了一种新型的染料敏化太阳能电池(DSSC)的结构.该结构是在DSSC的光阳极上通过丝网印刷技术制备由尺寸不同的纳晶粒子构成的双层纳米晶TiO2薄膜,并在DSSC对电极的背面置放一层镀银反光膜.采用透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线电子衍射仪(XRD)等手段分析了双层纳米晶TiO2薄膜的结构和形貌.通过实验,获得了双层纳米晶TiO2薄膜的最佳膜厚,分析了镀银反光膜的反光率.研究结果表明:在AM1.5、光强100 mW/cm2的模拟太阳光下测试,这种新型结构的开路电压、短路电流、填充因子分别为0.75 V,11.17 mA/cm2和0.523;光电转换效率达到4.38%,比相同条件下传统的三明治型结构提高了2.41%. 展开更多
关键词 染料敏化太阳能电池(DSSC) 纳晶TiO2 光阳极 镀银反光膜 光电转换效率
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薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性 被引量:4
10
作者 葛少博 刘卫国 +6 位作者 周顺 杨鹏飞 李世杰 黄岳田 孙雪平 林大斌 张进 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期190-200,共11页
在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜... 在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜中,实现了多种尺寸的金字塔薄膜微结构的制备,结构单元尺寸可以在1.5~10μm之间进行调控.光谱特性检测结果表明,SiNx薄膜微金字塔结构阵列在近红外至长波红外波段,表现出超宽波段的减反射特性;在0.8~2.5μm的近红外波段,反射率低于1.0%;在3~5μm的中红外波段,反射率小于2.5%;在10~12μm长波红外波段,平均反射率低于5%;与传统的四分之一波长抗反射膜系相比,SiNx薄膜微金字塔结构阵列的减反射效果的实现,无需膜系设计时的折射率匹配,简化了膜系结构.研究发现SiNx薄膜微金字塔结构阵列的近红外透射诱导增强特性,高度为2~4μm的SiNx薄膜微金字塔结构阵列,均在2.1μm波长处出现明显的透射诱导增强效应,且高为4μm,底宽为8μm的微金字塔结构阵列的透射增强作用最为明显,透射率达到了96%以上.实验检测与仿真分析证明,透射增强的位置和强度由微结构的形貌尺寸及其结构比例关系决定. 展开更多
关键词 薄膜微结构 单点金刚石切削 纳米压印 减反射 透射增强
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纳米氧化层对坡莫合金薄膜性能的影响 被引量:4
11
作者 王东伟 丁雷 +2 位作者 王乐 滕蛟 于广华 《真空电子技术》 2007年第3期63-68,共6页
采用磁控溅射的方法制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻薄膜,分别将CoFe-NOL和Al2O3插层引入NiFe薄膜,研究纳米氧化层(NOL)对NiFe薄膜性能的影响。实验结果表明:将CoFe-NOL引入NiFe薄膜,CoFe-NOL对NiFe薄膜性能有重要影响,并且CoFe-NOL在薄膜中的... 采用磁控溅射的方法制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻薄膜,分别将CoFe-NOL和Al2O3插层引入NiFe薄膜,研究纳米氧化层(NOL)对NiFe薄膜性能的影响。实验结果表明:将CoFe-NOL引入NiFe薄膜,CoFe-NOL对NiFe薄膜性能有重要影响,并且CoFe-NOL在薄膜中的位置不同影响效果也不同;CoFe-NOL处于Ta/NiFe界面时,由于破坏了NiFe薄膜的织构,导致了NiFe薄膜的各向异性磁电阻(AMR)值的减小和矫顽力的上升;CoFe-NOL处于NiFe/Ta界面时,则不会破坏NiFe薄膜的织构,其AMR值和矫顽力基本没有变化。将Al2O3插层引入NiFe薄膜,由于Al2O3插层的"镜面反射"作用,合适厚度的Al2O3插层可以改善薄膜的微结构,提高薄膜的磁电阻值,改善薄膜的磁性能。当Al2O3插层厚度为1.5 nm时,NiFe薄膜有最佳的微结构和性能。 展开更多
关键词 Ni81Fe19薄膜 各向异性磁电阻 纳米氧化层 镜面反射
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纳米硅薄膜厚度对其反射与吸收性能的影响 被引量:3
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作者 蒋旭 苏未安 殷超 《江西理工大学学报》 CAS 2020年第1期90-96,共7页
针对纳米硅薄膜的厚度会影响其反射与吸收性能的问题,采用时域有限差分(FDTD)方法对纳米硅薄膜进行了模拟计算。分析了纳米硅薄膜对入射电磁波的衰减现象,并详细地讨论了纳米硅薄膜的厚度对其反射率、吸收率及其他光学性能的影响。计算... 针对纳米硅薄膜的厚度会影响其反射与吸收性能的问题,采用时域有限差分(FDTD)方法对纳米硅薄膜进行了模拟计算。分析了纳米硅薄膜对入射电磁波的衰减现象,并详细地讨论了纳米硅薄膜的厚度对其反射率、吸收率及其他光学性能的影响。计算结果表明,纳米硅薄膜对入射电磁波存在显著的吸收作用,硅材料的薄膜化有效地增强了其吸收率,厚度为650 nm的硅薄膜在入射光波长为481 nm时吸收率可达0.62,而半无限型体材硅的吸收率仅为0.48。纳米硅薄膜的反射率、透射率和吸收率随其厚度的变化均呈现出明暗相间的条纹结构,表明薄膜干涉效应对其性质有显著的影响。其中,厚度为500 nm的硅薄膜在宽光谱范围内具有较高的吸收率,适合新一代光电器件方面的应用。 展开更多
关键词 纳米硅薄膜 时域有限差分(FDTD) 法布里-珀罗干涉 反射与吸收
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声光可调滤光器400~1000nm宽带增透膜的制备
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作者 谢强 刘伟 杨晓波 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期704-707,共4页
针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子... 针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,制备了附着力牢靠、光谱透射率满足使用要求的TeO2晶体400-1 000nm宽带增透膜。 展开更多
关键词 声光可调滤光器 宽带增透膜 附着力 纳米划痕法
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纳米多孔氧化铝薄膜厚度的反射光谱测量方法研究
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作者 熊丹 章海军 张冬仙 《光学仪器》 2006年第2期89-92,共4页
提出一种基于反射光谱的纳米多孔氧化铝(PA)薄膜厚度测量的方法。当白光照射PA薄膜时,分别从薄膜上、下表面反射的两束光线发生干涉。根据布拉格公式(B raggequation),若已知反射干涉光谱相邻两个极大值对应的波数差和薄膜的折射率就可... 提出一种基于反射光谱的纳米多孔氧化铝(PA)薄膜厚度测量的方法。当白光照射PA薄膜时,分别从薄膜上、下表面反射的两束光线发生干涉。根据布拉格公式(B raggequation),若已知反射干涉光谱相邻两个极大值对应的波数差和薄膜的折射率就可以算出薄膜厚度。PA的有效折射率可根据M axw ell-G arnett有效介电常数理论由孔隙率算出。这种方法的优点是能实现PA总体膜厚的非接触、非破坏性在线测量。 展开更多
关键词 反射光谱 纳米多孔氧化铝 薄膜 厚度测量
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辐射制冷技术在纺织领域的应用研究进展
15
作者 刘丽艳 《产业用纺织品》 2022年第5期1-5,共5页
从辐射制冷技术在纤维、纤维膜、复合纱和面料等不同形式的纺织品中应用的角度出发,归纳和总结辐射制冷技术在纺织领域的相关研究成果和最新进展,指出应用研究中存在的一些问题,以期为推进我国辐射制冷纺织品的理论探索、产品研发和产... 从辐射制冷技术在纤维、纤维膜、复合纱和面料等不同形式的纺织品中应用的角度出发,归纳和总结辐射制冷技术在纺织领域的相关研究成果和最新进展,指出应用研究中存在的一些问题,以期为推进我国辐射制冷纺织品的理论探索、产品研发和产业化发展提供参考。 展开更多
关键词 辐射制冷技术 无机微纳米颗粒 聚合物 纤维 纤维膜 复合纱 面料 涂覆 透过率 反射率 辐照度
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Magnetron Sputtering Coating of Protective Fabric Study on Influence of Thermal Properties
16
作者 Yunqi Zhai Xiaoxia Liu Li Xiao 《Journal of Textile Science and Technology》 2015年第3期127-134,共8页
Protective fabric has been the focus of research of the textile materials. In recent years, with the rapid development of the robot, its protective fabric has been developed quickly. This paper is making Al, SiO2 as t... Protective fabric has been the focus of research of the textile materials. In recent years, with the rapid development of the robot, its protective fabric has been developed quickly. This paper is making Al, SiO2 as the sputtering target materials, magnetron sputtering as technology, on the back of the fabric sputtering Al layer, double-layer Al/SiO2 film, and three-layer SiO2/Al/SiO2 film through the test of the heat reflectivity of the composite materials. As a result, the highest reflectivity of the SiO2/Al/SiO2, SiO2/Al, and single Al film is 64.97%, 57.38%, and 51.59%, respectively. It is clear that reflectivity increases with the increase of the membrane layer. In three kinds of membrane structures, there are nanometer Al particles in the formation of dense membrane structure, which can improve the reflectivity of the fabric. 展开更多
关键词 Magntron SPUTTERING HEAT Reflectance nano-Film
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Boosting daytime radiative cooling performance with nanoporous polyethylene film
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作者 Junwei Liu Huajie Tang +3 位作者 Ji Zhang Debao Zhang Shifei Jiao Zhihua Zhou 《Energy and Built Environment》 2023年第2期131-139,共9页
Radiative cooling without energy consumption and environmental pollution holds great promise as the next-generation cooling technology.To date,daytime radiative cooling performance is still slightly low,especially in ... Radiative cooling without energy consumption and environmental pollution holds great promise as the next-generation cooling technology.To date,daytime radiative cooling performance is still slightly low,especially in humid areas.In this work,we demonstrated that nanoporous polyethylene(Nano PE)film can improve solar reflectivity from 96%to 99%,thus boosting radiative cooling performance.Moreover,the experimental results in humid areas indicate that Nano PE films can improve radiative cooling performance by∼76%in a clear day and 120%in a day with few clouds.Additionally,compared with ordinary PE films,thin Nano PE films have significantly higher weather fastness and mechanical strength.More importantly,nano PE films can scatter part of visible light,thus suppressing the generation of light pollution in practical applications.Lastly,the modeling results reveal that with Nano PE films,more than 95%of China’s areas can achieve daytime cooling performance.Our work can boost the development of radiative cooling technology with a very low cost. 展开更多
关键词 Daytime radiative cooling nano PE films Solar reflectivity Radiative cooling performance
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光谱调制反射镜的数控加工控制结构函数 被引量:1
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作者 李铭 张彬 +3 位作者 戴亚平 王韬 范正修 黄伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1352-1357,共6页
在千焦耳拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用经光学微纳超精细加工而成的电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与制造中,需要根... 在千焦耳拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用经光学微纳超精细加工而成的电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与制造中,需要根据加工精度来合理设计数控加工的控制结构函数以及加工刻蚀深度结构函数。针对神光Ⅱ千焦耳拍瓦高功率放大系统设计中提出的多层介质光谱调制反射镜,推导出数控加工的控制结构函数及其刻蚀深度结构函数,并通过数值模拟计算,分析了调制结构反射镜逼近调制函数的效果及其光谱调制特性。 展开更多
关键词 光学器件 光谱整形 介质膜结构微纳超精细加工 高斯调制反射镜 增益窄化与增益饱和效应 聚焦功率密度与信噪比
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O_2分压和退火对TiO_2/SiO_2纳米多层膜结构和光学性能的影响 被引量:3
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作者 张瑞奇 董磊 +1 位作者 李德军 刘孟寅 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2355-2361,共7页
利用Mass软件设计了TiO2/SiO2纳米多层光学增透膜膜系,并采用高真空电子束蒸发系统在不同O2分压条件下制备了TiO2/SiO2纳米多层膜,TiO2/SiO2薄膜多层膜体系在沉积条件下获得了很好的宽光谱光学透射性能,在可见光谱范围内透射率接近设计... 利用Mass软件设计了TiO2/SiO2纳米多层光学增透膜膜系,并采用高真空电子束蒸发系统在不同O2分压条件下制备了TiO2/SiO2纳米多层膜,TiO2/SiO2薄膜多层膜体系在沉积条件下获得了很好的宽光谱光学透射性能,在可见光谱范围内透射率接近设计值,平均透射率达到90%以上。通过一系列测试方法对多层膜退火前后的透射率、组分结构和退火以后的残余应力以及表面形貌进行了研究。实验结果表明:在较高O2分压条件下,由于多层膜结构中O空位的减少,使得多层膜透射率逐渐增加。在退火条件下,随着退火温度的增加,导致了表面均方根粗糙度(RMS)的增加以及晶粒的聚集长大,500℃时多层膜组分结晶化明显加强,使得缺陷增多;同时受退火温度的影响,残余应力逐渐增加,组分相互扩散加剧使得多层膜界面受到破坏。这些因素最终导致TiO2/SiO2多层膜的透射率逐渐降低。 展开更多
关键词 O2分压 TIO2 SiO2纳米多层光学增透膜 电子束蒸发 透射率
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聚合物交替多层聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯近红外高反膜的设计 被引量:4
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作者 黄亮 杨卫民 +2 位作者 林承友 焦志伟 石美浓 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第4期188-194,共7页
提出了一种能够实现近红外区域(780~1100nm)高反射的聚合物交替多层聚碳酸酯(PC)/聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)周期性光学薄膜的设计方案,验证了利用微纳层叠共挤设备制备特殊多层光学膜结构的可行性。利用遗传算法搜索出4个周期的最优布拉... 提出了一种能够实现近红外区域(780~1100nm)高反射的聚合物交替多层聚碳酸酯(PC)/聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)周期性光学薄膜的设计方案,验证了利用微纳层叠共挤设备制备特殊多层光学膜结构的可行性。利用遗传算法搜索出4个周期的最优布拉格中心波长,得出了最优膜的总厚度。仿真了4个周期叠加多层膜的光谱特性,讨论了入射角及厚度误差对多层膜近红外区域总反射率的影响。研究结果表明,所提方案满足对太阳光的隔热及内部智能采光的需求。 展开更多
关键词 薄膜 近红外区域 高反射 聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯 微层共挤 遗传算法
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