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Electrospinning and Electrospun Nanofibers 被引量:2
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作者 Lefayet Sultan Lipol Md. Moshiur Rahman 《World Journal of Nano Science and Engineering》 2016年第2期45-50,共6页
Electro-spinning is a very modern process which can be used in various purposes. We did this experimental work at Swerea IVF in Sweden during M. Sc in Textile Technology programme at University of Bor?s. We should esp... Electro-spinning is a very modern process which can be used in various purposes. We did this experimental work at Swerea IVF in Sweden during M. Sc in Textile Technology programme at University of Bor?s. We should especially thank our supervisor—Anna Thorvaldsson and course teacher—Ioannis S. Chronakis. In this report, we have tried to explain the basic manufacturing techniques of the electrospun nanofiber by the electro-spinning, how one can characterize it by SEM (Scanning Electron Microscopy) and its various applications in the practical field, e.g wound healing, Tissue Engineering Scaffold. The experimental work helped us a lot to gather sufficient knowledge about the electro-spinning process which we wanted to share with all. 展开更多
关键词 nano-Fibers Tissue Engineering Scaffold nano-Collagen Cartilage and Bones Bladder and Kidney sem (scanning electron microscopy)
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Physical Properties of Nano-Composite Silica-Phosphate Thin Film Prepared by Sol Gel Technique
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作者 Inas Battisha Amany El Nahrawy 《New Journal of Glass and Ceramics》 2012年第1期17-22,共6页
A series of silica-phosphate nano-composites prepared as a host thin films Physical Properties of Nano-Composite Silica-Phosphate Thin Film Prepared by Sol Gel Technique and doped with different concentrations of Er3+... A series of silica-phosphate nano-composites prepared as a host thin films Physical Properties of Nano-Composite Silica-Phosphate Thin Film Prepared by Sol Gel Technique and doped with different concentrations of Er3+ ions have been synthesized using tetraesoxysilane TEOS, triethylphosphate TEP and erbium nitrate as precursor sources of silica, phosphorus and erbium oxides. The structural properties of pure silica-phosphate thin films and doped with different concentrations of Er3+ ions were studied, using x-ray diffraction (XRD) and Fourier Transform Infrared (FTIR). The morphology of silica-phosphate was characterized by Scanning electron microscope (SEM). 展开更多
关键词 SOL-GEL nano-STRUCTURE SiO2P2O5 Thin Film scanning electron microscopy (sem) XRD and FTIR
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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:23
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作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子束扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 微纳米加工 扫描透射显微成像
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光栅参数测量技术研究进展 被引量:15
4
作者 刘洪兴 张巍 巩岩 《中国光学》 EI CAS 2011年第2期103-110,共8页
光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测... 光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展,指出了这些方法各自的优缺点和适用范围。AFM测量法和SEM测量法均可测得光栅的局部形貌信息,可用于检测光栅表面形貌缺陷;LD测量法和散射测量术反映的是激光照射区域的平均结果,其中LD测量法能得到光栅周期参数,而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数。这些方法测得的光栅参数结果比较吻合,其中LD测量法不确定度最小,AFM次之,SEM最大。文章最后对未来光栅参数测量技术的发展方向进行了论述。 展开更多
关键词 光栅 光栅参数测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 激光衍射仪 椭偏仪
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基于计量学的线边缘粗糙度定义 被引量:4
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作者 赵学增 李洪波 +2 位作者 褚巍 肖增文 李宁 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期214-218,共5页
对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分... 对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性。给出该定义和ITRS定义间的换算关系。结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度。 展开更多
关键词 纳米计量 临界尺寸 线边缘粗糙度 材料本质粗糙度 扫描电子显微镜(sem) 原子力显微镜(AFM)
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纳米SiO_2对钢纤维混凝土高温抗压性能的影响及微观分析 被引量:5
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作者 燕兰 邢永明 +2 位作者 赵建军 高占云 刘春燕 《混凝土》 CAS 北大核心 2017年第12期87-91,共5页
研究了普通混凝土(NC)、钢纤维增强混凝土(SFRC)、掺纳米SiO_2的普通混凝土(NNC)、掺纳米SiO_2的钢纤维混凝土(NSFC)四种混凝土高温时和高温后抗压性能试验,对不同温度下的微观结构进行了SEM分析,对基体相结构进行了XRD分析。结果表明,... 研究了普通混凝土(NC)、钢纤维增强混凝土(SFRC)、掺纳米SiO_2的普通混凝土(NNC)、掺纳米SiO_2的钢纤维混凝土(NSFC)四种混凝土高温时和高温后抗压性能试验,对不同温度下的微观结构进行了SEM分析,对基体相结构进行了XRD分析。结果表明,四种混凝土的高温后立方体抗压强度在400℃时达到最大值。其中NSFC的抗压强度最高,为88.46 MPa,比同温下的SFRC提高21.68%,比NC提高25.96%。四种混凝土高温时抗压强度在200℃时就达到峰值。200℃时,NSFC的抗压强度为77.45 MPa,分别是同温度时SFRC、NNC、NC的1.13、1.21、1.34倍。纳米SiO_2可与水泥水化产物Ca(OH)2发生二次水化反应,降低Ca(OH)_2含量和细化Ca(OH)_2晶体,把对强度不利的Ca(OH)_2转化为C-S-H凝胶,提高基体密实度。因此加入纳米SiO_2可明显提高混凝土的高温抗压强度,特别是对提高钢纤维混凝土的抗压强度具有显著作用。 展开更多
关键词 钢纤维混凝土 力学性能 高温 扫描电镜(sem) 纳米SIO2
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小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文) 被引量:2
7
作者 殷伯华 方光荣 +3 位作者 刘俊标 靳鹏云 薛虹 吕士龙 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第4期290-294,共5页
为了满足科学实验过程中对制作半导体器件和微纳米结构的需要,同时避免受到昂贵的工业级电子束曝光(electron beam lithography,EBL)机的条件制约,构建了一种基于普通扫描电子显微镜(scanning electron microsco-py,SEM)的桌面级小型电... 为了满足科学实验过程中对制作半导体器件和微纳米结构的需要,同时避免受到昂贵的工业级电子束曝光(electron beam lithography,EBL)机的条件制约,构建了一种基于普通扫描电子显微镜(scanning electron microsco-py,SEM)的桌面级小型电子束曝光系统.建立了以浮点DSP为控制核心的高速图形发生器硬件系统.利用线性计算方法实现了电子束曝光场的增益、旋转和位移的校正算法.在本曝光系统中应用了新型压电陶瓷电机驱动的精密位移台来实现纳米级定位.利用此位移台所具有的纳米定位能力,采用标记追逐法实现了电子束曝光场尺寸和形状的校准.电子束曝光实验结果表明,场拼接及套刻精度误差小于100 nm.为了测试曝光分辨率,在PMMA抗蚀剂上完成了宽度为30 nm的密集线条曝光实验.利用此系统,在负胶SU8和双层PMMA胶表面进行了曝光实验;并通过电子束拼接和套刻工艺实现了氮化物相变存储器微电极的电子束曝光工艺. 展开更多
关键词 扫描电子显微镜(sem) 电子束曝光(EBL) 图形发生器 纳米结构
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扫描电镜纳米尺度测量的标准化研究 被引量:4
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作者 傅志强 郭俊诚 +2 位作者 贺翠翠 赵江勇 刘锡贝 《标准科学》 2012年第3期32-35,共4页
本文简要介绍了纳米尺度测量概况和扫描电镜在纳米测量中的主要应用,从扫描电镜测长用标准物质,扫描电镜计量检定规程和长度测量标准方法3个方面简述了纳米尺度测量方法的标准化概况及国内外研究现状,并对纳米尺度测量未来的发展做出了... 本文简要介绍了纳米尺度测量概况和扫描电镜在纳米测量中的主要应用,从扫描电镜测长用标准物质,扫描电镜计量检定规程和长度测量标准方法3个方面简述了纳米尺度测量方法的标准化概况及国内外研究现状,并对纳米尺度测量未来的发展做出了展望。 展开更多
关键词 纳米测量 扫描电镜 标准化
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利用典型Si(100)微结构对原子力显微镜探针参数进行表征 被引量:3
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作者 韩国强 景蔚萱 +1 位作者 蒋庄德 朱明智 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第5期426-429,共4页
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si(100)上加工了具有本征侧墙角(54.73°)的典型微机电系统(MEMS)梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构,对其进行了原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)线宽和轮廓的比对测量。并对... 利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si(100)上加工了具有本征侧墙角(54.73°)的典型微机电系统(MEMS)梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构,对其进行了原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)线宽和轮廓的比对测量。并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究,提出了AFM探针参数动态表征的模型,基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征,提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征。该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善。 展开更多
关键词 计量学 MEMS 各向异性化学湿法刻蚀 原子力显微镜 线宽测量 探针表征
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基于粉体绝缘纳米材料的扫描电镜粘样方法研究 被引量:2
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作者 张巍 郑伟 李艳辉 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2016年第2期51-53,共3页
采用场发射扫描电子显微镜(JSM-7500F),以粉体绝缘纳米材料——二氧化硅样品为研究对象,采用有机溶剂超声分散法和直接分散法,分别用碳导电胶带、高浓度银导电浆、银浆溶液来粘贴样品,分析并讨论了各种粘样方法的扫描电镜成像效果。结... 采用场发射扫描电子显微镜(JSM-7500F),以粉体绝缘纳米材料——二氧化硅样品为研究对象,采用有机溶剂超声分散法和直接分散法,分别用碳导电胶带、高浓度银导电浆、银浆溶液来粘贴样品,分析并讨论了各种粘样方法的扫描电镜成像效果。结果表明,对常规的粉体绝缘纳米材料进行形貌观察时,采取直接分散法、用银浆溶液进行样品粘贴,不但图像效果好,而且有利于保持电镜样品室、探头以及物镜光阑的清洁,延长仪器的使用寿命。 展开更多
关键词 纳米二氧化硅粉末 场发射扫描电镜 超声分散法 直接分散法
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纳米级长度扫描电镜测量的现状和展望 被引量:2
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作者 张训彪 卢德生 +1 位作者 邓保庆 桂娟 《上海计量测试》 2007年第2期2-9,共8页
本文首先根据计量法规,介绍有关“纳米测量”的基本概念,其中主要有:“纳米”、“测量”、“纳米长度”、“纳米标准器具”、“纳米测量仪器”、“纳米测量方法”等。然后介绍纳米级长度测量的概况。重点介绍纳米级长度扫描电镜测量技... 本文首先根据计量法规,介绍有关“纳米测量”的基本概念,其中主要有:“纳米”、“测量”、“纳米长度”、“纳米标准器具”、“纳米测量仪器”、“纳米测量方法”等。然后介绍纳米级长度测量的概况。重点介绍纳米级长度扫描电镜测量技术的发展历程和现状。最后展望扫描电镜测量的发展趋势。 展开更多
关键词 扫描电镜 纳米级 展望 测量 长度 纳米科技 新兴学科 发展前景
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纳米硫化镉对A549细胞的损伤研究 被引量:3
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作者 张靖哲 孟春燕 +5 位作者 穆莎莎 孙宏伟 雍慧 任艺艺 李清钊 刘英莉 《生态毒理学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期125-130,共6页
研究纳米硫化镉(Nano-Cd S)材料对肺癌细胞系A549的毒性及氧化损伤作用。培养A549细胞,经传代后接种于6孔板中,每孔2 m L完全培养基,接种次日进行染毒。用直径20~30 nm、长度80~100 nm的Nano-Cd S进行染毒,染毒浓度分别为0、5、10、20... 研究纳米硫化镉(Nano-Cd S)材料对肺癌细胞系A549的毒性及氧化损伤作用。培养A549细胞,经传代后接种于6孔板中,每孔2 m L完全培养基,接种次日进行染毒。用直径20~30 nm、长度80~100 nm的Nano-Cd S进行染毒,染毒浓度分别为0、5、10、20、40和80 mg·L^(-1)。染毒24 h后用MTT检测细胞存活率,以存活率在80%左右的浓度为后续实验染毒浓度。应用流式细胞技术,用荧光探针法检测A549细胞的活性氧(reactive oxygen species,ROS)含量,PI-Annexin-V法检测细胞凋亡情况;用试剂盒检测细胞中超氧化物岐化酶(superoxide dismutase,SOD)和过氧化氢酶(catalase,CAT)活性以及丙二醛(malondialdehyde,MDA)含量,判断细胞氧化损伤情况。不同浓度Nano-Cd S处理细胞24 h之后,细胞存活率随剂量的增加而下降,浓度为10、20、40和80μg·L^(-1)时,存活率分别为(88.71%±0.80%)、(81.93%±3.06%)、(75.23%±1.13%)和(70.66%±5.63%),且各组间差异均具有统计学意义(P<0.05)。以浓度为10和20 mg·L^(-1)的Nano-Cd S染毒24 h后,胞内ROS含量和细胞凋亡率随染毒剂量的增加而增加(P<0.05);浓度为10 mg·L^(-1)时,细胞凋亡率为(6.26%±0.44%)。与对照相比,各染毒组SOD和CAT活性和MDA含量升高,20 mg·L^(-1)染毒组SOD和CAT活性和MDA含量高于10 mg·L^(-1)染毒组(P<0.05)。研究表明,纳米硫化镉能引起A549细胞的氧化损伤和细胞凋亡,具有明显的细胞毒性。 展开更多
关键词 纳米硫化镉 nano-CDS A549细胞 凋亡 氧化损伤 电镜
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特殊偶数重位点阵晶界的结构观测技术
13
作者 原效坤 吉元 《热加工工艺》 北大核心 2023年第16期38-42,共5页
以硬质合金为研究对象,分别采用扫描电镜、电子背散射衍射(EBSD)和统计性的晶界结构分析方法,进行了特殊偶数重位点阵晶界的结构观测,其主要程序为:①碳化钨/碳化钨晶界的准确分离;②碳化钨/碳化钨晶界按照不同标准的准确分类;③通过五... 以硬质合金为研究对象,分别采用扫描电镜、电子背散射衍射(EBSD)和统计性的晶界结构分析方法,进行了特殊偶数重位点阵晶界的结构观测,其主要程序为:①碳化钨/碳化钨晶界的准确分离;②碳化钨/碳化钨晶界按照不同标准的准确分类;③通过五参数法,对特殊重位点阵晶界做晶界面取向织构分析;④进一步对典型重位点阵晶界做界面结构分析。研究改进了特定晶界的提取和分类技术与典型重位点阵晶界的界面结构分析技术,并形成了重位点阵晶界结构对材料性能的有效反馈,其研究方法构成了对其它六方晶系材料的有益参鉴。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 电子背散射衍射 观测技术 重位点阵晶界 硬质合金
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β-Nickel hydroxide cathode material for nano-suspension redox flow batteries
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作者 Yue LI Cheng HE +4 位作者 Javier PARRONDO Vijay RAMANI Elena V. TIMOFEEVA Yujia DING Carlo SEGRE 《Frontiers in Energy》 SCIE CSCD 2017年第3期401-409,共9页
As part of an effort to build a prototype flow battery system using a nano-suspension containing β-Ni(OH)2 nanoparticles as the cathode material, nano-sized β-Ni(OH)2 particles with well-controlled particle size... As part of an effort to build a prototype flow battery system using a nano-suspension containing β-Ni(OH)2 nanoparticles as the cathode material, nano-sized β-Ni(OH)2 particles with well-controlled particle size and morphology were synthesized via the one-step precipitation of a NiCl2 precursor. The composition and morphology of the nanoparticles were characterized by scanning electronic microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD). The XRD patterns confirmed that β-Ni(OH)2 was successfully synthesized, while SEM results showed that the particle sizes range from 70 to 150 nm. To ensure that Ni(OH)2 could be employed in the nano-suspension flow battery, the electrochemical performance of the synthesized 13-Ni(OH)2 was initially tested in pouch cells through charge/discharge cycling. The phase transformations occurring during charge/discharge were investigated using in-situ X-ray absorption spectroscopy to obtain the shift in the oxidation state of Ni (X-ray adsorption near edge structure, XANES) and the distances between Ni and surrounding atoms in charged and discharged states (extended X-ray absorption fine structure, EXAFS). XANES results indicated that the electrode in the discharged state was a mixture of phases because the edge position did not shift back completely. XAFS results further proved that the discharge capacity was provided by β-NiOOH and the ratio between β-Ni(OH)2 and γ-NiOOH in the electrode in the discharged state was 71:29. Preliminary nano-suspension tests in a lab-scale cell were conducted to understand the behavior of the nano-suspension during charge/discharge cycling and to optimize the operating conditions. 展开更多
关键词 nano-suspension flow battery β-Ni(OH)2 scanning electronic microscopy (sem X-ray diffraction(XRD) X-ray adsorption near edge structure (XANES) extended X-ray absorption fine structure (EXAFS)
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高精度测量的特种SPM技术及仪器
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作者 马宗敏 王芳 +6 位作者 曲章 赵敏 石云波 张晓明 秦丽 刘俊 李艳君 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2016年第11期1-16,共16页
测量过程中,测量的准确程度与测量仪器间的作用力是极其重要的,为此需准确测量微纳尺度材料的机械、电子、磁、光以及化学特性.同时,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相关技术拥有确定探针针尖与样品间作用力的能力,... 测量过程中,测量的准确程度与测量仪器间的作用力是极其重要的,为此需准确测量微纳尺度材料的机械、电子、磁、光以及化学特性.同时,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相关技术拥有确定探针针尖与样品间作用力的能力,因此,本文主要就微纳尺度的高精度SPM测量技术及仪器做一简单的介绍和回顾.首先介绍了原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)、扫描隧道显微镜(Scanning Tunnel Microscope,STM)及其相关技术原理,其次重点介绍了常温/低温STM、自旋极化(Spin Polarization,SP)-STM、AFM等仪器本身的关键技术及搭建难点,并介绍了运用上述仪器取得的典型成果;再次,介绍了国内外运用极端环境(超低温、超高真空)与常温、大气环境的AFM、STM在特殊区域微纳尺度测量、基于探针技术的微纳电子器件表征与控制,以及SPM操控技术的典型成果最新进展;最后,介绍了本研究小组运用超高真空AFM在磁性材料表征与测量方面的进展.总之,通过本文对SPM高精度测量及其应用的回顾与介绍,对SPM的关键组成部分、关键技术及最新发展有了更深的认识.SPM的先进性、用户的友好体验以及具有鲜明应用指向性的特点,有望在原子/分子科学、纳机电系统(Nanoelectro Mechanical System,NEMS)等领域有重要的应用. 展开更多
关键词 SPM技术 精密测量 微纳电子器件 材料表征
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基于图像处理的线距测量方法 被引量:6
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作者 张晓东 赵琳 +2 位作者 韩志国 冯亚南 李锁印 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第1期89-93,共5页
关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)是对微纳尺寸线距标准样片定标的标准器具。为提高标准样片的定标准确度,研究一种基于图像处理技术的测量算法。首先,对研制样片的特征进行分析;其次,研究线性近似算法和线距测量算法,并分别对100nm^10μm的线... 关键尺寸扫描电镜(CD-SEM)是对微纳尺寸线距标准样片定标的标准器具。为提高标准样片的定标准确度,研究一种基于图像处理技术的测量算法。首先,对研制样片的特征进行分析;其次,研究线性近似算法和线距测量算法,并分别对100nm^10μm的线距标准样片进行测量;最后,利用纳米测量机进行对比实验研究。实验结果表明,线性近似算法的相对误差可以控制在0.45%以内,相比之下,线距测量算法的相对误差可控制在0.35%以内。因此,线距测量算法提高了线距的测量精度,为提高线距测量类仪器量值的可靠性、保证半导体器件制造精度提供了一种测量方案。 展开更多
关键词 测量 关键尺寸扫描电镜 线距标准样片 微纳尺寸 线性近似算法 图像处理
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Experimental Study of Static Contact-angle on Peak-like Microstructural Surfaces Produced by PIII Technology
17
作者 YANG Runhua YANG Lixin 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期241-248,共8页
Plasma immersion ion implantation(PIII) was used to fabricate micro/nano structures on monocrystalline Si surfaces with different ratios of mixed gases(SF_6/O_2). The micro/nano structures on the surfaces of the sampl... Plasma immersion ion implantation(PIII) was used to fabricate micro/nano structures on monocrystalline Si surfaces with different ratios of mixed gases(SF_6/O_2). The micro/nano structures on the surfaces of the sample were characterized by scanning electron microscopy(SEM) and atomic force microscopy(AFM). The results showed that with increasing ratio of mixed gases(SF_6/O_2), the height of the micro/nano structures first increased and then decreased. Contact-angle measurements indicated that the surfaces' micro/nano structures have an obvious effect on the contact-angle, and could cause a change in surface wettability. The theoretical analysis of contact-angle showed that the Wenzel and Cassie theories cannot predict the contact-angle of a roughened surface accurately, and should be corrected for practical applications using an actual model. Moreover, the contact-angle first increased and then decreased with increasing ratio of mixed gases(SF_6/O_2), which is in accordance with the change of the height of micro/nano structures. 展开更多
关键词 Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) scanning electron microscopy (sem Atomic Frce microscopy (AFM) Micro/nano Structure Surface CONTACT-ANGLE
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