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Mg-doped ZnO radial spherical structures via chemical vapor deposition 被引量:2
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作者 PENG Jiangqiang GUO Jian DING Shulong XU Qiao LI Hang TAN Xuwei ZHAO Xian 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第3期292-297,共6页
Mg-doped ZnO radial spherical structures with nanorods grown on both sides of the spherical shell were successfully prepared via chemical vapor deposition (CVD) of Zn and Mg powders in the absence of a catalyst. The... Mg-doped ZnO radial spherical structures with nanorods grown on both sides of the spherical shell were successfully prepared via chemical vapor deposition (CVD) of Zn and Mg powders in the absence of a catalyst. The structures associated with different growth temperatures (700, 800, and 850°C) were monitored by scanning electron microscopy (SEM), and the result shows that the length of the nanorods increase progressively with the growth temperature increasing. X-ray diffraction (XRD) shows that the as-obtained samples can be indexed to high crystallinity with wurtzite structure. The growth of the nanostructures mainly depends on the formation of sphere-like Mg-doped Zn droplets before adding oxygen. Photoluminescence (PL) spectra that show a 39 meV blue shift indicates that the band gap becomes large, because Mg substitutes Zn in the lattice. 展开更多
关键词 zinc oxide magnesium DOPING NANORODS chemical vapor deposition photoluminescence spectroscopy
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Hydrophobic Ti_xO_y-C_mH_n Nanoparticle Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
2
作者 王德信 徐金洲 +5 位作者 刘伟 郭颖 杨沁玉 丁可 石建军 张菁 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2012年第3期227-232,共6页
The hydrophobic films of TixOy-CmHn deposited from mixture gases of titanium isopropoxide (TTIP) and oxygen by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) were investigated. The films were investigated by scanni... The hydrophobic films of TixOy-CmHn deposited from mixture gases of titanium isopropoxide (TTIP) and oxygen by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) were investigated. The films were investigated by scanning electron microscope (SEM), transmission electron microscope (TEM), Fourier transform infrared spectrometer (FTIR), X-Ray diffraction (XRD), element analysis (EA), ultraviolet visible spectrometer (UV-Vis), and water contact angle (WCA). The results reveal that the surface of the films is formed by microsized papillaes aggregated by inorganic and organic phases of complex nanoparticles with size from 50 nm to 200 nm when the discharge power is increased from 40 W to 150 W. All films demonstrate the strong broad of Ti-O-Ti stretching vibration at 400-800 cm-1, -CH bending vibration at 1388 cm-1, and broadening -OH stretching vibration at 3000-3500 cm-1. With the increase of the discharge power, the as-deposited film changes from amorphous to crystallization. The WCA of the film can be as high as 160°, indicating the hydrophobicity. The films show a similar ultraviolet absorption property as the bulk TiO2 film. The composition of the composition of film deposited at 150 W can be formulated as Ti0.3O2-C1.5H3. Therefore, the composition formula of this hydrophobic film could be expressed as TiO2-C5H10O4.7. It is believed that the complex micro/nano structures of TiO2 and C5H10O4.7 residues are responsible for the observed hydrophobicity and the ultraviolet absorption property of the film. 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积法 纳米颗粒膜 疏水性 紫外可见分光光度计 傅里叶变换红外光谱 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 二氧化钛
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Preparation of well-aligned carbon nanotubes/silicon nanowires core-sheath composite structure arrays in porous anodic aluminum oxide templates 被引量:5
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作者 李梦轲 力虎林 +1 位作者 陆梅 王成伟 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2002年第4期435-444,共10页
The well-aligned carbon nanotubes (CNTs) arrays with opened ends were prepared in ordered pores of anodic aluminum oxide (AAO) template by the chemical vapor deposition (CVD) method. After then, silicon nanowires (SiN... The well-aligned carbon nanotubes (CNTs) arrays with opened ends were prepared in ordered pores of anodic aluminum oxide (AAO) template by the chemical vapor deposition (CVD) method. After then, silicon nanowires (SiNWs) were deposited in the hollow cavities of CNTs. By using this method, CNTs/SiNWs core-sheath composite structure arrays were synthesized successfully. Growing structures and physical properties of the CNTs/SiNWs composite structure arrays were analyzed and researched by the scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and X-ray diffraction spectrum (XRD), respectively. The field emission (FE) behavior of the CNTs/SiNWs composite structure arrays was studied based on Fowler-Nordheim tunneling mechanism and current-voltage (/-V) curve. And the photoluminescence (PL) was also characterized. Significantly, the CNTs/SiNWs core-sheath composite structure nanowire fabricated by AAO template method is characteristic of a metal/semiconductor (M/S) behavior and can 展开更多
关键词 carbon NANOTUBE silicon NANOWIRE COMPOSITE structure arrays chemical vapor deposition POROUS anodic aluminum oxide template.
原文传递
Characterization of Undoped and Cu-Doped ZnO Thin Films Deposited on Glass Substrates by Spray Pyrolysis
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作者 Metin Bedir Mustafa Oztas A. Necmeddin Yazici E. Vural Kafadar 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期939-942,共4页
Undoped and copper doped zinc oxide (ZnO) thin films have been prepared on glass substrates by spray pyrolysis technique. The films were doped with copper using the direct method by addition of a copper salt (CuCl2... Undoped and copper doped zinc oxide (ZnO) thin films have been prepared on glass substrates by spray pyrolysis technique. The films were doped with copper using the direct method by addition of a copper salt (CuCl2) in the spray solution of ZnO. Variation of structural, electrical, optical and thermoluminescence (TL) properties with doping concentrations is investigated in detail. 展开更多
关键词 chemical-vapor-deposition zinc-oxide FILMS OPTICAL-PROPERTIES TRANSPARENT
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真空退火对溅射淀积ZnO:Ga透明导电膜性能的影响 被引量:7
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作者 马瑾 余旭浒 +4 位作者 计峰 王玉恒 张锡健 程传福 马洪磊 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1166-1168,共3页
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上低温制备出了镓掺杂氧化锌(ZnO:Ga)透明导电膜,研究了真空退火对薄膜结构、电学和光学特性的影响。结果表明:真空退火后,薄膜结构得到明显改善,电阻率由退火前的1.13×10-3?·cm下降到5.4×1... 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上低温制备出了镓掺杂氧化锌(ZnO:Ga)透明导电膜,研究了真空退火对薄膜结构、电学和光学特性的影响。结果表明:真空退火后,薄膜结构得到明显改善,电阻率由退火前的1.13×10-3?·cm下降到5.4×10-4?·cm,在可见光区的平均透过率也由未退火前的83%提高到退火后的90%以上。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZNO:GA 真空退火
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MOCVD方法在Ti/Si(111)模板上生长ZnO薄膜的研究 被引量:3
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作者 李冬梅 李璠 +5 位作者 苏宏波 王立 戴江南 蒲勇 方文卿 江风益 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期63-65,70,共4页
本文采用常压MOCVD方法在Ti/S i(111)模板上生长了氧化锌(ZnO)薄膜,使用二乙基锌为Zn源,去离子水为O源。S i衬底上的Ti薄层采用电子束蒸发台蒸发,然后低温生长缓冲层并在高温下进行重结晶,接着在680℃进行ZnO薄膜的生长。采用粉末衍射... 本文采用常压MOCVD方法在Ti/S i(111)模板上生长了氧化锌(ZnO)薄膜,使用二乙基锌为Zn源,去离子水为O源。S i衬底上的Ti薄层采用电子束蒸发台蒸发,然后低温生长缓冲层并在高温下进行重结晶,接着在680℃进行ZnO薄膜的生长。采用粉末衍射法、双晶X射线衍射及光致发光技术研究了材料的取向、结晶性能及发光性能。结果表明,本文制备了高度择优取向和良好发光性能的ZnO薄膜。 展开更多
关键词 氧化锌 金属Ti SI衬底 金属有机化学气相沉积
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氧化锌纳米线的制备及其应用研究 被引量:4
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作者 白慧萍 卢旭晓 +2 位作者 谭琳 杨光明 杨云慧 《云南化工》 CAS 2007年第6期49-53,共5页
氧化锌纳米线是一种性能优异的新型功能材料,应用前景广阔。综述了氧化锌纳米线的常用制备方法,如化学气相法、电化学法、溶胶-凝胶法和溶液法,以及近年来新的应用领域和研究前沿。
关键词 氧化锌 纳米材料 化学气相沉积法 光电材料
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带隙可调的宽禁带半导体Mg_xZn_(1-x)O薄膜研究进展 被引量:3
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作者 李春 方国家 赵兴中 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期177-180,共4页
MgxZn1 xO薄膜是一种新型宽禁带半导体薄膜,在兼顾ZnO、MgO材料性能的同时,具有带隙连续可调的特点,近年来逐渐成为半导体光电功能材料与器件的研究热点之一。本文从MgxZn1 xO薄膜的基本特性、制备方法、应用研究等方面进行了分析和评述... MgxZn1 xO薄膜是一种新型宽禁带半导体薄膜,在兼顾ZnO、MgO材料性能的同时,具有带隙连续可调的特点,近年来逐渐成为半导体光电功能材料与器件的研究热点之一。本文从MgxZn1 xO薄膜的基本特性、制备方法、应用研究等方面进行了分析和评述,并对其应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 MgxZn1-xO薄膜 宽禁带 半导体 发展前景
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ZnO薄膜非线性光学特性的实验研究 被引量:11
9
作者 刘成有 宁丹 +1 位作者 B.P.Zhang Y.Segawa 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期265-271,共7页
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长一层高质量的ZnO薄膜。为了考察沉积温度对样品的非线性特性的影响,在200~500℃生长了一系列ZnO薄膜。用X射线衍射谱(XRD)及扫描电镜(SEM)对样品结构进行了评价。以Nd:YAG激光... 利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长一层高质量的ZnO薄膜。为了考察沉积温度对样品的非线性特性的影响,在200~500℃生长了一系列ZnO薄膜。用X射线衍射谱(XRD)及扫描电镜(SEM)对样品结构进行了评价。以Nd:YAG激光器输出的1.06μm的激光为基频光,对ZnO薄膜样品的二阶及三阶非线性光学特性进行了实验研究。实验发现,对于250℃沉积温度的样品有较强的非线性效应,实验测得的二阶非线性极化张量χ(2)ZZZ=9.2pm/V,三阶有效非线性系数χ(3)=5.28×10-20m2/V2。 展开更多
关键词 二次谐波振荡 金属有机化学气相沉积 二阶极化率 三阶极化率 沉积温度
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立方闪锌矿结构ZnS纳米线的合成与表征 被引量:2
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作者 杜园园 介万奇 李焕勇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期585-587,594,共4页
在NiS纳米粒子的辅助下,采用CVD方法,在NiS-Zn系统中成功地合成了长为25μm,直径大约200nm的具有立方相闪锌矿结构ZnS纳米线,其最优生长方向为[111]。由PL谱可知,在437.2nm处有一个很强的发射峰,说明ZnS纳米线具有很好的发光特性和单晶... 在NiS纳米粒子的辅助下,采用CVD方法,在NiS-Zn系统中成功地合成了长为25μm,直径大约200nm的具有立方相闪锌矿结构ZnS纳米线,其最优生长方向为[111]。由PL谱可知,在437.2nm处有一个很强的发射峰,说明ZnS纳米线具有很好的发光特性和单晶质量。并提出了氧化还原反应作用下的VLS生长机制,较好的解释了ZnS纳米线的形成过程。 展开更多
关键词 ZNS 闪锌矿 一维结构 化学气相沉积 Ⅱ-Ⅳ族材料
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金刚石/氧化锌透明异质结的研制 被引量:1
11
作者 杨洁 高春晓 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期230-232,238,共4页
利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜 /氧化锌异质结。首先 ,在金刚石单晶表面外延生长 1层透明p型半导体金刚石薄膜 ,然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜 ;进而利用溅射、光刻等方... 利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜 /氧化锌异质结。首先 ,在金刚石单晶表面外延生长 1层透明p型半导体金刚石薄膜 ,然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜 ;进而利用溅射、光刻等方法制备出欧姆接触电极 ,获得了金刚石 /氧化锌透明异质 pn结。该结呈现典型的二极管伏安特性曲线 ,开启电压为 1.0V。在 5 0 0~ 70 0nm波长范围内 ,该结的透过率达到 2 0 %。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 氧化锌薄膜 异质结 化学气相沉积 磁控溅射
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氧化锌/石墨烯复合膜对可燃气体响应的温度依赖性 被引量:1
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作者 赵洪全 高素梅 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2016年第12期1664-1666,共3页
通过化学气相沉积法制备了石墨烯,采用电沉积工艺在石墨烯表面沉积了氧化锌层,获得氧化锌/石墨烯复合膜,利用场发射扫描电子显微镜观察了样品的形貌,测试了石墨烯、氧化锌及氧化锌/石墨烯复合膜气敏元件对乙醇的气敏响应特性。结果表明... 通过化学气相沉积法制备了石墨烯,采用电沉积工艺在石墨烯表面沉积了氧化锌层,获得氧化锌/石墨烯复合膜,利用场发射扫描电子显微镜观察了样品的形貌,测试了石墨烯、氧化锌及氧化锌/石墨烯复合膜气敏元件对乙醇的气敏响应特性。结果表明,所制备的复合膜是氧化锌为壳,石墨烯片为核的核壳状复合纳米片结构;氧化锌/石墨烯复合膜对乙醇的响应信号最大、最稳定,而该元件对乙醇的响应信号对温度具有很强的依赖性,在300℃高温下仍可正常使用。 展开更多
关键词 石墨烯 氧化锌 化学气相沉积 电沉积 气敏元 可燃气体
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铟掺杂一维半导体氧化锌纳米螺旋制备及表征 被引量:2
13
作者 李建军 齐怀琴 《高师理科学刊》 2009年第6期50-53,共4页
利用化学气相沉积的方法,在硅衬底上生长了铟掺杂的氧化锌纳米螺旋结构.通过X-射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、选区电子衍射等手段对样品的形貌和结构进行了表征.结果表明,合成的纳米螺旋由纳米带旋转而成,曲率半径为几... 利用化学气相沉积的方法,在硅衬底上生长了铟掺杂的氧化锌纳米螺旋结构.通过X-射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、选区电子衍射等手段对样品的形貌和结构进行了表征.结果表明,合成的纳米螺旋由纳米带旋转而成,曲率半径为几个微米.纳米带宽约200 nm,厚约几十纳米,铟杂质的引入使其生长方向沿(1010)方向. 展开更多
关键词 纳米结构 氧化锌 化学气相沉积
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Ga_(0.47)In_(0.53)As/SiO_2与Ga_(0.47)In_(0.53)As/Al_2O_3的界面性质
14
作者 江若琏 郑有炓 +2 位作者 傅浩 邵建军 黄善祥 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第10期7399-745,共1页
本文研究了GaInAs/SiO_2与GaInAs/Al_2O_3的界面性质.采用PECVD技术以TEOS为源以及采用MOCVD技术以Al(OC_3H_1)_3为源在n^+-InP衬底的n-Ga_(0.47) In_(0.33)As外延层上淀积了/SiO_2和Al_2O_3,制备成MIS结构.结果表明这些MIS结构具有良好... 本文研究了GaInAs/SiO_2与GaInAs/Al_2O_3的界面性质.采用PECVD技术以TEOS为源以及采用MOCVD技术以Al(OC_3H_1)_3为源在n^+-InP衬底的n-Ga_(0.47) In_(0.33)As外延层上淀积了/SiO_2和Al_2O_3,制备成MIS结构.结果表明这些MIS结构具有良好的C-V特性,SiO_2/GaInAs界面在密度最低达 2.4×10^(11)cm^2·eV^(?),氧化物陷阱电荷密度达10^(?)~10^(10)cm^2,观察到GaInAs/SiO,结构中的深能级位置为E_c-E_T=0.39eV.GaInAs/Al_2O_3结构中的深能级位置为E_c=E_T=0.41eV. 展开更多
关键词 MIS结构 等离子 PEVD 界面态
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SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能
15
作者 姚光辉 周瑞明 +1 位作者 韩杰 陈敏恒 《华东化工学院学报》 CSCD 1990年第3期249-255,共7页
研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100~250℃。
关键词 二氧化锡 化学气相淀积 薄膜
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纳米氧化锌螺旋结构的合成及生长机制研究
16
作者 周鸣宇 曲亮生 高红 《新技术新工艺》 2015年第4期110-112,共3页
利用化学气相沉积的方法,制备出纳米氧化锌螺旋结构。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等手段对样品的形貌和结构进行了表征。结果表明,样品具有超均匀的新颖螺旋结构,这种结构基于Sb诱导的VS机制,使组成螺旋的各纳米... 利用化学气相沉积的方法,制备出纳米氧化锌螺旋结构。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等手段对样品的形貌和结构进行了表征。结果表明,样品具有超均匀的新颖螺旋结构,这种结构基于Sb诱导的VS机制,使组成螺旋的各纳米棒生长方向沿6个等价的<01 1-1>方向。 展开更多
关键词 纳米螺旋结构 氧化锌 化学气相沉积
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有周期性纳米贴片的氧化锌纤维结构
17
作者 周鸣宇 《新技术新工艺》 2015年第7期125-127,共3页
利用化学气相沉积的方法,获得了有周期性纳米贴片的氧化锌纤维结构。通过采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,对样品的形貌和结构进行了表征。结果表明,样品具有均匀周期性贴片纤维新型结构。讨论了样品由Sb诱导的VS机... 利用化学气相沉积的方法,获得了有周期性纳米贴片的氧化锌纤维结构。通过采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,对样品的形貌和结构进行了表征。结果表明,样品具有均匀周期性贴片纤维新型结构。讨论了样品由Sb诱导的VS机制,并对样品室温发光进行了测试。 展开更多
关键词 纳米纤维结构 氧化锌 化学气相沉积
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铟掺杂的氧化锌纳米带的制备和发光特性 被引量:4
18
作者 卢会清 高红 +1 位作者 张锷 张喜田 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期376-379,共4页
以混合的ZnO粉和金属In作为前驱物,通过化学气相沉积方法在Si衬底上合成了In掺杂的ZnO纳米带。利用场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜以及附带的能谱仪对它们的结构和成分进行了表征。结果表明,ZnO纳米带沿<101-0>方向生长;I... 以混合的ZnO粉和金属In作为前驱物,通过化学气相沉积方法在Si衬底上合成了In掺杂的ZnO纳米带。利用场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜以及附带的能谱仪对它们的结构和成分进行了表征。结果表明,ZnO纳米带沿<101-0>方向生长;In的掺杂浓度是21%原子分数。讨论了ZnO纳米带的形成机制和光致发光特性。 展开更多
关键词 ZNO纳米带 掺杂 化学气相沉积
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原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响 被引量:1
19
作者 杨超 李莹 +1 位作者 闫璐 曹韫真 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期681-686,共6页
通过原子层沉积(ALD)工艺在硅基底依次沉积氧化铝缓冲层薄膜和氧化铁催化薄膜,然后利用管式炉进行水辅助化学气相沉积(WACVD)生长垂直碳纳米管阵列(VACNTs)。结果表明:ALD工艺制备的氧化铁薄膜经还原气氛热处理可形成碳纳米管阵列生长... 通过原子层沉积(ALD)工艺在硅基底依次沉积氧化铝缓冲层薄膜和氧化铁催化薄膜,然后利用管式炉进行水辅助化学气相沉积(WACVD)生长垂直碳纳米管阵列(VACNTs)。结果表明:ALD工艺制备的氧化铁薄膜经还原气氛热处理可形成碳纳米管阵列生长所需的纳米催化颗粒;氧化铁薄膜厚度与纳米催化颗粒大小以及生长出的碳纳米管阵列的结构密切相关。当氧化铁薄膜厚度为1.2 nm时,生长出的碳纳米管阵列管外径约为10 nm,管壁层数约为5层,阵列高度约为400?m。增大氧化铁薄膜的厚度,生长出的碳纳米管阵列外径和管壁数增加,阵列高度降低。实验还在硅基底侧面观察到了VACNTs,表明ALD工艺可在三维结构上制备催化薄膜用于生长VACNTs。 展开更多
关键词 原子层沉积 氧化铁 水辅助化学气相沉积 垂直碳纳米管阵列 结构可控 三维样品
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氧化锌纳米结构的制备及发光性质研究 被引量:6
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作者 潘跃武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期994-999,共6页
采用化学气相沉积方法,在氩气和氧气混合气氛下制备了两种四角结构的纳米氧化锌。初始反应物为纯锌粉,反应过程中没有采用任何触媒。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、光致发光光谱研究了纳米产物的结构和光学性质。获... 采用化学气相沉积方法,在氩气和氧气混合气氛下制备了两种四角结构的纳米氧化锌。初始反应物为纯锌粉,反应过程中没有采用任何触媒。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、光致发光光谱研究了纳米产物的结构和光学性质。获得的纳米产物为高纯的纤锌矿结构氧化锌。两种氧化锌纳米产物具有三维立体的四角结构,分别为四角锥-片状结构和四角锥-线状结构,具有较大的长径比,呈典型的微/纳结构。通过对两种氧化锌纳米结构的紫外发射峰和可见发射带的对比研究,探讨了氧化锌纳米产物可见发射带的起源,以及影响其发光性质的主要因素。 展开更多
关键词 氧化锌 化学气相沉积 四角纳米结构 光致发光
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