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纳米器件与单电子晶体管 被引量:5
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作者 王太宏 《微纳电子技术》 CAS 2002年第1期28-32,共5页
报道了一种非常重要的纳米器件———单电子晶体管,介绍了它的原理、基本特性、制备方法及其集成,着重分析讨论了两种新型的单电子晶体管即波导型单电子晶体管和点接触栅型单电子晶体管。
关键词 单电子晶体管 纳米器件 超敏感探测 纳米加工
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