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亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定
被引量:
9
1
作者
张泰华
郇勇
王秀兰
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2003年第4期498-502,共5页
采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为1...
采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为11.5GPa/330GPa,6.0GPa/210GPa,30GPa/450GPa。纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35,40CrNiMo,TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25,0.45,0.15,0.10。同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料。纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段。
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关键词
纳米压痕
纳米划痕
力学性能
摩擦性能
亚微米氮化钛膜
等离子电弧沉积
弹塑性变形
断裂
测定
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职称材料
磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究
被引量:
7
2
作者
倪晟
孙卓
赵强
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1842-1844,1848,共4页
使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列Al含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜。在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小。Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都...
使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列Al含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜。在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小。Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都高于TiN薄膜。而Al含量较高时(>26%),薄膜的硬度和弹性模量也随含量增加减小。
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关键词
TIALN薄膜
磁控共溅射
纳米压痕仪
机械性能
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职称材料
纳米压/划痕表征激光渗氮层的弹塑性力学性能
被引量:
6
3
作者
曹丽琴
轩福贞
+1 位作者
王正东
涂善东
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期157-160,共4页
利用脉冲式Nd:YAG激光在Ti6Al4V合金表面进行激光渗氮处理,借助纳米压痕和划痕试验表征渗氮层的弹塑性力学性能。结果表明,在钛合金表面成功制备了高硬度、高强度、枝晶状分布的渗氮层。同时,渗氮层内硬度、模量、强度以及应力-应变关...
利用脉冲式Nd:YAG激光在Ti6Al4V合金表面进行激光渗氮处理,借助纳米压痕和划痕试验表征渗氮层的弹塑性力学性能。结果表明,在钛合金表面成功制备了高硬度、高强度、枝晶状分布的渗氮层。同时,渗氮层内硬度、模量、强度以及应力-应变关系、摩擦系数等力学性能呈现出类似于激光渗氮层内氮元素扩散曲线的非均匀性空间分布规律。硬度和弹性模量之比以及纳米划痕试验结果表明,激光渗氮层的抗磨损性能随深度的增加逐渐降低,摩擦系数随着划入深度的增加,从0.2增加到0.4。
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关键词
激光渗氮
纳米压痕
纳米划痕
力学性能
原文传递
题名
亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定
被引量:
9
1
作者
张泰华
郇勇
王秀兰
机构
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
航天材料及工艺研究所
出处
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2003年第4期498-502,共5页
基金
国家自然科学基金(10242001和10172086)
中国科学院知识创新工程重要方向资助项目(KJCX2-SW-L2)~~
文摘
采用等离子电弧沉积的方法,分别在GT35和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.5μm的氮化钛(TiN)膜。为了筛选基材,采用纳米压痕和划痕技术,评价膜基界面结合和固体润滑效果。纳米压痕结果,GT35,40CrNiMo和TiN的纳米硬度/弹性模量的典型值分别约为11.5GPa/330GPa,6.0GPa/210GPa,30GPa/450GPa。纳米划痕结果,GT35有较理想的膜基结合能力;GT35,40CrNiMo,TiN及其有机膜的摩擦系数分别约为0.25,0.45,0.15,0.10。同40CrNiMo相比,GT35是较为理想的基体材料。纳米压痕和划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息,是评价亚微米薄膜力学性能的有效手段。
关键词
纳米压痕
纳米划痕
力学性能
摩擦性能
亚微米氮化钛膜
等离子电弧沉积
弹塑性变形
断裂
测定
Keywords
nanoindentation
,
nanoscratch
,
titanium nitride
,
mechanical properties
,
tribological properties
分类号
O484.2 [理学—固体物理]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究
被引量:
7
2
作者
倪晟
孙卓
赵强
机构
华东师范大学物理系纳米功能材料与器件应用研究中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期1842-1844,1848,共4页
基金
上海市科委纳米专项资助项目(0452nm0480352nm077)
上海市科委科技攻关项目资助项目(035211036)
+1 种基金
教育部科学技术研究重点资助项目(02105)
教育部"跨世纪优秀人才培养计划"基金资助项目(03~04)
文摘
使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列Al含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜。在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小。Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都高于TiN薄膜。而Al含量较高时(>26%),薄膜的硬度和弹性模量也随含量增加减小。
关键词
TIALN薄膜
磁控共溅射
纳米压痕仪
机械性能
Keywords
titanium
aluminum
nitride
reactive magnetron co-sputtering
nanoindentation
mechanical properties
分类号
TB139 [理学—应用物理]
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职称材料
题名
纳米压/划痕表征激光渗氮层的弹塑性力学性能
被引量:
6
3
作者
曹丽琴
轩福贞
王正东
涂善东
机构
燕山大学环境与化学工程学院
华东理工大学机械与动力工程学院
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期157-160,共4页
基金
国家自然科学基金项目(507350001)
河北省高等学校自然科学研究指导项目(Z2011120)
上海市重点学科建设项目(B503)
文摘
利用脉冲式Nd:YAG激光在Ti6Al4V合金表面进行激光渗氮处理,借助纳米压痕和划痕试验表征渗氮层的弹塑性力学性能。结果表明,在钛合金表面成功制备了高硬度、高强度、枝晶状分布的渗氮层。同时,渗氮层内硬度、模量、强度以及应力-应变关系、摩擦系数等力学性能呈现出类似于激光渗氮层内氮元素扩散曲线的非均匀性空间分布规律。硬度和弹性模量之比以及纳米划痕试验结果表明,激光渗氮层的抗磨损性能随深度的增加逐渐降低,摩擦系数随着划入深度的增加,从0.2增加到0.4。
关键词
激光渗氮
纳米压痕
纳米划痕
力学性能
Keywords
laser nitriding
nanoindentation
nanoscratch
mechanical properties
分类号
TG113.25 [金属学及工艺—物理冶金]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定
张泰华
郇勇
王秀兰
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2003
9
下载PDF
职称材料
2
磁控共溅射制备氮化钛铝薄膜及其机械性能的研究
倪晟
孙卓
赵强
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
下载PDF
职称材料
3
纳米压/划痕表征激光渗氮层的弹塑性力学性能
曹丽琴
轩福贞
王正东
涂善东
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
6
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