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题名纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展
被引量:2
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作者
马潇均
钟占荣
曹勇
杜如虚
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机构
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期114-118,127,共6页
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文摘
随着先进制造技术的发展,许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性,宏观尺度下的界面性质将不再适用,因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统(MEMS)甚至纳机电系统(NEMS)中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值。Couette流动作为剪切驱动流动的原形,在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性。在总结国内外该方向研究成果的基础上,详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法,总结了现有的滑移现象和规律,并对今后的发展进行了展望。
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关键词
纳米薄膜
界面滑移现象
分子动力学
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Keywords
nanometer thin films, interracial slip behavior, molecular dynamics
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
TB33
[一般工业技术—材料科学与工程]
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