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PECVD生长nc-Si∶H膜的沉积机理分析 被引量:16
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作者 彭英才 何宇亮 刘明 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第4期283-288,共6页
nc-Si∶H膜具有显著不同于α-Si∶H与μc-Si∶H膜的新颖结构与物性。从热力学反应的基元过程出发,定性地分析了本征nc-Si∶H与掺磷nc-Si(P)∶H膜的沉积机理。
关键词 PEVCD nc-si:H膜 沉积机理 退火处理 自组织生长
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PECVD工艺参数对nc-Si∶H膜质量的影响 被引量:4
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作者 彭英才 刘明 何宇亮 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期277-280,共4页
研究了PECVD生长ncSi∶H膜过程中SiH4气体稀释比、平衡反应气压、衬底温度、等离子体射频功率和直流负偏压等各种工艺参数对生成膜层质量的影响。
关键词 nc-si:H膜 膜层质量 工艺参数 PECVD
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掺杂nc-Si∶H膜的电导特性 被引量:5
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作者 彭英才 刘明 +1 位作者 何宇亮 李月霞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期308-312,共5页
采用常规 PECVD工艺 ,以高纯 H2 稀释的 Si H4 作为反应气体源 ,以 PH3作为 P原子的掺杂剂 ,在 P型 ( 1 0 0 )单晶硅 ( c- Si)衬底上 ,成功地生长了掺 P的纳米硅膜 ( nc- Si( P)∶ H)膜 .通过对膜层结构的 Raman谱分析和高分辨率电子显... 采用常规 PECVD工艺 ,以高纯 H2 稀释的 Si H4 作为反应气体源 ,以 PH3作为 P原子的掺杂剂 ,在 P型 ( 1 0 0 )单晶硅 ( c- Si)衬底上 ,成功地生长了掺 P的纳米硅膜 ( nc- Si( P)∶ H)膜 .通过对膜层结构的 Raman谱分析和高分辨率电子显微镜 ( HREM)观测指出 :与本征 nc- Si∶H膜相比 ,nc- Si( P)∶ H膜中的 Si微晶粒尺寸更小 (~ 3nm) ,其排布更有秩序 ,呈现出类自组织生长的一些特点 .膜层电学特性的研究证实 ,nc- Si( P)∶ H膜具有比本征 nc- Si∶ H膜约高两个数量级的电导率 ,其 σ值可高达 1 0 - 1~ 1 0 - 1Ω- 1· cm- 1.这种高电导率来源于 nc- Si( P)∶H膜中有效电子浓度 ne的增加、Si微晶粒尺寸的减小和电导激活能 ΔE的降低 .采用 nc- Si( P)∶H膜和 P型 c- Si制备了异质结二极管 ,其反向击穿电压值可高达 75V,而反向漏电流却仅有几个 n A。 展开更多
关键词 电导特性 nc-si:H膜 掺杂 半导体薄膜
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硼掺杂对用于SHJ太阳电池的nc-Si∶H薄膜微结构的影响 被引量:2
4
作者 乔治 解新建 +3 位作者 刘辉 梁李敏 郝秋艳 刘彩池 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期933-938,共6页
采用RF-PECVD法在低温低功率密度下制备了p型nc-Si∶H薄膜,并系统地研究了硼掺杂对薄膜微结构及光电性能的影响。结果表明:由于"硼掺杂效应",随着掺硼比的增大,nc-Si∶H薄膜的晶化率逐渐降低,晶粒尺寸减小,薄膜的择优取向由[1... 采用RF-PECVD法在低温低功率密度下制备了p型nc-Si∶H薄膜,并系统地研究了硼掺杂对薄膜微结构及光电性能的影响。结果表明:由于"硼掺杂效应",随着掺硼比的增大,nc-Si∶H薄膜的晶化率逐渐降低,晶粒尺寸减小,薄膜的择优取向由[111]变为[220];光学带隙逐渐减小,电导率则先升后降;本实验中薄膜的最优掺杂比为0.3%。以优化后的p型nc-Si∶H薄膜做窗口层,SHJ太阳电池的性能得到明显改善,获得了效率为14.1%的电池。 展开更多
关键词 RF-PECVD nc-si∶H薄膜 硼掺杂 SHJ太阳能电池
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纳米硅(nc-Si∶H)/晶体硅(c-Si)异质结太阳电池计算机模拟 被引量:2
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作者 胡志华 夏朝凤 +1 位作者 徐德林 廖显伯 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2003年第3期23-26,共4页
文章运用美国宾州大学发展的 AMPS程序模拟计算了 n-型纳米硅 ( n+ -nc-Si∶ H) /p-型晶体硅 ( p-c-Si)异质结太阳电池的光伏特性。结果显示 ,界面缺陷态是决定电池性能的关键因素 ,显著影响电池的开路电压 ( VOC和填充因子 ( F F)。计... 文章运用美国宾州大学发展的 AMPS程序模拟计算了 n-型纳米硅 ( n+ -nc-Si∶ H) /p-型晶体硅 ( p-c-Si)异质结太阳电池的光伏特性。结果显示 ,界面缺陷态是决定电池性能的关键因素 ,显著影响电池的开路电压 ( VOC和填充因子 ( F F)。计算得到了这种电池理想情况下 (无界面态、有背面场、正背面反射率分别为 0和 1 )的理论极限效率 ηmax=3 1 .1 7% ( AM1 .5 1 0 0 MW/cm2 0 .40~ 1 .1 0 μm波段 )。 展开更多
关键词 nc-si:H/c-Si异质结 太阳电池 纳米硅 晶体硅 光伏特性 计算机模拟 极限效率
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采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO_2薄膜 被引量:2
6
作者 王蓟 李剑 +2 位作者 邢华 宁永强 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期297-300,共4页
溶胶 凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术,被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中。本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下,采用溶胶 凝胶方法制备含有纳米晶硅(nc Si)的SiO2胶体溶... 溶胶 凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术,被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中。本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下,采用溶胶 凝胶方法制备含有纳米晶硅(nc Si)的SiO2胶体溶液,通过旋涂法使溶剂迅速挥发而迅速凝胶化,经过适当温度的干燥和烧结制备了nc Si/SiO2薄膜。探讨了胶体粘度、盐酸催化剂浓度、旋涂速度和时间对成膜质量的影响。给出了nc Si/SiO2薄膜的扫描电镜图像和表征nc Si/SiO2薄膜组分的能谱图。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 制备方法 nc-si/SiO2薄膜 旋涂法 能谱图 硅基光电子集成 二氧化硅
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(p)nc-Si∶H/(n)c-Si异质结变容二极管
7
作者 韦文生 王天民 +2 位作者 张春熹 李国华 卢励吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期745-750,共6页
采用等离子体增强化学气相沉积技术和电子束蒸发技术制备了一种新型的线性缓变异质结变容二极管———Au/Cr合金(电极)/multi-layer(p)nc-Si∶H/(n)c-Si/(电极)Au/Ge合金结构.I V,C V,C f以及DLTS的测试结果表明:其电容变化系数远大于... 采用等离子体增强化学气相沉积技术和电子束蒸发技术制备了一种新型的线性缓变异质结变容二极管———Au/Cr合金(电极)/multi-layer(p)nc-Si∶H/(n)c-Si/(电极)Au/Ge合金结构.I V,C V,C f以及DLTS的测试结果表明:其电容变化系数远大于单晶硅线性缓变异质结的电容变化系数,正向导电机制符合隧穿辅助辐射复合模型,这是nc-Si∶H层中nc-Si晶粒的量子效应所致;反向电流主要由异质结中空间电荷区的产生电流决定,且反向漏电流小,反向击穿电压高,表现出较好的整流特性. 展开更多
关键词 (p)nc-si H薄膜 (p)nc Si H/(n)c SI异质结 变容二极管
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非均匀的纳米晶硅(nc-Si)薄膜的横向热伏效应
8
作者 刘立慧 高斐 +4 位作者 郝培风 刘晓静 张君善 权乃承 孙杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第A03期544-547,共4页
采用磁控溅射技术在石英衬底上沉积1层200nm厚的非晶硅(a-Si)薄膜,并用真空热蒸发在其上沉积两个横向接触的厚度不同(分别为50和100nm)的Al膜。将已沉积好的薄膜在N2气氛中600℃下退火45min,得到两个横向接触的具有不同晶化程度的纳米晶... 采用磁控溅射技术在石英衬底上沉积1层200nm厚的非晶硅(a-Si)薄膜,并用真空热蒸发在其上沉积两个横向接触的厚度不同(分别为50和100nm)的Al膜。将已沉积好的薄膜在N2气氛中600℃下退火45min,得到两个横向接触的具有不同晶化程度的纳米晶硅(nc-Si)薄膜。利用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)研究了所制备样品的结构特性。由较厚Al膜诱导的nc-Si薄膜的Si晶粒平均尺寸为25nm,晶化率为56%;由较薄Al膜诱导的nc-Si薄膜的Si晶粒平均尺寸为15nm,晶化率为23%。实验发现在没有温度梯度的情况下,这两个不同晶化程度的nc-Si薄膜之间具有横向热伏效应。温度为273K时,其开路电压为1.2mV,短路电流为40nA;当温度达到373K时,其开路电压达到25mV,短路电流达到1.171μA。 展开更多
关键词 横向热伏效应 纳米晶硅(nc-si)薄膜 Al诱导晶化 开路电压 短路电流
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nc-Si:H薄膜的微结构特征与光学特性
9
作者 娄建忠 李钗 +2 位作者 马蕾 王峰 江子荣 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2012年第6期592-596,共5页
利用射频等离子体增强型化学气相沉积(RF-PECVD)工艺,以SiH4和H2作为反应气体源,在玻璃和石英衬底上制备了氢化纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜.采用Raman散射谱、原子力显微镜(AFM)、透射光谱方法对在不同衬底温度与不同H2稀释比条件下沉积生长... 利用射频等离子体增强型化学气相沉积(RF-PECVD)工艺,以SiH4和H2作为反应气体源,在玻璃和石英衬底上制备了氢化纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜.采用Raman散射谱、原子力显微镜(AFM)、透射光谱方法对在不同衬底温度与不同H2稀释比条件下沉积生长薄膜的微结构和光学特性进行了实验研究.结果表明,nc-Si:H薄膜的晶粒尺寸为2.6~7.0nm和晶化率为45%~48%.在一定反应压强、衬底温度和射频功率下,随着H2稀释比的增加,薄膜的沉积速率降低,但晶化率和晶粒尺寸均有所增加,相应光学吸收系数增大.而在一定反应压强、射频功率和H2稀释比下,随着衬底温度的增加,沉积速率增加,薄膜晶化率提高. 展开更多
关键词 RF-PECVD nc-si H薄膜 微结构 光学特性
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nc-Si∶(Al_2O_3+SiO_2)复合膜的制备及其热电特性
10
作者 郝培风 高斐 +5 位作者 苗锟 刘立慧 孙杰 权乃承 刘晓静 张君善 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1465-1469,共5页
采用真空热蒸发技术在石英玻璃衬底上蒸镀约400 nm的铝膜,并在空气中580℃的条件下退火1 h。在退火过程中Al与石英中的SiO2反应形成纳米硅nc-Si∶(Al2O3+SiO2)复合膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼散射(Raman)及扫描电镜(SEM)等... 采用真空热蒸发技术在石英玻璃衬底上蒸镀约400 nm的铝膜,并在空气中580℃的条件下退火1 h。在退火过程中Al与石英中的SiO2反应形成纳米硅nc-Si∶(Al2O3+SiO2)复合膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼散射(Raman)及扫描电镜(SEM)等方法研究了薄膜的结构特性。测得膜厚约为760 nm,估算出薄膜中纳米硅(nc-Si)的平均尺寸约为25 nm。实验发现该nc-Si∶(Al2O3+SiO2)复合膜有热电特性,研究了其电阻率及Seebeck系数随温度(293-413 K)的变化关系,在293 K和413 K该薄膜的Seebeck系数分别约为-624μV/K和-225μV/K。 展开更多
关键词 热电薄膜 nc-si∶(Al2O3+SiO2)复合膜 热蒸发 SEEBECK系数
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nc-Si/SiO_2球形量子点的三阶极化率
11
作者 刘明强 郭震宁 杨小儒 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第2期143-146,共4页
在有效质量近似下,采用无限深势阱,理论计算nc-Si/SiO2球形量子点导带中的电子束缚态,并利用紧束缚密度矩阵理论,推导出共振三阶极化率的表达式.通过数值模拟,分析讨论nc-Si/SiO2球形量子点的三阶极化率与量子点半径、入射光子的能量和... 在有效质量近似下,采用无限深势阱,理论计算nc-Si/SiO2球形量子点导带中的电子束缚态,并利用紧束缚密度矩阵理论,推导出共振三阶极化率的表达式.通过数值模拟,分析讨论nc-Si/SiO2球形量子点的三阶极化率与量子点半径、入射光子的能量和弛豫相的关系.结果表明,在强受限中,三阶极化率与量子点半径、入射光子能量和弛豫相有着显著的关系.随着量子点半径的增大、入射光子能量的增大和弛豫相的减小,三阶极化率都有不同程度的增强. 展开更多
关键词 量子点 无限深势阱 三阶极化率 nc-si/SiO2
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Nc-Si∶H薄膜器件的研究
12
作者 韦文生 徐刚毅 +1 位作者 王天民 张春熹 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第1期76-79,共4页
介绍了氢化纳米硅(nc-Si∶H)薄膜在电子学器件和光电转换器件(如隧道二极管、异质结二极管、变容二极管、单电子晶体管、太阳能电池、发光二极管)等方面的研究进展,分析了这些器件的性能与nc-Si∶H薄膜结构之间的关系,阐述了新型器件的... 介绍了氢化纳米硅(nc-Si∶H)薄膜在电子学器件和光电转换器件(如隧道二极管、异质结二极管、变容二极管、单电子晶体管、太阳能电池、发光二极管)等方面的研究进展,分析了这些器件的性能与nc-Si∶H薄膜结构之间的关系,阐述了新型器件的优点。 展开更多
关键词 nc-si:H薄膜 氢化纳米硅薄膜 电子学器件 光电转换器件 化学稳定性
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SELECTIVELY-EXCITED PHOTOLUMINESCENCE IN NC-Si:Er
13
作者 罗向东 戴兵 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 2008年第4期318-323,共6页
Erbium (Er) doped in nanocrystalline Si (nc-Si:Er) surrounded by SiO2 is investigated by selectivelyexcited photoluminescence(PL) technique. Optical transitions come from nc-Si (peak located at 1.39 eV, denote... Erbium (Er) doped in nanocrystalline Si (nc-Si:Er) surrounded by SiO2 is investigated by selectivelyexcited photoluminescence(PL) technique. Optical transitions come from nc-Si (peak located at 1.39 eV, denoted as Enc-Si) and Er ions (peak located at 0. 81 eV, denoted as EEr) are measured when nc-Si:Er is excited by 1. 519 eV or higher excitation photon energy(Eex). Although the Eex of 1.42 eV exceeds the peak energies of Enc-Si and EEr the Enc-Si and EE, emissions are unobserved. A resonant enhancement of the EEr emission is observed in nc-Si:Er. While the PL peak intensitiy of the Enc-Si transition is quenched under this Eex. The resonant-enhanced effect in nc-Si :Er indicates that the energy transfer process of carriers from nc-Si to nearby Er ions is enhanced by resonant excitation. 展开更多
关键词 nc-si ERBIUM selectively-excited photoluminescence RESONANCE
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nc-Si/SiO_2复合膜的非线性光学性质
14
作者 郭震宁 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2007年第3期243-245,共3页
采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术,制备a-SiOx∶H(0<x<2)薄膜,经高温退火形成纳米硅晶粒(nc-Si)埋入SiO2基质的复合膜nc-Si/SiO2.采用简并四波混频技术(DFWM),研究nc-Si/SiO2复合膜的非线性光学性质,观察到这种纳米薄膜... 采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术,制备a-SiOx∶H(0<x<2)薄膜,经高温退火形成纳米硅晶粒(nc-Si)埋入SiO2基质的复合膜nc-Si/SiO2.采用简并四波混频技术(DFWM),研究nc-Si/SiO2复合膜的非线性光学性质,观察到这种纳米薄膜材料的位相共轭信号,测得样品在光波波长在589 nm处的三阶非线性极化率为X(3)=5.6×10-6esu,并分析其光学非线性增强机理. 展开更多
关键词 nc-si/SiO2复合膜 简并四波混频 光学非线性 三阶极化率
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α-SiN_x/nc-Si/α-SiN_x双势垒结构的电荷存储特性
15
作者 宋捷 丁宏林 《韩山师范学院学报》 2010年第3期43-47,共5页
利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,采用NH_3等离子体预氮化法淀积α-SiN_x介质膜,同时结合layer by layer生长nc-Si的方法一次性原位制备了α-SiN_x/nc-Si/α-SiN_x双势垒结构样品.通过原子力显微镜(AFM)测量,估算了nc-Si的密度为... 利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,采用NH_3等离子体预氮化法淀积α-SiN_x介质膜,同时结合layer by layer生长nc-Si的方法一次性原位制备了α-SiN_x/nc-Si/α-SiN_x双势垒结构样品.通过原子力显微镜(AFM)测量,估算了nc-Si的密度为1.2×10^(11)cm^(-2).通过C-V测量研究镶嵌在SiN_x双势垒层中的nc-Si颗粒的电荷存储现象.C-V曲线出现明显的迥滞现象,迴滞窗口约为1 V,表明结构中电荷存储特性.根据迴滞窗口,计算了结构中存储电荷的密度,发现存储电荷密度与nc-Si层的晶粒密度具有相同的数量级. 展开更多
关键词 双势垒结构 电荷存储 nc-si SiN_x
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n-ZnO/i-ZnO/p-nc-Si结构薄膜太阳能电池的模拟研究 被引量:3
16
作者 林家辉 彭启才 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期27-30,共4页
运用AMPS-1D软件对n-ZnO/i-ZnO/p-nc-Si结构的异质结薄膜太阳能电池进行了模拟,探讨了补偿掺杂i-ZnO层厚度变化以及界面态的引入对太阳能电池的开路电压、短路电流密度、填充因子以及转换效率的影响,并对其机理进行了分析。结果表明:界... 运用AMPS-1D软件对n-ZnO/i-ZnO/p-nc-Si结构的异质结薄膜太阳能电池进行了模拟,探讨了补偿掺杂i-ZnO层厚度变化以及界面态的引入对太阳能电池的开路电压、短路电流密度、填充因子以及转换效率的影响,并对其机理进行了分析。结果表明:界面态的存在会大幅降低太阳能电池的效率,在理想情况下太阳能电池的转换效率可以达到25.381%。 展开更多
关键词 太阳能电池 ZNO nc-si 厚度
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H_2稀释比对RF-PECVD制备a-Si:H/nc-Si:H薄膜的光电特性的影响 被引量:3
17
作者 程自亮 蒋向东 +2 位作者 王继岷 刘韦颖 连雪艳 《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第3期485-488,共4页
研究了H2稀释比对a-Si:H/nc-Si:H薄膜光电特性及微结构的影响。采用RF-PECVD法,以高纯Si H4及H2/Si H4混合气体为反应气源交替反应制备样品,并通过紫外-可见光分光光度计、椭偏仪及Keithley 4200、XRD对样品进行分析测试。实验表明:在... 研究了H2稀释比对a-Si:H/nc-Si:H薄膜光电特性及微结构的影响。采用RF-PECVD法,以高纯Si H4及H2/Si H4混合气体为反应气源交替反应制备样品,并通过紫外-可见光分光光度计、椭偏仪及Keithley 4200、XRD对样品进行分析测试。实验表明:在纳米级厚度的a-Si:H薄膜基础上,随着第二反应气H2/Si H4混合气中H2比率(99%、97%、95%、92%、80%)的升高,沉积速率持续下降,薄膜消光系数、禁带宽度以及电导率呈现先增大后减小的趋势。针对实验现象,结合薄膜生长机理对实验结果原因进行了分析。 展开更多
关键词 a-Si:H/nc-si:H 氢稀释 RF-PECVD(射频等离子体化学气相沉积) 光电性能 生长机理
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Z扫描法研究nc-Si/SiNx多量子阱材料非线性光学特性 被引量:1
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作者 沈海波 郭亨群 +6 位作者 王国立 王加贤 吴志军 宋江婷 徐骏 陈坤基 王启明 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期878-882,共5页
采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了nc-Si/SiNx多量子阱材料。对样品进行了小角度XRD、Raman光谱、吸收光谱测试,研究了其结构和光学性质。采用皮秒脉冲激光单光束Z-扫描技术研究了样品在非共振吸收区的三阶非线性光学特性。... 采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了nc-Si/SiNx多量子阱材料。对样品进行了小角度XRD、Raman光谱、吸收光谱测试,研究了其结构和光学性质。采用皮秒脉冲激光单光束Z-扫描技术研究了样品在非共振吸收区的三阶非线性光学特性。实验结果表明,其非线性折射率为负值,非线性吸收属于双光子吸收。由实验数据计算得材料三阶非线性极化率为7.50×10-8esu,该值比体硅材料的三阶非线性极化率大4个数量级。对材料光学非线性产生的机理进行了探讨,认为材料的非线性极化率的增加来源于材料量子限制效应增强。 展开更多
关键词 nc-si/SiNx多量子阱材料 Z-扫描 非线性折射率 非线性吸收
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测试温度对nc-Si∶H膜光致发光特性的影响 被引量:2
19
作者 彭英才 刘明 +3 位作者 何宇亮 江兴流 李国华 韩和相 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期56-59,共4页
利用常规等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si∶H膜,并对其光致发光(PL)特性从10~250K温度范围内进行了变温测量.实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在... 利用常规等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si∶H膜,并对其光致发光(PL)特性从10~250K温度范围内进行了变温测量.实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在T>80K后呈指数下降趋势.PL峰值能量的红移起因于带隙的收缩,而PL强度的减弱则是由于非辐射复合起了主导作用. 展开更多
关键词 光致发光 带隙收缩 单晶硅 氢化 薄膜 测试温度
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nc-Si/SiNx超晶格薄膜实现Nd:YAG激光器调Q和锁模 被引量:2
20
作者 王国立 郭亨群 +4 位作者 苏培林 张春华 王启明 徐骏 陈坤基 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期905-909,共5页
采用射频磁控反应溅射法制备a-Si/SiNx超晶格薄膜材料,热退火后形成纳米Si晶粒。把nc-Si/SiNx薄膜作为饱和吸收体插入Nd:YAG激光器腔内,在腔长较短时,实现1.06μm激光的被动调Q运转,获得最小脉宽23ns的调Q单脉冲输出,当腔长增加到124cm... 采用射频磁控反应溅射法制备a-Si/SiNx超晶格薄膜材料,热退火后形成纳米Si晶粒。把nc-Si/SiNx薄膜作为饱和吸收体插入Nd:YAG激光器腔内,在腔长较短时,实现1.06μm激光的被动调Q运转,获得最小脉宽23ns的调Q单脉冲输出,当腔长增加到124cm时,获得平均脉宽35ps的锁模脉冲序列。根据实验现象结合薄膜结构,分析了材料调Q与锁模的产生机制,并研究了不同工作条件下的调Q输出性能。 展开更多
关键词 激光技术 nc—Si/SiN 超晶格薄膜 调Q 锁模 射频磁控反应溅射
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