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基于45 nm SOI CMOS的56 Gbit/s PAM-4光接收机前端设计
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作者 张文嘉 林福江 《微电子学与计算机》 2024年第1期106-112,共7页
在光接收电路设计中,光电二极管的寄生电容以及大的输入电阻会导致接收机带宽下降,造成严重的符号间干扰(Inter-Symbol Interference,ISI)。噪声性能是高速跨阻放大器(Transimpedance Amplifier,TIA)最重要的指标之一,跨阻值决定系统的... 在光接收电路设计中,光电二极管的寄生电容以及大的输入电阻会导致接收机带宽下降,造成严重的符号间干扰(Inter-Symbol Interference,ISI)。噪声性能是高速跨阻放大器(Transimpedance Amplifier,TIA)最重要的指标之一,跨阻值决定系统的噪声性能,同时也限制了数据速率。针对100G/400G互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)光接收机应用,基于45 nm绝缘衬底上的硅(Silicon-On-Insulator,SOI)工艺设计了一种采用四电平脉冲幅度调制(4-level Pulse Amplitude Modulation,PAM-4)、工作速率为56 Gbit/s(28 Gbaud/s)的低噪声光接收机前端放大器。小带宽TIA和用于带宽拓展的跨导/跨导(g_(m)/g_(m))放大器组成两级接收前端,在改善噪声性能的同时有效提高了带宽。采用反相器结构来增大先进CMOS工艺下的跨导和改善线性度。可变增益放大器(Variable Gain Amplifier,VGA)采用折叠Gilbert结构设计,采用并联峰化电感来提高带宽。整体电路的增益动态范围为51.6~70.6 dB,-3 dB带宽达到20.1 GHz;等效输入噪声电流密度为17.3 pA=Hz^(12);电路采用GF 45 nm SOI CMOS工艺实现,在1.1 V和1.3 V电源电压下功耗为65 mW;版图核心面积为600μm*240μm。 展开更多
关键词 PAM-4 光接收机前端 跨阻放大器 可变增益放大器 45 nm SOI CMOS
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Fin Field Effect Transistor with Active 4-Bit Arithmetic Operations in 22 nm Technology
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作者 S.Senthilmurugan K.Gunaseelan 《Intelligent Automation & Soft Computing》 SCIE 2023年第2期1323-1336,共14页
A design of a high-speed multi-core processor with compact size is a trending approach in the Integrated Circuits(ICs)fabrication industries.Because whenever device size comes down into narrow,designers facing many po... A design of a high-speed multi-core processor with compact size is a trending approach in the Integrated Circuits(ICs)fabrication industries.Because whenever device size comes down into narrow,designers facing many power den-sity issues should be reduced by scaling threshold voltage and supply voltage.Initially,Complementary Metal Oxide Semiconductor(CMOS)technology sup-ports power saving up to 32 nm gate length,but further scaling causes short severe channel effects such as threshold voltage swing,mobility degradation,and more leakage power(less than 32)at gate length.Hence,it directly affects the arithmetic logic unit(ALU),which suffers a significant power density of the scaled multi-core architecture.Therefore,it losses reliability features to get overheating and increased temperature.This paper presents a novel power mini-mization technique for active 4-bit ALU operations using Fin Field Effect Tran-sistor(FinFET)at 22 nm technology.Based on this,a diode is directly connected to the load transistor,and it is active only at the saturation region as a function.Thereby,the access transistor can cutoff of the leakage current,and sleep transis-tors control theflow of leakage current corresponding to each instant ALU opera-tion.The combination of transistors(access and sleep)reduces the leakage current from micro to nano-ampere.Further,the power minimization is achieved by con-necting the number of transistors(6T and 10T)of the FinFET structure to ALU with 22 nm technology.For simulation concerns,a Tanner(T-Spice)with 22 nm technology implements the proposed design,which reduces threshold vol-tage swing,supply power,leakage current,gate length delay,etc.As a result,it is quite suitable for the ALU architecture of a high-speed multi-core processor. 展开更多
关键词 FinFET(22 nm)technology diode connection arithmetic logic unit reduce threshold voltage swing gate length delay leakage power
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Performance of Double-Pole Four-Throw Double-Gate RF CMOS Switch in 45-nm Technology
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作者 Viranjay M. Srivastava 《Wireless Engineering and Technology》 2010年第2期47-54,共8页
In this paper, we have investigated the design parameters of RF CMOS switch, which will be used for the wireless tele-communication systems. A double-pole four-throw double-gate radio-frequency complementary-metal-oxi... In this paper, we have investigated the design parameters of RF CMOS switch, which will be used for the wireless tele-communication systems. A double-pole four-throw double-gate radio-frequency complementary-metal-oxide-semicon- ductor (DP4T DG RF CMOS) switch for operating at the 1 GHz is implemented with 45-nm CMOS process technology. This proposed RF switch is capable to select the data streams from the two antennas for both the transmitting and receiving processes. For the development of this DP4T DG RF CMOS switch we have explored the basic concept of the proposed switch circuit elements required for the radio frequency systems such as drain current, threshold voltage, resonant frequency, return loss, transmission loss, VSWR, resistances, capacitances, and switching speed. 展开更多
关键词 45-nm technology Capacitance of DOUBLE-GATE MOSFET DG MOSFET DP4T SWITCH Radio Frequency RF SWITCH Resistance of DOUBLE-GATE MOSFET VLSI
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Investigation of the characteristics of GIDL current in 90nm CMOS technology 被引量:2
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作者 陈海峰 郝跃 +5 位作者 马晓华 张进城 李康 曹艳荣 张金凤 周鹏举 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期645-648,共4页
A specially designed experiment is performed for investigating gate-induced drain leakage (GIDL) current in 90nm CMOS technology using lightly-doped drain (LDD) NMOSFET. This paper shows that the drain bias VD has... A specially designed experiment is performed for investigating gate-induced drain leakage (GIDL) current in 90nm CMOS technology using lightly-doped drain (LDD) NMOSFET. This paper shows that the drain bias VD has a strong effect on GIDL current as compared with the gate bias VG at the same drain-gate voltage VDG. It is found that the difference between ID in the off-state ID - VG characteristics and the corresponding one in the off-state ID - VD characteristics, which is defined as IDIFF, versus VDG shows a peak. The difference between the influences of VD and VG on GIDL current is shown quantitatively by IDIFF, especially in 90nm scale. The difference is due to different hole tunnellings, Furthermore, the maximum IDIFF(IDIFF,MAX) varies linearly with VDG in logarithmic coordiuates and also VDG at IDIFF,MAX with VF which is the characteristic voltage of IDIFF, The relations are studied and some related expressions are given. 展开更多
关键词 GIDL 90nm CMOS technology band-to-band tunnelling
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65nm/45nm工艺及其相关技术 被引量:4
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作者 翁寿松 《微纳电子技术》 CAS 2004年第7期10-14,共5页
介绍了65nm/45nm工艺的研究成果、157nmF2stepper技术、高k绝缘层和低k绝缘层等技术。着重讨论了157nmF2stepper的F2激光器、透镜材料、光刻胶和掩模材料问题。
关键词 65 nm/45 nm工艺 157 nm F2光刻机 高k/低k绝缘材料
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45nm工艺与关键技术 被引量:4
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作者 翁寿松 《微纳电子技术》 CAS 2007年第9期863-867,共5页
介绍了45 nm芯片所采用的关键工艺技术:193 nm ArF干法/浸没式光刻技术、低k电介质技术、高k电介质技术和应变硅技术等。英特尔45 nm全功能153 MB SRAM芯片与65 nm芯片相比,晶体管密度提高了2倍,晶体管开关速度提高20%以上,晶体管漏电... 介绍了45 nm芯片所采用的关键工艺技术:193 nm ArF干法/浸没式光刻技术、低k电介质技术、高k电介质技术和应变硅技术等。英特尔45 nm全功能153 MB SRAM芯片与65 nm芯片相比,晶体管密度提高了2倍,晶体管开关速度提高20%以上,晶体管漏电流降低到65 nm芯片的1/5,存储单元面积为0.346μm2。指出英特尔45 nm芯片MPU将在2007年下半年实现量产,并且继英特尔之后,TI、IBM、特许、英飞凌、三星、台积电和台联电等均已推出了45 nm芯片,说明45 nm芯片技术正在日益走向成熟。 展开更多
关键词 45 nm工艺 193 nm ArF光刻技术 低k电介质技术 高k电介质技术 应变硅技术
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超浅结亚45nm MOSFET亚阈值区二维电势模型 被引量:3
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作者 韩名君 柯导明 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期94-98,共5页
文章提出将亚阈值区超浅结MOSFET的氧化层和Si衬底划分为三个区域,得到三个区域的定解问题,并用特征函数展开法求出了因边界衔接条件而产生的未知系数,首次得到超浅结亚45nm MOSFET的二维电势半解析模型,并给出了亚阈值电流模型.通过与M... 文章提出将亚阈值区超浅结MOSFET的氧化层和Si衬底划分为三个区域,得到三个区域的定解问题,并用特征函数展开法求出了因边界衔接条件而产生的未知系数,首次得到超浅结亚45nm MOSFET的二维电势半解析模型,并给出了亚阈值电流模型.通过与Medici模拟结果对比发现该模型能够准确模拟亚阈值下的超浅结15~45nm MOSFET的二维电势和电流. 展开更多
关键词 超浅结亚45nm MOSFET 二维电势半解析模型 亚阈值电流
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266 nm纳秒固体激光在PS上打孔的工艺实验研究
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作者 齐立涛 李存涛 刘凤聪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期513-519,共7页
为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径... 为了研究266 nm纳秒固体激光在聚苯乙烯(PS)上打孔的材料去除机理、工艺规律和优化工艺参数,采用了单因素实验法和正交实验法进行了单脉冲和多脉冲打孔的实验研究。分析了材料的去除机理,得到了脉冲数量、脉冲能量以及离焦量对微孔直径和深度的影响规律,获得了满足要求的工艺参数的优化组合。结果表明,单脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.110 mJ时加工出的微孔形状规则、圆度较好以及重铸层宽度较小,脉冲能量为0.500 mJ时,加工出的微孔形状和圆度质量变差,重铸层宽度增大;多脉冲打孔条件下,脉冲能量为0.040 mJ时,加工出的通孔入口处无重铸层,去除机理以光化学作用为主,脉冲能量为0.390 mJ时,加工出的通孔入口处重铸层较为明显,且入口边缘出现过烧蚀现象,去除机理以光热作用为主;脉冲能量和离焦量对孔径影响较大,脉冲数量和正离焦量对孔深影响较大;正交实验得到的优化参数组合为脉冲数量50、脉冲能量0.021 mJ、离焦量0μm时,可以加工出质量较好的微孔。本研究为266 nm纳秒激光加工聚苯乙烯靶球提供了参考依据。 展开更多
关键词 激光技术 材料去除机理 工艺实验 266 nm纳秒激光 聚苯乙烯 微孔
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45nm工艺及材料的最新动态 被引量:1
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作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 2006年第11期9-12,共4页
介绍了45nm芯片、工艺和设备的最新动态。英特尔、TI、IBM、特许、英飞凌和三星都推出了45nm功能芯片。45nm主要工艺包括光刻、应变硅、低k电介质、Cu互连、高k电介质和离子注入等。光刻工艺采用193nmArF/浸没式光刻机。45nm工艺中应变... 介绍了45nm芯片、工艺和设备的最新动态。英特尔、TI、IBM、特许、英飞凌和三星都推出了45nm功能芯片。45nm主要工艺包括光刻、应变硅、低k电介质、Cu互连、高k电介质和离子注入等。光刻工艺采用193nmArF/浸没式光刻机。45nm工艺中应变硅技术已步入第三代,它综合采用双应力衬垫、应力记忆和嵌入SiGe层。 展开更多
关键词 45 nm芯片 45 nm工艺 45 nm设备 应变硅技术
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45nm芯片铜互连结构低k介质层热应力分析 被引量:3
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作者 林琳 王珺 +1 位作者 王磊 张文奇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期55-60,共6页
采用铜互连工艺的先进芯片在封装过程中,铜互连结构中比较脆弱的低介电常数(k)介质层,容易因受到较高的热机械应力而发生失效破坏,出现芯片封装交互作用(CPI)影响问题。采用有限元子模型的方法,整体模型中引入等效层简化微小结构,对45 n... 采用铜互连工艺的先进芯片在封装过程中,铜互连结构中比较脆弱的低介电常数(k)介质层,容易因受到较高的热机械应力而发生失效破坏,出现芯片封装交互作用(CPI)影响问题。采用有限元子模型的方法,整体模型中引入等效层简化微小结构,对45 nm工艺芯片进行三维热应力分析。用该方法研究了芯片在倒装回流焊过程中,聚酰亚胺(PI)开口、铜柱直径、焊料高度和Ni层厚度对芯片Cu/低k互连结构低k介质层应力的影响。分析结果显示,互连结构中间层中低k介质受到的应力较大,易出现失效,与报道的实验结果一致;上述四个因素对芯片低k介质中应力影响程度的排序为:焊料高度>PI开口>铜柱直径>Ni层厚度。 展开更多
关键词 芯片封装交互作用(CPI) 有限元分析 低介电常数介质 子模型 热机械应力 45 nm芯片
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976 nm类噪声锁模光纤激光器
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作者 陈鸿毅 王佳晨 +7 位作者 董繁龙 於林鹏 罗兴 王金章 闫培光 吕启涛 郭春雨 阮双琛 《深圳大学学报(理工版)》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期674-680,共7页
输出波长为976 nm的脉冲激光器在科研及工业领域具有重要应用.利用非线性光纤环镜(nonlinear optical loop mirror, NOLM)搭建了“9”字型谐振腔,通过在环镜中加入长度为30 m的无源光纤,实现了类噪声脉冲(noise-like pulse, NLP)输出,... 输出波长为976 nm的脉冲激光器在科研及工业领域具有重要应用.利用非线性光纤环镜(nonlinear optical loop mirror, NOLM)搭建了“9”字型谐振腔,通过在环镜中加入长度为30 m的无源光纤,实现了类噪声脉冲(noise-like pulse, NLP)输出,丰富了976 nm波段的脉冲类型.脉冲的重复频率为4.79MHz,最大输出功率为13.35 mW,最大脉冲能量为2.79 nJ.进一步研究该NLP在不同泵浦功率的脉冲特性变化,结果表明,脉冲能量以及脉冲宽度均随着泵浦功率的增大而增大,但是其自相关曲线中的相干尖峰宽度随泵浦功率的增大而减小.该研究为976 nm类噪声脉冲的产生提供一种简单经济的方案,在超连续谱产生以及类噪声脉冲动力学研究方面具有潜在应用价值. 展开更多
关键词 光电子与激光技术 非线性光纤环镜 类噪声脉冲 锁模光纤激光器 976 nm激光器 自相关 “9”字腔
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基于45 nm SOI工艺的超宽带毫米波单刀双掷开关的设计
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作者 韦俞鸿 黄冰 +2 位作者 孙晓玮 张润曦 张健 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期262-267,273,共7页
提出了基于GlobalFoundries 45nm SOI工艺的布局紧凑的宽带毫米波单刀双掷开关。设计包括了采用串并结构的全频段单刀双掷开关以及采用两级晶体管并联的Ka波段通带单刀双掷开关。设计中采用共面波导串联短截线,实现小尺寸的电感。此外,... 提出了基于GlobalFoundries 45nm SOI工艺的布局紧凑的宽带毫米波单刀双掷开关。设计包括了采用串并结构的全频段单刀双掷开关以及采用两级晶体管并联的Ka波段通带单刀双掷开关。设计中采用共面波导串联短截线,实现小尺寸的电感。此外,利用负体偏置技术提高了开关在毫米波波段的性能。设计的单刀双掷开关芯片核心面积为0.35mm×0.16mm。测量结果显示全频段单刀双掷开关在DC^94GHz的插入损耗小于4dB,隔离度大于24dB,而Ka波段通带单刀双掷开关在25~45GHz的插入损耗为2.5~3.2dB,隔离度大于19dB。 展开更多
关键词 单刀双掷开关 超宽带 45nm绝缘体上硅 负体偏置
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45nm工艺与先进的光刻设备 被引量:2
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作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 2006年第9期1-6,共6页
2006年是65nm芯片量产年和45nm芯片首推年。193nmArF浸没式光刻机将在量产65、45、32nm芯片中大显身手、大展鸿图。
关键词 45 nm工艺 193 nm ArF浸没式光刻机:分辨率
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45nm到底有多小
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作者 向中 一剪梅(摘) 《现代计算机(中旬刊)》 2008年第2期I0026-I0026,共1页
45nm到底是个什么概念,很多人知道它很小很小,但它到底小到一个什么程度,却是所有人都不知道的!
关键词 45nm 晶体管 概念 体积
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90nm工艺及其相关技术 被引量:11
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作者 翁寿松 《微纳电子技术》 CAS 2003年第4期40-44,共5页
ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻技术、高k绝缘材料、高速多层铜互连技术、低k绝缘材料、应变... ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻技术、高k绝缘材料、高速多层铜互连技术、低k绝缘材料、应变硅技术和电压隔离技术等新技术。193nm光刻技术是实现90nm工艺达量产的最关键技术,为此,必须采用193nmArFstepper(准分子激光扫描分步投影光刻机)。讨论了90nm工艺达量产的难点,如掩模版成本较高、成品率较低和应用面暂时不宽等。 展开更多
关键词 90nm工艺 ArF光刻机 高k/低k绝缘材料 铜互连技术 应变硅技术 电压隔离技术 193nm光刻技术
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1470nm激光直输光纤蜂窝式汽化技术在前列腺增生手术中的应用研究 被引量:4
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作者 赵永伟 郝晓航 《现代泌尿生殖肿瘤杂志》 2015年第4期219-222,共4页
目的评估1 470nm激光直输光纤蜂窝式汽化技术治疗BPH的安全性及疗效。方法通过随访实施1 470nm直输光纤蜂窝式汽化技术的56例患者,对平均手术时间、术后膀胱冲洗时间、术后留置导尿管时间、手术并发症等指标进行分析,对国际前列腺症状评... 目的评估1 470nm激光直输光纤蜂窝式汽化技术治疗BPH的安全性及疗效。方法通过随访实施1 470nm直输光纤蜂窝式汽化技术的56例患者,对平均手术时间、术后膀胱冲洗时间、术后留置导尿管时间、手术并发症等指标进行分析,对国际前列腺症状评分(IPSS)、生活质量评分(QOL)、残余尿量(PVR)及最大尿流率(Qmax)改变等指标进行手术前后对比。结果平均手术时间(45.7±5.9)min,术后膀胱冲洗时间(10.0±1.2)h,术后留置导尿管时间(2.0±0.5)d,无严重并发症发生。IPSS及QOL评分由术前平均(26.0±1.9)、(6.0±0.6)分分别下降至(9.6±1.6)、(2.7±0.5)分,Qmax由术前(6.9±1.7)ml/s增加至术后(16.8±4.4)ml/s,PVR由术前(163.7±19.9)ml下降至术后(20.1±9.6)ml,手术前后比较差异均有统计学意义(P<0.05)。结论 1 470nm激光直输光纤蜂窝式汽化技术手术时间短,是一种安全、高效的微创手术。 展开更多
关键词 蜂窝式汽化技术 良性前列腺增生 1 470 nm激光直输光纤
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65nm工艺及其设备 被引量:2
17
作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 2006年第2期18-20,48,共4页
介绍了65nm工艺及其设备。它包括光刻工艺与193nmArf/浸入式光刻机、超浅结工艺与中电流/高电流离子注入机、铜互连工艺与PVD/ALD设备、CMP工艺与低应力CMP设备和清洗工艺与无损伤清洗设备等。
关键词 65nm工艺 设备 芯片
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193 nm ArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术 被引量:1
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作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 2007年第4期17-18,共2页
2006年11月英特尔决定采用193nm ArF浸没式光刻技术研发32nm工艺。2007年2月IBM决定在22nm节点上抛弃EUV光刻技术,采用193nm ArF浸没式光刻技术。对于32nm/22nm工艺,193nm ArF浸没式光刻技术优于EUV光刻技术,并将成为主流光刻技术。
关键词 32 nm工艺 22 nm工艺 193 nm ArF浸没式光刻技术 EUV光刻技术
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向50nm拓进的光学光刻技术
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作者 童志义 葛劢冲 《电子工业专用设备》 2001年第3期1-7,共7页
非光学下一代光刻技术的缓慢进展和国际半导体技术发展规划 (ITRS)的加速 ,使光学光刻肩负着IC产业的重任 ,进一步向亚波长图形领域进军。为此 ,人们开发了大量的光学光刻扩展技术。其中包括传统的缩短波长和增大数值孔径 ,以及为了扩... 非光学下一代光刻技术的缓慢进展和国际半导体技术发展规划 (ITRS)的加速 ,使光学光刻肩负着IC产业的重任 ,进一步向亚波长图形领域进军。为此 ,人们开发了大量的光学光刻扩展技术。其中包括传统的缩短波长和增大数值孔径 ,以及为了扩展最小间距线间图形的分辨力而提高部分相干性。通过这些途径 ,在 1 93nm曝光中实现了 >0 .80的数值孔径和0 .85的部分相干性 ,并将进一步向 1 57nm乃止 1 2 6nm过渡。此间 ,离轴照明 (OAI)、移相掩模(PSM)和光学邻近效应校正 (OPC)等K1因子将作为分辨力提高技术的核心 ,补充到光学光刻技术范畴。此外 ,光学光刻的扩展还将通过像场尺寸缩小和倍率增大的方法使步进扫描光刻机更好地支持并可望进入至少 70nm的技术节点 ,乃至 50nm的下一代光刻。 展开更多
关键词 光学光刻 50nm 光刻技术 技术节点 IC
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55nm双大马士革结构中电镀铜添加剂的研究 被引量:5
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作者 曾绍海 林宏 +1 位作者 陈张发 李铭 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期504-508,516,共6页
本文研究了电镀铜过程中添加剂对55nm技术代双大马士革结构的影响,为集成电路制造生产线提供有力的数据支持.在12英寸电镀设备上,对不同添加剂配比所电镀的铜膜,分别进行了光片上的基本工艺性能、图形片上的填充性能、55nm技术代的铜互... 本文研究了电镀铜过程中添加剂对55nm技术代双大马士革结构的影响,为集成电路制造生产线提供有力的数据支持.在12英寸电镀设备上,对不同添加剂配比所电镀的铜膜,分别进行了光片上的基本工艺性能、图形片上的填充性能、55nm技术代的铜互连工艺上的电学性能和可靠性的验证评估.通过对各种性能指标的考核,提出了针对该电镀液及添加剂的改进方案并优化电镀工艺菜单.最终确立其适用于芯片铜互连电镀工艺的工程应用窗口,使该产品满足集成电路制造生产线的要求. 展开更多
关键词 电镀液 添加剂 双大马士革 55nm技术代 铜互连
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