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基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工
被引量:
4
1
作者
白帆
戴玉堂
+1 位作者
徐刚
崔建磊
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期636-639,共4页
为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在...
为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在蓝宝石基片上加工了一个2维图形。由实验结果可知,157nm深紫外激光作用于蓝宝石材料是一个光化学作用与光热作用并存的加工过程,适合扫描刻蚀的加工参量为能量密度3.2J/cm^2,重复频率10Hz~20Hz,扫描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm^2下的刻蚀率为0.039μm/pulse。结果表明,通过对激光重复频率和扫描速度的控制可实现蓝宝石材料的精细微加工。
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关键词
激光
技术
157
nm深紫外激光
扫描刻蚀
打孔
微加工
蓝宝石基片
下载PDF
职称材料
采用BBO晶体产生266 nm深紫外激光过程中的热特性研究
2
作者
王子文
曹雪辰
+3 位作者
张艳林
程东林
靳丕铦
卢华东
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第14期26-34,共9页
基于近红外波段1064 nm激光的四倍频过程是产生深紫外激光的有效技术手段之一。然而,非线性晶体在产生深紫外激光的过程中,晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件,进而制约深紫外激光功率的提升。为此,在利用偏硼酸...
基于近红外波段1064 nm激光的四倍频过程是产生深紫外激光的有效技术手段之一。然而,非线性晶体在产生深紫外激光的过程中,晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件,进而制约深紫外激光功率的提升。为此,在利用偏硼酸钡(BBO)晶体作为1064 nm近红外光四倍频过程的非线性转化介质的基础上,通过对不同匹配温度下的晶体内部温升情况进行研究,发现提高晶体匹配温度可以有效减缓晶体内部由非线性吸收引起的热效应,改善深紫外激光功率输出。最终,在晶体匹配温度为180℃、绿光输入功率为16 W时,获得了重复频率为20 kHz、单脉冲宽度为4 ns、平均功率为2.56 W的266 nm深紫外激光。通过建立BBO晶体非线性吸收理论模型,进一步计算了不同匹配温度、不同紫外激光功率下的非线性吸收系数和归一化色心密度,结果显示,非线性吸收系数与紫外激光功率强度正相关,并且在紫外激光功率均为2.25 W时,相较于60℃,匹配温度为180℃的晶体其非线性吸收系数减小了近63%,色心密度也降低了57%,该研究结果对实现高功率的266 nm深紫外激光的输出具有重要意义。
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关键词
266
nm深紫外激光
非线性吸收
热效应
匹配温度
高功率
偏硼酸钡
原文传递
193nm深紫外固体激光技术探索
被引量:
1
3
作者
郑俊娟
秘国江
+2 位作者
王旭
毛小洁
钟国舜
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第10期1068-1070,共3页
对193 nm深紫外激光技术实现途径进行了系统地分析,提出了一种可获得高重复频率、高光束质量的深紫外固体激光技术途径,分析了涉及的关键技术,对实用化深紫外固体激光源的研制具有一定的参考价值。
关键词
193
nm深紫外激光
谐波转换
固体
激光
技术
下载PDF
职称材料
全固态连续单频266nm深紫外激光器
被引量:
2
4
作者
赵彪
秦玮霞
+1 位作者
李凤琴
卢华东
《量子光学学报》
北大核心
2020年第2期194-201,共8页
采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处...
采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处定点透射率为2.5%时,获得了最大输出功率810 mW的紫外激光输出,当输出功率稳定在730 mW时,长期功率稳定性三小时内优于±1.5%,光束质量因子M^2<1.5。
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关键词
全固态
266
nm深紫外激光
器
单频
连续波
原文传递
题名
基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工
被引量:
4
1
作者
白帆
戴玉堂
徐刚
崔建磊
机构
武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期636-639,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50775169
60537050)
文摘
为了探索157nm深紫外激光对蓝宝石材料的微加工技术,采用157nm激光微加工系统,对蓝宝石基片进行了扫描刻蚀和打孔加工,以研究激光工艺参量与刻蚀深度、表面形貌的关系,分析了157nm深紫外激光对蓝宝石材料的作用机理,并利用扫描刻蚀法在蓝宝石基片上加工了一个2维图形。由实验结果可知,157nm深紫外激光作用于蓝宝石材料是一个光化学作用与光热作用并存的加工过程,适合扫描刻蚀的加工参量为能量密度3.2J/cm^2,重复频率10Hz~20Hz,扫描速率0.15mm/min;在能量密度2.5J/cm^2下的刻蚀率为0.039μm/pulse。结果表明,通过对激光重复频率和扫描速度的控制可实现蓝宝石材料的精细微加工。
关键词
激光
技术
157
nm深紫外激光
扫描刻蚀
打孔
微加工
蓝宝石基片
Keywords
laser technique
157
nm
deep ultraviolet laser
laser scanning ablation
drilling
mieromachining
sapphire substrale
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
采用BBO晶体产生266 nm深紫外激光过程中的热特性研究
2
作者
王子文
曹雪辰
张艳林
程东林
靳丕铦
卢华东
机构
山西大学光电研究所量子光学与光量子器件国家重点实验室
山西大学极端光学协同创新中心
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第14期26-34,共9页
基金
国家自然科学基金(61975100,62105192)
国家重点研发计划(2022YFC2204003)
+5 种基金
山西省杰出青年培育项目(202103021221004)
山西省留学基金委资助研究项目(2022-015)
山西省科技创新人才计划(202204051002005)
山西省专利转化专项计划项目(202305007)
山西省1331工程项目
第一实验室-国创中心(山西)科技创新项目。
文摘
基于近红外波段1064 nm激光的四倍频过程是产生深紫外激光的有效技术手段之一。然而,非线性晶体在产生深紫外激光的过程中,晶体内部严重的非线性吸收带来的热效应会破坏其相位匹配条件,进而制约深紫外激光功率的提升。为此,在利用偏硼酸钡(BBO)晶体作为1064 nm近红外光四倍频过程的非线性转化介质的基础上,通过对不同匹配温度下的晶体内部温升情况进行研究,发现提高晶体匹配温度可以有效减缓晶体内部由非线性吸收引起的热效应,改善深紫外激光功率输出。最终,在晶体匹配温度为180℃、绿光输入功率为16 W时,获得了重复频率为20 kHz、单脉冲宽度为4 ns、平均功率为2.56 W的266 nm深紫外激光。通过建立BBO晶体非线性吸收理论模型,进一步计算了不同匹配温度、不同紫外激光功率下的非线性吸收系数和归一化色心密度,结果显示,非线性吸收系数与紫外激光功率强度正相关,并且在紫外激光功率均为2.25 W时,相较于60℃,匹配温度为180℃的晶体其非线性吸收系数减小了近63%,色心密度也降低了57%,该研究结果对实现高功率的266 nm深紫外激光的输出具有重要意义。
关键词
266
nm深紫外激光
非线性吸收
热效应
匹配温度
高功率
偏硼酸钡
Keywords
266
nm
deep ultraviolet laser
nonlinear absorption
thermal effect
phasematching temperature
high power
barium metaborate
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
193nm深紫外固体激光技术探索
被引量:
1
3
作者
郑俊娟
秘国江
王旭
毛小洁
钟国舜
机构
北京服装学院基础部
固体激光技术重点实验室
华北光电技术研究所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第10期1068-1070,共3页
文摘
对193 nm深紫外激光技术实现途径进行了系统地分析,提出了一种可获得高重复频率、高光束质量的深紫外固体激光技术途径,分析了涉及的关键技术,对实用化深紫外固体激光源的研制具有一定的参考价值。
关键词
193
nm深紫外激光
谐波转换
固体
激光
技术
Keywords
193
nm
deep ultraviolet laser
harmonic generation
solid state laser technology
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
全固态连续单频266nm深紫外激光器
被引量:
2
4
作者
赵彪
秦玮霞
李凤琴
卢华东
机构
山西大学光电研究所
山西大学
出处
《量子光学学报》
北大核心
2020年第2期194-201,共8页
基金
国家重点研发计划(批准号:2016YFA0301401)
国家自然科学基金(批准号:61975100)
+1 种基金
山西省重点科学基金项目(批准号:201903D111001)
山西省“1331工程”重点学科建设计划资助的课题。
文摘
采用I类角度匹配的BBO晶体外腔倍频全固态连续单频532 nm绿光激光器,设计了紧凑稳定的四镜环形倍频腔结构,利用腔外偏振锁腔的方式,实现了高光束质量、高转换效率的全固态连续单频266 nm深紫外激光器。泵浦功率为3 W、输出镜在532 nm处定点透射率为2.5%时,获得了最大输出功率810 mW的紫外激光输出,当输出功率稳定在730 mW时,长期功率稳定性三小时内优于±1.5%,光束质量因子M^2<1.5。
关键词
全固态
266
nm深紫外激光
器
单频
连续波
Keywords
all-solid-state
266
nm
deep UV laser
single-frequency
continuous-wave
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工
白帆
戴玉堂
徐刚
崔建磊
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
4
下载PDF
职称材料
2
采用BBO晶体产生266 nm深紫外激光过程中的热特性研究
王子文
曹雪辰
张艳林
程东林
靳丕铦
卢华东
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
原文传递
3
193nm深紫外固体激光技术探索
郑俊娟
秘国江
王旭
毛小洁
钟国舜
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
4
全固态连续单频266nm深紫外激光器
赵彪
秦玮霞
李凤琴
卢华东
《量子光学学报》
北大核心
2020
2
原文传递
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