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Optically Powered Temperature Measuring Instrument for Big Rotor
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作者 ZHENG Dezhong(Yanshan University, Qinhuandao 066004, CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1997年第1期35-39,共5页
Abstract: A micro - power consumption non - contact temperature measuring instrument for big rotor is introduced. As it solves very well the signal coupling under high speed rotation and power supply problem for probe... Abstract: A micro - power consumption non - contact temperature measuring instrument for big rotor is introduced. As it solves very well the signal coupling under high speed rotation and power supply problem for probe, the instrument can realize persistent on - line temperature measurement for big rotor drived by the ordinary light transmitted by optical fiber under the room light. 展开更多
关键词 非接触测量 光纤 转子 半导体热敏电阻 温度测量仪
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大量程高线性光谱共焦位移测量系统
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作者 肖康 陈小君 吴永前 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第6期33-38,共6页
兼具高精度、高稳定性并能实现非接触测量的光谱共焦位移测量系统在工业、医疗、科研等许多领域得到了广泛应用。目前制约光谱共焦位移测量系统应用发展的因素是大量程和高线性度。讨论了光谱共焦位移测量系统中色散物镜实现线性轴向色... 兼具高精度、高稳定性并能实现非接触测量的光谱共焦位移测量系统在工业、医疗、科研等许多领域得到了广泛应用。目前制约光谱共焦位移测量系统应用发展的因素是大量程和高线性度。讨论了光谱共焦位移测量系统中色散物镜实现线性轴向色散的条件,设计了一种高线性色散和大色散范围的色散物镜,指定了适合的公差范围,加工装配了一组色散物镜,搭建了光谱共焦位移测量系统,采用双频激光干涉仪进行了位移标定,并对标准量块进行了厚度测量。结果表明,该系统工作波段为450 nm~650 nm,实际位移范围为10 200μm,线性拟合判定系数R^(2)达到0.993 7,实际测量最大误差仅为3μm,证明该光谱共焦位移测量系统同时具备大量程、高线性度和高测量精度的特点。 展开更多
关键词 光谱共焦 色散物镜 位移测量 非接触 光学设计
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基于线激光的压缩机曲轴圆度和平面度测量
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作者 梁杰 孙震伟 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2024年第4期133-139,共7页
目前人工使用千分表测量空调压缩机曲轴圆度和平面度时存在易伤工件表面、效率低和不能精确评定等问题。针对上述问题,设计了一套基于线激光位移传感器的空调压缩机曲轴圆度和平面度非接触式测量系统。首先,通过测量标准量棒,提出一种... 目前人工使用千分表测量空调压缩机曲轴圆度和平面度时存在易伤工件表面、效率低和不能精确评定等问题。针对上述问题,设计了一套基于线激光位移传感器的空调压缩机曲轴圆度和平面度非接触式测量系统。首先,通过测量标准量棒,提出一种系统误差的标定方法;其次,基于线激光采样数据,开发了一种曲轴横截面圆度测点的提取算法,并将系统误差用于测点补偿,实现曲轴圆度测量;接着根据曲轴平面测点间的斜率分离出轮廓线,通过均匀下采样方法获取精简点云数据并采用最小二乘法实现曲轴平面度测量;最后,基于上述方法开展了曲轴圆度和平面度的测量实验。实验结果表明:该测量系统的圆度测量精度<4μm,平面度测量精度<2μm,圆度重复度测量误差<0.8μm,平面度重复度测量误差<0.3μm,满足曲轴圆度和平面度快速准确的测量需求。 展开更多
关键词 线激光位移传感器 非接触测量 空调压缩机曲轴 圆度测量 平面度测量
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复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述 被引量:1
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作者 刘斌 王孝坤 +7 位作者 程强 刘忠凯 李凌众 蔡梦雪 张洛嘉 李文涵 王金成 张学军 《南通大学学报(自然科学版)》 CAS 2024年第1期1-27,共27页
复杂曲面光学元件应用于光学系统中可以增大系统设计自由度,同时减少系统所需元件数量,有利于实现光学系统的紧凑化、轻量化,被誉为现代光学系统的变革性元件,被广泛应用于空间光学、光刻系统、汽车照明等领域,极大推动了航天、国防及... 复杂曲面光学元件应用于光学系统中可以增大系统设计自由度,同时减少系统所需元件数量,有利于实现光学系统的紧凑化、轻量化,被誉为现代光学系统的变革性元件,被广泛应用于空间光学、光刻系统、汽车照明等领域,极大推动了航天、国防及高科技民用事业的发展。然而,复杂曲面光学元件对面形精度要求较高,如何对其面形进行高精度检测从而指导加工成为限制该类元件大范围应用的瓶颈。文章对10余种常用的复杂曲面光学元件面形检测方法进行了分类梳理,按照是否采用干涉原理,将检测方法分为非干涉检测法和干涉检测法两大类,分别介绍了各种检测方法的原理和适用范围,回顾了各方法的发展历程,着重分析了几种典型方法进行面形检测的特点,并对未来复杂曲面光学元件高精度面形检测技术的发展趋势加以展望。 展开更多
关键词 复杂光学曲面 面形检测 非接触检测 干涉检测 零位检测 非零位检测
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基于激光位移传感器的厚度测量校准系统设计及应用
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作者 孙进 于子金 《宝钢技术》 CAS 2024年第1期60-65,共6页
为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部... 为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部和底部,通过对传感器数据的采样和计算,实现钢板厚度的准确测量。硬件电路方面采用了STM32核心芯片进行设计,系统软件部分进行了相应的优化设计。试验后,系统重复性精度可达±0.1%,测量允许误差优于±0.05%,同时测量漂移控制在钢板厚度的±0.1%范围内。该系统不仅显著提高了测量精度,同时有效降低了测量过程中的安全风险,在钢板生产和加工领域具有重要的指导意义和应用价值。 展开更多
关键词 钢板厚度 高精度检测 非接触厚度测量 激光位移传感器
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基于光纤复合测量技术的涡轮叶片气膜孔检测
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作者 高继昆 闫峰 +1 位作者 何小妹 德晓薇 《航空发动机》 北大核心 2024年第2期139-146,共8页
为了解决航空发动机涡轮叶片气膜孔几何特征参数有效检测手段缺乏、测量结果一致性差的问题,设计并搭建了基于光纤复合测量技术的涡轮叶片气膜孔检测系统,提出了利用该系统对涡轮叶片气膜孔进行测量的方法,通过试验进行了方法验证。搭... 为了解决航空发动机涡轮叶片气膜孔几何特征参数有效检测手段缺乏、测量结果一致性差的问题,设计并搭建了基于光纤复合测量技术的涡轮叶片气膜孔检测系统,提出了利用该系统对涡轮叶片气膜孔进行测量的方法,通过试验进行了方法验证。搭建的系统为多传感器测量系统,具备叶片接触与非接触测量、空间姿态定位及3D投影能力,实现了涡轮叶片全范围气模孔的测量。在试验中,选取高压涡轮叶片作为被测物体,应用该测量系统对叶片上的气膜孔进行了测量,计算得到了气膜孔直径、轴线角度及位置度的准确信息。结果表明:通过测量不确定度的分析评定可知,该系统对气膜孔直径、位置度的测量不确定度均小于0.01 mm,完全满足设计公差对测量仪器的精度要求,可以用于涡轮叶片气膜孔工程化测量。 展开更多
关键词 涡轮叶片 气膜孔 几何特征参数 光纤复合测量技术 接触测量 非接触测量 航空发动机
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非均匀应变下FBG光谱传感特性实验研究
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作者 刘洪金 杨爽 +5 位作者 钱梦雪 彭云涛 张洋 孙苗 汤玉泉 张志荣 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期690-700,共11页
通过激光切割技术,加工带有通孔的悬臂梁结构来构建非均匀应变分布,从而研究光纤布拉格光栅(FBG)在非均匀应变分布下的光谱传感特性。首先仿真分析了悬臂梁表面应变分布情况,随后分别选取均匀FBG(UFBG)和切趾FBG(AFBG)敷设在通过开设通... 通过激光切割技术,加工带有通孔的悬臂梁结构来构建非均匀应变分布,从而研究光纤布拉格光栅(FBG)在非均匀应变分布下的光谱传感特性。首先仿真分析了悬臂梁表面应变分布情况,随后分别选取均匀FBG(UFBG)和切趾FBG(AFBG)敷设在通过开设通孔构建出的悬臂梁表面非均匀应变分布区域,开展了FBG传感特性实验研究。实验结果表明,随着悬臂梁自由端位移逐渐增加,两种FBG的中心波长和带宽逐渐增大,峰值功率和边模抑制比逐渐降低,但仅中心波长与位移变化具有良好的线性度,位移灵敏度分别为0.1298 nm/mm和0.1582 nm/mm。相对而言,UFBG的反射光谱对非均匀应变分布的变化更为敏感,这对光谱形状传感是有益的。AFBG则表现出一定的抑制或免疫作用,这对中心波长传感是有益的。最后,为了提高灵敏度和实现温度补偿,选取双FBG传感法进行位移测量,测量结果表明双UFBG光谱带宽随位移变化的灵敏度可达0.2826 nm/mm,双AFBG中心波长差随位移变化的灵敏度可达0.3142 nm/mm。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤光栅 非均匀应变 悬臂梁 位移测量
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非接触式活塞环梯形角测量系统的设计与验证
8
作者 李新 封志明 +2 位作者 刘辉 唐迅捷 郭根威 《测控技术》 2024年第4期95-99,共5页
活塞环梯形角是评价活塞环加工质量的关键参数,随着技术与工艺的进步,传统的接触式梯形角测量方案已不能满足现代的生产需求。分析接触式梯形角测量方案存在的问题,提出了基于光谱共焦位移传感器的非接触梯形角测量方案,并从传感器的选... 活塞环梯形角是评价活塞环加工质量的关键参数,随着技术与工艺的进步,传统的接触式梯形角测量方案已不能满足现代的生产需求。分析接触式梯形角测量方案存在的问题,提出了基于光谱共焦位移传感器的非接触梯形角测量方案,并从传感器的选型、组合测量头的设计和夹紧机构的设计3个方面展现了全新的测量系统设计方案。通过对测量系统进行误差分析和可行性验证,证明了新的设计方案具有可行性,为研制新型非接触式活塞环梯形角测量仪提供了全新、有效的思路。 展开更多
关键词 活塞环 梯形角 测量 非接触 光谱共焦位移传感器
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一种非接触式光学微腔液压测量系统
9
作者 魏鹤鸣 侯林嵩 +2 位作者 丁武成 殷瑞雪 任冬妮 《电子测量技术》 北大核心 2024年第7期42-48,共7页
为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互... 为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联,实时采集光学微腔干涉光谱信号,实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明,室温(25℃)下,4μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa,系统分辨率可达35.5 Pa,重复性较好,有望用于生物医学眼压等应用场景。 展开更多
关键词 微腔压力传感 双光子三维打印技术 非接触式光学传感 液体压强测量系统
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基于激光位移传感器的可视化表面粗糙度测量系统
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作者 陈涛 谢雨芳 +2 位作者 陈怡硕 宋沅馨 陈尉棋 《中国仪器仪表》 2024年第7期64-67,共4页
表面粗糙度是表面微观几何形状误差,它是评价材料加工质量的一个重要参量。传统接触式测量表面粗糙度容易造成表面划伤,且测量速度低,不适合在线测量,而非接触式测量方法能够克服上述不足。本文设计了一种基于激光位移传感器的非接触式... 表面粗糙度是表面微观几何形状误差,它是评价材料加工质量的一个重要参量。传统接触式测量表面粗糙度容易造成表面划伤,且测量速度低,不适合在线测量,而非接触式测量方法能够克服上述不足。本文设计了一种基于激光位移传感器的非接触式表面粗糙度测量系统,对设定区域扫描,实现对物体表面微观变化的在线检测,通过分析反射光强的变化,获得物体表面形貌变化及偏差信息。该系统采用MP340单片机进行数据处理,借助可视化人机交互界面实时监测被测物体表面状态结果。实验测试表明,系统原理直观,测试数据精确可靠,抗背景光干扰能力强,轴向检测范围在1~80µm的测量,精度小于5µm,为实际应用提供一种技术参考。 展开更多
关键词 激光位移传感器 表面粗糙度 非接触测量 可视化 人机交互
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钻杆圆螺纹参数在线测量实验研究
11
作者 陈彦宇 田东庄 《煤矿机械》 2023年第12期32-34,共3页
螺纹参数测量是质量保证的前提,也是螺纹溯源的基础。如何基于光学测量原理在狭小空间内实现高精度、高效测量螺纹参数是行业性难题。以钻杆接头圆螺纹为研究对象,基于低相干干涉法测量原理开展内螺纹测量实验,深入分析低相干干涉法测... 螺纹参数测量是质量保证的前提,也是螺纹溯源的基础。如何基于光学测量原理在狭小空间内实现高精度、高效测量螺纹参数是行业性难题。以钻杆接头圆螺纹为研究对象,基于低相干干涉法测量原理开展内螺纹测量实验,深入分析低相干干涉法测量原理,设计基于低相干干涉法的内螺纹测量方案,研究螺纹参数计算方法,并搭建简易实验平台。实验表明,采用低相干干涉法能够完整地获取圆螺纹轮廓曲线,搭建的测量实验平台重复测量精度可达0.04 mm,满足参数化在线测量需求。该研究可为钻杆内螺纹及内孔测量提供一种新的解决方案。 展开更多
关键词 光学测量 非接触式螺纹测量 激光测量 钻杆内螺纹
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基于光纤式图像位移测试系统的研究 被引量:1
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作者 范庆辉 张强 +1 位作者 刘丹峰 黄海莹 《兵工自动化》 2023年第3期53-60,共8页
针对复杂结构狭小空间里的位移测量难题,提出一种基于光纤式图像位移非接触式测试系统。分析该测试系统的测量原理和系统功能,并对总体方案和硬件选型进行设计;为实现图像位移计算,根据光纤内窥镜拍摄图像的特点采取区域提取、图像校正... 针对复杂结构狭小空间里的位移测量难题,提出一种基于光纤式图像位移非接触式测试系统。分析该测试系统的测量原理和系统功能,并对总体方案和硬件选型进行设计;为实现图像位移计算,根据光纤内窥镜拍摄图像的特点采取区域提取、图像校正、增强、二值化等数字化处理流程;软件界面采用C++语言、基于网络平台进行开发,以对话框方式进行架构,涵盖各项测量数据的显示;最后对测试系统进行比对、离心、振动试验验证。试验结果表明:该测试系统的测量精度可达10μm,能够适应多种复杂环境下复杂结构狭小空间里的位移测量。 展开更多
关键词 光纤内窥镜 图像位移 非接触 测量精度
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基于差动共焦的倾角测量传感器
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作者 王廷煜 王之一 +4 位作者 杨永强 糜小涛 王建立 姚凯男 程雪 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1481-1489,共9页
为了解决传统激光差动共焦显微镜(LDCM)无法在测距的同时,进行高精度倾斜角度测量的问题,提出了一种基于差动共焦的倾角测量传感器。在对倾斜表面进行测量时,该传感器首先利用轴向扫描获取的差动响应信号精准定位其焦点位置,然后分析显... 为了解决传统激光差动共焦显微镜(LDCM)无法在测距的同时,进行高精度倾斜角度测量的问题,提出了一种基于差动共焦的倾角测量传感器。在对倾斜表面进行测量时,该传感器首先利用轴向扫描获取的差动响应信号精准定位其焦点位置,然后分析显微镜光瞳面场强分布并提取光斑图像的峰值位置,从而实现对倾角的精准测量。首先,建立聚焦光束经倾斜待测面反射后的光场分布模型,对不同倾斜角度下显微镜光瞳面的场强分布情况进行分析。然后,在分析倾斜光斑特征的基础上,提出了采用改进Meanshift算法进行光斑峰值位置提取的方法。最后,通过实验验证了传感器对倾角测量的有效性。实验结果表明,传感器对倾斜程度(0~8°)测量平均误差为0.011°,对倾斜方向(0~360°)的测量平均误差为0.128°,能够满足利用差动共焦非接触光学探针对三维表面进行检测的过程中,对待测表面倾斜角度测量的要求。该传感器为自由曲面的高精度轮廓测量提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 非接触光学探针 差动共焦 三维检测 倾斜测量 峰值提取
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基于无人机及光流特征值法的振动台模型动位移测试方法研究
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作者 潘飞 郭士康 +2 位作者 王志佳 李胜民 黎洪磊 《地震工程与工程振动》 CSCD 北大核心 2023年第3期79-86,共8页
当前振动台模型试验大型、高耸结构的顶端位移测量较为困难,针对该问题提出采用无人机摄影技术对结构顶端大位移进行非接触测量。研究以光流特征值法为理论基础的视频位移识别技术,利用静止点对该方法计算结构位移过程中产生的无人机悬... 当前振动台模型试验大型、高耸结构的顶端位移测量较为困难,针对该问题提出采用无人机摄影技术对结构顶端大位移进行非接触测量。研究以光流特征值法为理论基础的视频位移识别技术,利用静止点对该方法计算结构位移过程中产生的无人机悬停飘移进行补偿,借助Python编写一套高精度位移响应程序,进行高耸结构模型振动台试验。通过输入不同幅值的地震波,对无人机拍摄的模型顶端位移视频进行程序分析,将输出结果与传统拉线位移计测量结果对比。针对拉线位移计算结果及视频位移识别结果之间的误差,通过FFT高通滤波、基线校正等方法对原始数据进行处理,形成了一套面向无人机摄影测量的处理标准。研究工作可有效地利用无人机代替传统接触式位移传感器,在大量程下实现对结构的顶端位移测量。 展开更多
关键词 非接触测量 光流特征值法 振动台试验 位移响应
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便携式齿轮激光测量装置的研发
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作者 仇洲 宋爱平 +1 位作者 潘建州 黄嘉铭 《机械传动》 北大核心 2023年第7期161-167,共7页
基于线激光位移传感器,构建了一种能对大型齿轮的多项偏差进行在线测量的装置。该测量装置操纵线激光位移传感器对齿轮齿廓进行扫描,可测得齿轮任意齿面的数据;基于最小二乘法拟合出齿轮的齿廓曲线,并与齿轮的理想模型比较,结合径向极... 基于线激光位移传感器,构建了一种能对大型齿轮的多项偏差进行在线测量的装置。该测量装置操纵线激光位移传感器对齿轮齿廓进行扫描,可测得齿轮任意齿面的数据;基于最小二乘法拟合出齿轮的齿廓曲线,并与齿轮的理想模型比较,结合径向极坐标转角比较法计算,可得出齿轮的齿廓和齿距偏差。该测量装置体积小、质量轻、易携带,采用的测量方法高效,测得的齿轮偏差精确可靠。 展开更多
关键词 线激光位移传感器 非接触式测量 偏差分析 在线测量
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基于光谱共焦技术的高精度非接触测头
16
作者 李海腾 李杏华 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2023年第3期270-279,共10页
为了解决光谱共焦非接触测头存在的量程较小、精度差等问题,设计了一种四片式大量程透镜组,并提出了一种基于Adam算法的峰值波长提取算法和一种分段拟合曲线标定方法。透镜组在大约470-730 nm波段内,位移测量范围可达4500μm。利用设计... 为了解决光谱共焦非接触测头存在的量程较小、精度差等问题,设计了一种四片式大量程透镜组,并提出了一种基于Adam算法的峰值波长提取算法和一种分段拟合曲线标定方法。透镜组在大约470-730 nm波段内,位移测量范围可达4500μm。利用设计的透镜组搭建了测头系统,通过实验验证了使用Adam算法的位移误差为0.3μm,比质心法减小了68.3%,比传统高斯拟合法减小了26.0%,比抛物线拟合法减小了24.3%,而使用分段拟合方法的位移误差比使用传统多项式标定方法减小了92.4%。实验结果表明,所设计的测头系统可以实现较大量程的高精度非接触位移测量,为进一步研究基于光谱共焦技术的高精度位移传感器提供了理论和实验依据。 展开更多
关键词 光谱共焦 非接触位移测量 峰值波长提取 Adam算法
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基于光学频率梳的高精度几何量检测系统
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作者 王建颖 张婧毓 +1 位作者 张自强 侯冲 《测控技术》 2023年第6期105-110,117,共7页
复杂结构高精度在线测量是航空航天等多个领域结构件生产过程中必要的环节,对产品质量起到决定性作用。针对现有手工测量方法结构特征尺寸精度低、三维形貌重建困难和数据一致性差等问题,提出了一种基于光学频率梳的非接触在线测量方法... 复杂结构高精度在线测量是航空航天等多个领域结构件生产过程中必要的环节,对产品质量起到决定性作用。针对现有手工测量方法结构特征尺寸精度低、三维形貌重建困难和数据一致性差等问题,提出了一种基于光学频率梳的非接触在线测量方法,并对结构件表面三维特征进行测量实验。该方法将机械平台与光学频率梳测量方法相融合,构建了以飞秒光学频率梳为基础的表面特征高精度测量体系。通过图像处理与分析获取表面三维点云数据,计算拟合得到被测物体的表面形貌特征,进而解算出被测物体的几何参数。实验结果表明:采用该测量方法和处理算法搭建的系统最大检测面积为900 mm×1100 mm,测量重复精度为0.01 mm,结合工控机数据处理软件,可实现自动化在线检测。 展开更多
关键词 光学频率梳 非接触测量 数据处理 三维特征检测
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基于计算机视觉的建筑结构位移鲁棒性测量
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作者 侯文鹏 《长江信息通信》 2023年第5期18-21,共4页
传统的接触式建筑结构位移监测技术具有安装过程复杂和耗时等缺点。计算机视觉相较于传统的接触式位移监测,具有高效、成本低等优点,但大多数的计算机视觉技术在运用的过程中需要在结构上安装靶点才能实现相对准确的监测,而一些大型建... 传统的接触式建筑结构位移监测技术具有安装过程复杂和耗时等缺点。计算机视觉相较于传统的接触式位移监测,具有高效、成本低等优点,但大多数的计算机视觉技术在运用的过程中需要在结构上安装靶点才能实现相对准确的监测,而一些大型建筑由于结构造型等原因,给靶点的安装带来一定困难,进而影响视觉技术的准确性。针对靶点安装的难题,文章在现有的研究基础上,提出一种无需安装标靶改进的稠密光流算法,结合Python-opencv软件进行算法的编译,通过对模拟位移图像进行像素位移识别,与开源DIC算法计算结果对比验证,结果表明,稠密光流算法较开源DIC算法在计算速度上提升了40%,两种算法的位移误差在0.1%以下,并具有较好的鲁棒性。因此,本文所提出的无需靶点的算法对于一些安装靶点困难的大型建筑具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 计算机视觉 光流法 非接触测量 建筑结构
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激光位移传感器在自由曲面测量中的应用 被引量:65
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作者 李兵 孙彬 +1 位作者 陈磊 魏翔 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1939-1947,共9页
以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发... 以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据。实验结果表明,量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10μm,满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求。 展开更多
关键词 激光位移传感器 自由曲面测量 非接触测量 三角法测量 误差补偿
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一种内径尺寸光电非接触测量方法 被引量:18
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作者 张连存 张亚婷 +3 位作者 张国玉 田庆元 宋金城 胡放荣 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期829-832,共4页
基于光三角测量原理,提出了一种内径尺寸的非接触测量方法。对单光三角测量原理进行了分析,给出了相应的内径尺寸计算公式,并建立了解决单光三角法光探头偏心的数学模型。应用单光三角测量原理,结合半导体激光准直技术、现代传感技术、... 基于光三角测量原理,提出了一种内径尺寸的非接触测量方法。对单光三角测量原理进行了分析,给出了相应的内径尺寸计算公式,并建立了解决单光三角法光探头偏心的数学模型。应用单光三角测量原理,结合半导体激光准直技术、现代传感技术、伺服控制技术和计算机技术研制了一种非接触式内径尺寸测量系统。论述了系统的组成和总体结构,并通过实验对系统的测量精度进行了验证。结果表明:测量系统分辨率可达0.01mm,测量极限误差不大于0.03mm,该测量方法是可行的。 展开更多
关键词 内径 光三角法 非接触测量 光电测量系统
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