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Effect of thickness on the microstructure of GaN films on Al_2 O_3 (0001) by laser molecular beam epitaxy
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作者 刘莹莹 朱俊 +3 位作者 罗文博 郝兰众 张鹰 李言荣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期435-441,共7页
Heteroepitaxial GaN films are grown on sapphire (0001) substrates using laser molecular beam epitaxy. The growth processes are in-situ monitored by reflection high energy electron diffraction. It is revealed that th... Heteroepitaxial GaN films are grown on sapphire (0001) substrates using laser molecular beam epitaxy. The growth processes are in-situ monitored by reflection high energy electron diffraction. It is revealed that the growth mode of GaN transformed from three-dimensional (3D) island mode to two-dimensional (2D) layer-by-layer mode with the increase of thickness. This paper investigates the interfacial strain relaxation of GaN films by analysing their diffraction patterns. Calculation shows that the strain is completely relaxed when the thickness reaches 15 nm. The surface morphology evolution indicates that island merging and reduction of the island-edge barrier provide an effective way to make GaN films follow a 2D layer-by-layer growth mode. The ll0-nm GaN films with a 2D growth mode have smooth regular hexagonal shapes. The X-ray diffraction indicates that thickness has a significant effect on the crystallized quality of GaN thin films. 展开更多
关键词 reflection high energy electron diffraction thin films laser molecular beam epitaxy GaN sapphires
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高斯激光束在Fraunhofer圆孔衍射成像中的球差
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作者 夏雄平 张凯 +1 位作者 韦贵妹 田恺婧 《吉林大学学报(理学版)》 CAS 北大核心 2024年第1期141-146,共6页
基于标量衍射理论,利用Zernike多项式法构建像差函数,并将其应用到ZEMAX中,研究高斯型激光束在透镜与圆孔距离较大时的Fraunhofer圆孔衍射成像中的球差.实验和理论模拟结果表明,透镜及圆孔和透镜距离对产生球差的影响较大,当选择优化的... 基于标量衍射理论,利用Zernike多项式法构建像差函数,并将其应用到ZEMAX中,研究高斯型激光束在透镜与圆孔距离较大时的Fraunhofer圆孔衍射成像中的球差.实验和理论模拟结果表明,透镜及圆孔和透镜距离对产生球差的影响较大,当选择优化的非球面透镜、较高折射率的透镜材料和小视场时,可有效降低由圆孔和透镜距离较大而产生的球差,从而有效提升衍射成像质量. 展开更多
关键词 Fraunhofer圆孔衍射 球差 高斯激光束 ZERNIKE多项式
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Tight Focusing of Radially and Azimuthally Polarized Vortex Beams through a Dielectric Interface 被引量:6
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作者 张志明 蒲继雄 王喜庆 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第5期1664-1667,共4页
Based on vectorial Debye theory, tight focusing of radially and azimuthally polarized vortex beams passing through a dielectric interface are studied. The intensity distribution in the focal region is illustrated by n... Based on vectorial Debye theory, tight focusing of radially and azimuthally polarized vortex beams passing through a dielectric interface are studied. The intensity distribution in the focal region is illustrated by numerical calculations. We show the influence of numerical-aperture (NA) on the full-width at half maximum (FWHM) of the focal spot or the focal hole. It has been found that compared with the azimuthally polarized Besse^Gaussian (BG) beams, the longitudinal component in the z direction of the radially polarized BG beams has no influence on the FWHM of the focal spot and hole, but enhances the total light intensity. 展开更多
关键词 MISMATCHED REFRACTIVE-INDEXES ELECTROMAGNETIC diffractION FEMTOSECOND laser PLANAR INTERFACE VECTOR beamS LIGHT
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Far-field vector-diffraction of off-axis parabolic mirror under oblique incidence 被引量:2
4
作者 Xia-Hui Zeng Xi-Yao Chen 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期190-201,共12页
Based on a full vector-diffraction theory, a detailed theoretical study is carried out, aiming at providing a clear insight into the effects of different focusing and off-axis parabola parameters on far-field vector-d... Based on a full vector-diffraction theory, a detailed theoretical study is carried out, aiming at providing a clear insight into the effects of different focusing and off-axis parabola parameters on far-field vector-diffraction properties of an offaxis parabolic mirror in the presence of misalignments of the incoming beam. The physical origin of these effects is also explored. The results show that the far-field intensity profile is altered by the distortion-, coma-, and astigmatism-like aberrations, which are caused by oblique incidence rather than inherent aberrations for the off-axis configuration. The radius of 90% encircled energy also increases but does not change monotonically with incident beam size increasing, or rather,it first decreases and then increases. The focal shift strongly depends on the effective focal length and oblique incidence angle, but it is almost independent of the beam size, which affects the focusing spot patterns. The intensity distribution produces a higher astigmatic image with off-axis angle increasing. Coma-like aberration starts to become dominant with beam size increasing and results in larger curved propagation trajectory. The incident polarization also affects the intensity distribution. The variation in the Strehl ratio with oblique incidence angle strongly depends on the misalignment direction and beam size as well. In addition, we find that the difference in locus between the catacaustic and the diffraction focus in the meridian is small. But the locus of the sagittal foci is obviously different from the locus of the meridian foci and the catacaustic focus. Moreover, the peak intensity of the sagittal focus is maximum, and the ratio of the peak intensity to that in the meridian plane is approximately 1.5. Understanding these effects is valuable for assessing a practical focused intensity and describing the motion of charged particles under a strong electric field in ultraintense laser–matter interaction. 展开更多
关键词 laser beam focusing OFF-AXIS PARABOLIC MIRROR vector-diffraction theory oblique incidence
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基于衍射光学元件的激光相干合成研究进展 被引量:2
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作者 何兵 李炳霖 +1 位作者 杨依枫 刘美忠 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期24-35,共12页
从衍射光学元件的基本原理出发,围绕连续波和脉冲波两大应用领域,综述了国内外基于衍射光学元件实现共孔径相干合成的研究进展。在国内,上海光学精密机械研究所分别实现了连续光和脉冲光的合成,连续光实现了206 W的输出功率,光束质量1.... 从衍射光学元件的基本原理出发,围绕连续波和脉冲波两大应用领域,综述了国内外基于衍射光学元件实现共孔径相干合成的研究进展。在国内,上海光学精密机械研究所分别实现了连续光和脉冲光的合成,连续光实现了206 W的输出功率,光束质量1.38,合束效率29.6%;脉冲光实现了峰值功率1.02 kW,重复频率2.2 MHz的ns级脉冲相干合成光束,合束效率61%。在国外,连续光方面实现了5 kW量级的合成光输出,合束效率82%;脉冲光方面实现了平均功率150 mW,重复频率100 MHz的fs级脉冲相干合成光束,合束效率83.4%。最后对基于衍射光学元件的激光相干合成技术的未来发展做出了展望,相信在不久的将来,基于衍射光学元件的相干合成技术会不断发展,逐渐突破技术瓶颈,从而为更多的应用领域奠定坚实基础。 展开更多
关键词 激光光学 衍射光学元件 相干合成 光纤激光器 相位锁定
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Laser beam characteristic for laser resonators with diffraction optical elements 被引量:1
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作者 陆璇辉 黄凯凯 +2 位作者 薛大建 张蕾 何赛灵 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第3期153-156,共4页
The matrix eigenvalue method is used to analyze a laser resonator composed of diffraction optical elements. The results show that this type of resonator can separate fundamental mode and high order modes effectively. ... The matrix eigenvalue method is used to analyze a laser resonator composed of diffraction optical elements. The results show that this type of resonator can separate fundamental mode and high order modes effectively. The output beams can be designed for different requests. 展开更多
关键词 MODE on BE of AS for laser beam characteristic for laser resonators with diffraction optical elements with
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体布拉格光栅用于高功率光谱组束的研究 被引量:8
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作者 梁小宝 陈良明 +5 位作者 李超 周泰斗 黄志华 赵磊 王建军 景峰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期68-71,共4页
使用透射型体布拉格光栅组束两束光纤激光,实现了856 W光谱组束输出。总的光谱组束效率为73.7%,组束光束的横向质量因子为7.9,纵向质量因子为2.7。研究结果显示,虽然体光栅的角色散严重影响衍射光束的光束质量,但其并不影响透射光束的... 使用透射型体布拉格光栅组束两束光纤激光,实现了856 W光谱组束输出。总的光谱组束效率为73.7%,组束光束的横向质量因子为7.9,纵向质量因子为2.7。研究结果显示,虽然体光栅的角色散严重影响衍射光束的光束质量,但其并不影响透射光束的光束特性。由于当前宽谱光纤激光器的输出功率远大于窄线宽输出,使用宽谱光纤激光器(光谱带宽超过4nm)作为透射光束,能够在不降低组束效率和组束光束质量的前提下,有效提升使用体布拉格光栅进行光谱组束的总输出功率。 展开更多
关键词 激光组束 光谱组束 体布拉格光栅 组束效率 光束质量
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基于无衍射光的表面粗糙度三角测量及其灰色评定方法 被引量:12
8
作者 王中宇 王倩 +1 位作者 孟浩 王雪 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期909-912,共4页
激光三角法是表面形貌非接触测量中的一种常用方法,在几何测量领域应用广泛。传统的激光三角法采用高斯光束作为指示光源,在机械扫描机构的配合下,通过对被测表面逐点扫描完成表面形貌的测量。采用新型的无衍射光替代传统激光光源,解决... 激光三角法是表面形貌非接触测量中的一种常用方法,在几何测量领域应用广泛。传统的激光三角法采用高斯光束作为指示光源,在机械扫描机构的配合下,通过对被测表面逐点扫描完成表面形貌的测量。采用新型的无衍射光替代传统激光光源,解决了普通高斯光束存在的"焦深"问题,简化了机械结构。并采用基于灰色系统理论的灰色滤波进行表面形貌的分离与评定,克服了原有方法对测量数据样本量和统计特性的依赖,并通过实验表明该系统能够准确地完成表面形貌的三维测量,所提出的灰色评定方法能够比较有效地进行表面形貌的分离与评定。 展开更多
关键词 表面粗糙度 无衍射光 灰色滤波 激光三角法
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无衍射光束在激光三角测量系统中的应用研究 被引量:23
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作者 周莉萍 赵斌 李柱 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期22-25,共4页
无衍射贝塞耳光束是近年来国内外极为重视的一个新兴研究领域。这种光束同时具有焦深长,中心光斑小的特点。利用这一特点,作者首次提出将其作为入射光束应用于激光三角测量系统,以解决传统激光三角测量系统无法满足大量程与高分辨率... 无衍射贝塞耳光束是近年来国内外极为重视的一个新兴研究领域。这种光束同时具有焦深长,中心光斑小的特点。利用这一特点,作者首次提出将其作为入射光束应用于激光三角测量系统,以解决传统激光三角测量系统无法满足大量程与高分辨率测量要求的问题。文中给出了无衍射光束的理论及实现方法。在三角测量物象位置关系的基础上,设计了无衍射激光三角测量系统及其参数并给出了实验结果。理论分析与实验结果表明,这种新型系统明显优于传统的三角测量系统。 展开更多
关键词 无衍射光束 锥形透镜 激光三角测量 激光仪器
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808nm激光二极管阵列波长光束组合20W输出 被引量:8
10
作者 刘波 李强 +4 位作者 张雪 惠勇凌 韩军婷 姜梦华 庞恺 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1633-1638,共6页
基于多波长光束组合技术,利用光栅的衍射和外腔的反馈,将激光二极管阵列(LDA)发光单元锁定在不同的波长上,以近似平行光束沿光栅的-1级衍射方向组合输出,改善LDA输出光束质量。实验采用发光单元宽度为100μm、周期为500μm,由19个单元... 基于多波长光束组合技术,利用光栅的衍射和外腔的反馈,将激光二极管阵列(LDA)发光单元锁定在不同的波长上,以近似平行光束沿光栅的-1级衍射方向组合输出,改善LDA输出光束质量。实验采用发光单元宽度为100μm、周期为500μm,由19个单元构成的1 cm普通商用LDA,在连续运行最大注入电流60.6 A时,自由运转输出功率49.8 W时,获得功率为20.1 W的组合光束稳定输出,其光谱宽度为15 nm,对应的远场发散角由约70 mrad变为1.66 mrad,改善后光束质量因子约为32,其值与单个发光单元的光束质量相当。 展开更多
关键词 激光二极管阵列 光谱光束组合 波长光束组合 衍射光栅
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基于多层电介质光栅光谱合成的光束质量 被引量:11
11
作者 姜曼 马鹏飞 +1 位作者 周朴 王小林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期103-111,共9页
基于电介质光栅的光谱合成是实现高功率高光束质量激光的重要途径.在电介质光栅的光谱合成系统中,光栅色散效应是影响合成激光光束质量的重要因素.本文推导了单光栅和双光栅光谱合成系统中由于光栅色散引起M^2因子的变化公式;详细讨论... 基于电介质光栅的光谱合成是实现高功率高光束质量激光的重要途径.在电介质光栅的光谱合成系统中,光栅色散效应是影响合成激光光束质量的重要因素.本文推导了单光栅和双光栅光谱合成系统中由于光栅色散引起M^2因子的变化公式;详细讨论了这两种合成系统中单路激光线宽、单路激光光斑半径、相邻两路激光波长差、相邻两路激光间距以及光栅周期对光束质量的影响.研究表明对于单光栅合成系统,在合成过程中若保持光束质量M^2因子的大小不变,则单路激光带宽随光斑半径的增加而减小;在双光栅光谱合成系统中,在保持光束质量的前提下,单路激光带宽可随光斑半径的增大而相应增加.数值计算表明,若要满足合成光束的光束质量M^2≤1.2的要求,在单光栅系统中激光带宽需窄于亚纳米量级,在双光栅系统中激光带宽可为亚纳米.本文为高功率、高光束质量的光纤激光光谱合成系统的搭建提供了理论指导. 展开更多
关键词 光谱合成 光纤激光 多层电介质光栅 光束质量
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粒子尺寸分布的激光衍射测量研究 被引量:16
12
作者 张以谟 毛义 田学飞 《光电工程》 CAS CSCD 1990年第1期1-8,共8页
提出了用于喷雾雾化分析和固体粉末粒子的激光粒度分析仪的设计原则。给出了进行粒子测试的数学模型,编制了系统软件。用实际设计的仪器进行了喷雾雾化分析和流化床催化剂粒度测量,证明了所提出的设计原则的正确和该仪器研制的成功。
关键词 激光 粒度分析仪 粒子 衍射测量
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衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化 被引量:7
13
作者 刘志辉 石振东 +3 位作者 杨欢 李国俊 方亮 周崇喜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第7期2092-2096,共5页
提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入... 提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时,可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。 展开更多
关键词 光束匀化 衍射光学 半导体激光器 微透镜阵列
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贝塞尔-高斯光束通过圆孔与圆环光阑的衍射 被引量:5
14
作者 屈军 孟凯 +2 位作者 汪六三 丁培宏 崔执凤 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期393-395,共3页
为了研究贝塞尔-高斯光束通过圆孔硬边光阑和圆环光阑的衍射特性,从Collins公式出发,采用数值模拟的方法模拟出光强分布。模拟结果表明,贝塞尔-高斯光束经圆孔光阑衍射后轴上光强随菲涅耳数F呈周期振荡;贝塞尔-高斯光束经圆环光阑后轴... 为了研究贝塞尔-高斯光束通过圆孔硬边光阑和圆环光阑的衍射特性,从Collins公式出发,采用数值模拟的方法模拟出光强分布。模拟结果表明,贝塞尔-高斯光束经圆孔光阑衍射后轴上光强随菲涅耳数F呈周期振荡;贝塞尔-高斯光束经圆环光阑后轴上光强随F呈振动衰减。在F相同时,贝塞尔-高斯光束经圆孔光阑衍射后横向光强分布比经圆环光阑衍射后横向光强分布平滑,孔径越小,光强调制越明显;当孔径与束腰相等时候,横向光强分布与菲涅耳数没有关系。 展开更多
关键词 激光光学 贝塞尔高斯光束 衍射 圆孔光阑 圆环光阑
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超短脉冲激光光束在一维反射型体全息光栅中的衍射 被引量:7
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作者 王春花 闫爱民 +3 位作者 刘立人 刘德安 王欣 曲伟娟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1803-1807,共5页
基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·... 基于Kogelnik的耦合波理论,研究了在色散效应的影响下,超短脉冲激光光束在反射型体全息光栅中衍射的性质·研究给出了衍射光及透射光在频谱域及时间域的振幅及强度分布、光栅的光谱宽度及衍射效率随光栅参量及入射条件的变化·数值研究的结果表明,在光栅记录介质色散效应的影响下,衍射光束的光谱宽度减小,脉冲展宽,衍射效率降低·通过适当的选取光栅参量及入射条件,可以控制衍射和透射光束的频谱和时间强度分布,得到满意的衍射和透射光束的带宽和波形,从而可以将其应用于脉冲整形等技术中· 展开更多
关键词 衍射 耦合波理论 体全息光栅 超短脉冲光束
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用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展 被引量:6
16
作者 林清华 宋超 +1 位作者 王鲁宾 周金运 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期415-419,共5页
阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型——高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍。总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺... 阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型——高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍。总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺点,包括它们的整形能力、能量损失、干涉效应以及波前和振幅均匀化控制等;同时对主要整形器件的原理、特性和进展情况进行了简要综述。 展开更多
关键词 激光技术 准分子激光束整形 光刻 微透镜阵列 衍射相位光栅
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闪耀光栅阵列用于半导体激光器列阵光束整形 被引量:6
17
作者 郑春艳 郑国兴 +1 位作者 周崇喜 杜春雷 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B04期62-66,共5页
介绍了半导体激光器列阵的光束整形理论,设计并制作了由两个闪耀光栅阵列构成的整形光学系统,理论计算表明该系统能将激光器快、慢轴方向的光参数积变为5.7 mm·mrad和8.9 mm·mrad。在整形实验中测得变换后快、慢轴方向的光参... 介绍了半导体激光器列阵的光束整形理论,设计并制作了由两个闪耀光栅阵列构成的整形光学系统,理论计算表明该系统能将激光器快、慢轴方向的光参数积变为5.7 mm·mrad和8.9 mm·mrad。在整形实验中测得变换后快、慢轴方向的光参数积分别为12 mm·mrad和9.5 mm·mrad,经透镜聚焦后能够实现与芯径200μm,数值孔径0.22的光纤耦合。 展开更多
关键词 激光技术 光束整形 闪耀光栅 半导体激光器列阵 衍射光学器件 光纤耦合
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衍射光学元件在卫星激光通信终端中的潜在应用(英文) 被引量:6
18
作者 俞建杰 韩琦琦 +1 位作者 马晶 谭立英 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期130-137,共8页
卫星激光通信技术是目前通信技术领域的研究热点,而光学子系统的优化设计是其重要研究方向。主要介绍了利用衍射光学元件实现卫星激光通信终端的小型化、集成化和高效化。文中首先简要介绍卫星激光通信系统的基本原理,随后介绍了衍射光... 卫星激光通信技术是目前通信技术领域的研究热点,而光学子系统的优化设计是其重要研究方向。主要介绍了利用衍射光学元件实现卫星激光通信终端的小型化、集成化和高效化。文中首先简要介绍卫星激光通信系统的基本原理,随后介绍了衍射光学元件在卫星激光通信终端中的各种可能应用,包括光束整形和分光,光学滤波,防反射镀膜,像差和热差补偿等。给出了一个包含衍射光学元件的激光通信终端光学系统优化设计实例,相应的数值仿真结果表明:衍射光学元件与传统光学元件相比,具有明显优势。 展开更多
关键词 卫星激光通信 衍射光学元件 潜在应用 光束整形
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激光光束对光幕测速系统的影响 被引量:5
19
作者 黄战华 曾磊 +1 位作者 蔡怀宇 李滢滢 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1669-1671,共3页
在高精度速度测量系统中,激光光束截面形状以及光强分布影响测量结果,基于激光光束的高斯模型,计算出关于出射轴线对称的规则和非对称激光束光强变化率随位置变化的曲线,推导出设置阈值电压的最佳位置,并计算出在最佳位置处设定比较阈... 在高精度速度测量系统中,激光光束截面形状以及光强分布影响测量结果,基于激光光束的高斯模型,计算出关于出射轴线对称的规则和非对称激光束光强变化率随位置变化的曲线,推导出设置阈值电压的最佳位置,并计算出在最佳位置处设定比较阈值对光幕测速系统的影响,提出在激光光束前添加狭缝压缩光束宽度的方法,相对距离误差减小为0.003 8%,误差减小了61.2%. 展开更多
关键词 光电传感器 速度测量 阈值电压 高斯光束 狭缝衍射
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重复激光脉冲作用下薄膜损伤演化规律研究 被引量:4
20
作者 范卫星 王平秋 +3 位作者 韩敬华 刘全喜 杨洁 郭超 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期210-213,共4页
为了深入研究重复激光脉冲的能量效应对光学薄膜的烧蚀机理,采用实验观测与热力学分析相结合的方法进行了研究。通过观察光学薄膜烧蚀形貌随入射激光脉冲数量增加发生改变的典型形貌特征,分析了激光与等离子体相互作用的热力学过程,得... 为了深入研究重复激光脉冲的能量效应对光学薄膜的烧蚀机理,采用实验观测与热力学分析相结合的方法进行了研究。通过观察光学薄膜烧蚀形貌随入射激光脉冲数量增加发生改变的典型形貌特征,分析了激光与等离子体相互作用的热力学过程,得到了在激光重复脉冲作用下光学薄膜的损伤特性及其演化规律。结果表明,薄膜在重复脉冲作用下,其表面会变得粗糙,这会大大增加对激光的吸收效应,从而加速了薄膜的破坏,最终被完全去除而露出基底;同时,烧蚀物会在热膨胀作用下向激光作用区域外扩散,在激光烧蚀中心区域外进行沉积,而形成更大范围的污染。由于激光光强为高斯分布,重复脉冲作用的效应主要是对在光束中心区域的薄膜进行集中烧蚀,会不断增加烧蚀的损伤程度,而对烧蚀面积的增加效应极为有限。这一研究结果为重复激光脉冲对薄膜烧蚀机理的建立提供了参考。 展开更多
关键词 激光技术 重复激光脉冲 薄膜损伤 高斯光束 X射线衍射光谱
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