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NON-CONTACT MEASUREMENT SYSTEM OF FREEFORM SURFACE AND NURBS RECONSTRUCTION OF MEASUREMENT POINTS 被引量:4
1
作者 Li Jian Wang Wen Chen Zichen Institute of Advanced Manufacturing Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第4期366-371,共6页
Based on the development of the non-contact measurement system of free-formsurface, NURBS reconstruction of measurement points of freeform surface is effectively realized bymodifying the objective function and recursi... Based on the development of the non-contact measurement system of free-formsurface, NURBS reconstruction of measurement points of freeform surface is effectively realized bymodifying the objective function and recursive procedure and calculating the optimum number ofcontrol points. The reconstruction precision is evaluated through Ja-cobi's transformation method.The feasibility of the measurement system and effectiveness of the reconstruction algorithm aboveare proved by experiment. 展开更多
关键词 freeform surface non-contact measurement NURBS precision evaluation
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A novel wide-range precision instrument for measuring three-dimensional surface topography
2
作者 杨旭东 《Journal of Chongqing University》 CAS 2008年第1期52-57,共6页
We developed a measuring instrument that had wide range, high precision, small measuring touch force. The instrument for three-dimensional (3D) surface topography measurement was composed of a high precision displacem... We developed a measuring instrument that had wide range, high precision, small measuring touch force. The instrument for three-dimensional (3D) surface topography measurement was composed of a high precision displacement sensor based on the Michelson interference principle, a 3D platform based on vertical scanning, a measuring and control circuit, and an industrial control computer. It was a closed loop control system, which changed the traditional moving stylus scanning style into a moving platform scanning style. When the workpiece was measured, the lever of the displacement sensor returned to the balanced position in every sample interval according to the zero offset of the displacement sensor. The non-linear error caused by the rotation of the lever was, therefore, very small even if the measuring range was wide. The instrument can measure the roughness and the profile size of a curved surface. 展开更多
关键词 instrument circuit surface topography measurement error wide range precision instrument displacement sensor 3D platform
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Deep-Hole Inner Diameter Measuring System Based on Non-contact Capacitance Sensor 被引量:3
3
作者 于永新 张恒 +1 位作者 王宗超 常以哲 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2010年第6期447-451,共5页
A precise aperture measuring system of small deep holes with capacitance sensors is presented. Based on the working principle of non-contact capacitance sensors, influence of the edge effect of gauge head is studied, ... A precise aperture measuring system of small deep holes with capacitance sensors is presented. Based on the working principle of non-contact capacitance sensors, influence of the edge effect of gauge head is studied, and one capacitance sensor for measuring the aperture of the small blind holes or through holes is introduced. The system is composed of one positioning device, one aperture measuring capacitance sensor, one measuring circuit, and software. This system employs visual CCD and two-dimensional mic... 展开更多
关键词 deep-hole measurement non-contact CCD stepping motor precise positioning
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Study on Coaxiality Measurement System of Compound Gear Shaft Based on Non⁃contact Optic 被引量:2
4
作者 YE Zhibin LU Yonghua +2 位作者 TAN Jie LI Yanlong CHAI Zhong 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI CSCD 2021年第3期393-403,共11页
Aiming at the shortcomings of traditional contact measurement methods such as low measurement efficiency,high cost and low accuracy,a non-contact optical measurement method based on the laser displacement sensor is pr... Aiming at the shortcomings of traditional contact measurement methods such as low measurement efficiency,high cost and low accuracy,a non-contact optical measurement method based on the laser displacement sensor is proposed.According to the relevant regulations of the coaxiality error evaluation standard and the structural characteristics of the compound gear shaft,we have designed and built a set of supporting software system as well as a hardware test platform.In this paper,the distance difference threshold and scale threshold methods are used to eliminate outlier data.The least squares circle is selected to calculate the center of the circle and the minimum containment cylinder axis method is used as the reference axis of the composite gear shaft.Compensated by the standard step shaft calibration,the coaxiality error of the composite gear shaft can be measured to be within 0.01 mm in less than two minutes.The range value of the multi-section measurement test is 0.065 mm.The average coaxiality error is∅0.476 mm. 展开更多
关键词 compound gear shaft non-contact measurement laser displacement sensor COAXIALITY measuring system
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基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究
5
作者 雷李华 张玉杰 傅云霞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期90-97,共8页
光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移... 光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移测量过程中出现的光栅与位移台以及读数头之间的姿态位置误差进行分析,通过分别建立位移坐标系及光栅坐标系,参考惯性导航领域中飞行器姿态表示方法,利用一维光栅的横滚、俯仰和偏航角共同描述一维光栅相对于位移台的装配状态。通过基于矢量衍射理论分析光栅干涉仪位移测量时三个维度的角度偏差量,对可能产生的位移测量误差进行了分析说明。基于广义一维光栅方程,探究出了一个更为普遍的结论,为后续装置的改进提供理论依据,以提高系统的测量精度。 展开更多
关键词 精密位移测量 光栅干涉仪 光栅矢量衍射 周期性误差
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Displacement measuring grating interferometer: a review 被引量:16
6
作者 Peng-cheng HU Di CHANG +3 位作者 Jiu-bin TAN Rui-tao YANG Hong-xing YANG Hai-jin FU 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 SCIE EI CSCD 2019年第5期631-654,共24页
A grating interferometer, called the "optical encoder," is a commonly used tool for precise displacement measurements. In contrast to a laser interferometer, a grating interferometer is insensitive to the ai... A grating interferometer, called the "optical encoder," is a commonly used tool for precise displacement measurements. In contrast to a laser interferometer, a grating interferometer is insensitive to the air refractive index and can be easily applied to multi-degree-of-freedom measurements, which has made it an extensively researched and widely used device. Classified based on the measuring principle and optical configuration, a grating interferometer experiences three distinct stages of development: homodyne, heterodyne, and spatially separated heterodyne. Compared with the former two, the spatially separated heterodyne grating interferometer could achieve a better resolution with a feature of eliminating periodic nonlinear errors. Meanwhile, numerous structures of grating interferometers with a high optical fold factor, a large measurement range, good usability, and multidegree-of-freedom measurements have been investigated. The development of incremental displacement measuring grating interferometers achieved in recent years is summarized in detail, and studies on error analysis of a grating interferometer are briefly introduced. 展开更多
关键词 GRATING INTERFEROMETER Optical ENCODER displacement measurement precision measurement
原文传递
基于激光位移传感器的厚度测量校准系统设计及应用
7
作者 孙进 于子金 《宝钢技术》 CAS 2024年第1期60-65,共6页
为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部... 为了提高钢板厚度校准的精度和安全性,针对传统接触式测厚仪精度低和射线类测厚仪存在辐射风险的问题,设计了一种基于激光位移传感器的差分非接触厚度测量校准系统。该系统采用差分测量结构,将激光位移传感器分别放置在待测钢板的顶部和底部,通过对传感器数据的采样和计算,实现钢板厚度的准确测量。硬件电路方面采用了STM32核心芯片进行设计,系统软件部分进行了相应的优化设计。试验后,系统重复性精度可达±0.1%,测量允许误差优于±0.05%,同时测量漂移控制在钢板厚度的±0.1%范围内。该系统不仅显著提高了测量精度,同时有效降低了测量过程中的安全风险,在钢板生产和加工领域具有重要的指导意义和应用价值。 展开更多
关键词 钢板厚度 高精度检测 非接触厚度测量 激光位移传感器
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公路隧道施工水平位移及收敛量测精度确定方法与衡量方法探讨 被引量:1
8
作者 樊祥君 秦峰 《公路交通技术》 2024年第2期185-191,共7页
隧道施工监控量测是隧道工程专业与测绘工程专业的交叉领域,在精度要求方面,隧道专业和测绘专业的规范标准中都有相关的条文说明,但不同规范标准之间存在侧重和差异,这给使用者在参考时造成一定的困扰。为了明确公路隧道施工监控量测水... 隧道施工监控量测是隧道工程专业与测绘工程专业的交叉领域,在精度要求方面,隧道专业和测绘专业的规范标准中都有相关的条文说明,但不同规范标准之间存在侧重和差异,这给使用者在参考时造成一定的困扰。为了明确公路隧道施工监控量测水平位移监测精度要求,通过分析现行的国家标准、行业标准中的相关规定,结合多本现行规范中关于精度要求的说明,给出一种以确定允许变形量→确定衡量标准(中误差)→确定最大允许误差(中误差限差)为思路的精度确定方法,和计算实测数据中误差→对比计算中误差与中误差限差→判断数据可信度的精度衡量方法,并通过实测数据论证其合理性。结果表明,文中提出的精度确定方法、精度衡量方法及仪器选用能满足公路隧道水平位移监测或收敛监测的工作需求。 展开更多
关键词 水平位移监测 收敛监测 精度确定方法 精度衡量方法 中误差
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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量:33
9
作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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数字图像相关方法最优散斑尺寸 被引量:19
10
作者 王志勇 王磊 +1 位作者 郭伟 沈珉 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期674-678,共5页
综合分析了图像灰度噪声和亚像素插值误差这两种最主要的误差源对数字图像相关方法位移测量精度的影响,并在此基础上建立了计算数字图像相关方法的总测量误差数学模型.在综合考虑这两种误差的基础上具体分析了散斑尺寸对数字图像相关方... 综合分析了图像灰度噪声和亚像素插值误差这两种最主要的误差源对数字图像相关方法位移测量精度的影响,并在此基础上建立了计算数字图像相关方法的总测量误差数学模型.在综合考虑这两种误差的基础上具体分析了散斑尺寸对数字图像相关方法的位移测量精度的影响,运用理论分析和数值模拟得到了不同参数下的最优散斑尺寸.研究结果表明,对于一定的测量参数而言,存在一个散斑尺寸的最优区间,在这个区间内的散斑越多,数字图像相关方法的位移测量精度越高. 展开更多
关键词 数字图像相关方法 位移测量精度 随机噪声 插值误差
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高精度激光三角位移传感器的技术现状 被引量:97
11
作者 冯俊艳 冯其波 匡萃方 《应用光学》 CAS CSCD 2004年第3期33-36,共4页
 三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射...  三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射式。分别介绍了这两种方法的测量原理,并对它们各自的特点进行了比较。最后阐述了高精度激光三角位移传感器的应用方向及发展趋势。 展开更多
关键词 三角测量法 高精度激光位移传感器 光电探测器 非接触测量
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金属梁挠度的激光全息再现 被引量:6
12
作者 朱晨 刘永胜 +1 位作者 宋淑萍 徐舟 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期296-297,302,共3页
在材料力学中 ,金属梁的挠曲线是一个微小的位移分布 ,无法用常规测量方法精确测量。论述了利用激光全息技术再现金属梁挠度的方法。同时根据挠曲线的数值解 ,计算出挠度的理论分布 ,计算结果与激光全息实验符合得很好。这表明激光全息... 在材料力学中 ,金属梁的挠曲线是一个微小的位移分布 ,无法用常规测量方法精确测量。论述了利用激光全息技术再现金属梁挠度的方法。同时根据挠曲线的数值解 ,计算出挠度的理论分布 ,计算结果与激光全息实验符合得很好。这表明激光全息技术可为材料的挠度研究提供新的直观、有效的检测方法。 展开更多
关键词 挠度 激光全息 微位移 精密测量
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光栅精密位移测量技术发展综述 被引量:31
13
作者 高旭 李舒航 +1 位作者 马庆林 陈伟 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期741-752,共12页
精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测... 精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 高精度测量 衍射干涉
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一种新型光谱共焦位移测量系统研究 被引量:13
14
作者 柳晓飞 邓文怡 +1 位作者 牛春晖 金博石 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第4期34-36,40,共4页
设计并搭建了一种光谱共焦位移测量系统。利用高斯拟合算法拟合每组实验数据,获取光谱响应曲线峰值对应的光波长值,采用Levenberg-Marquardt算法优化求解高斯函数的参数向量;利用双频激光干涉仪对系统进行标定,获得光波长和反射镜位移... 设计并搭建了一种光谱共焦位移测量系统。利用高斯拟合算法拟合每组实验数据,获取光谱响应曲线峰值对应的光波长值,采用Levenberg-Marquardt算法优化求解高斯函数的参数向量;利用双频激光干涉仪对系统进行标定,获得光波长和反射镜位移之间的对应关系;对整个系统作精度分析。实验结果表明:高斯拟合算法适合作为该位移测量系统的数据处理方法;用双频激光干涉仪对系统标定的方法能够准确定位反射镜的位置。该设计系统的测量范围为20 mm,测量精度为10μm,能够满足一定精度的测量要求。 展开更多
关键词 光谱共焦 高斯拟合 标定 精度分析 位移测量
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10^(-6)量级精密离心机输出加速度测量模型及不确定度评定 被引量:4
15
作者 凌明祥 黎启胜 +3 位作者 张容 李明海 宁菲 卢永刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2306-2317,共12页
为了给高精度惯性仪表校准试验提供高精准的加速度输入值,研究了精密离心机输出加速度的建模、测量及不确定度评定方法。建立了适用于10-6量级高精度精密离心机的加速度测量模型及不确定度传递模型。基于本课题组提出的高精度测量方法,... 为了给高精度惯性仪表校准试验提供高精准的加速度输入值,研究了精密离心机输出加速度的建模、测量及不确定度评定方法。建立了适用于10-6量级高精度精密离心机的加速度测量模型及不确定度传递模型。基于本课题组提出的高精度测量方法,完成了10-6量级精密离心机的静动态半径、静动态俯仰失准角等重要分量的高精度测量。分析、归纳了测量不确定度源,分别基于建立的加速度测量不确定度传递模型和蒙特卡洛方法完成了该精密离心机输出加速度的测量不确定度评定。最后,讨论和总结了高精度精密离心机输出加速度建模和精度评定的相关问题。结果表明:该精密离心机对1g^100g输出加速度的相对标准不确定度均小于3×10-6,其精度与目前国际上公开的最高精度离心机处于同一数量级;建立的测量模型及测量不确定度评定方法可以为相关精度等级的精密离心机研制和评价提供参考。 展开更多
关键词 精密离心机 加速度测量 位移测量 测量不确定度 蒙特卡洛法
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变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响 被引量:5
16
作者 鲁进 陈锡侯 +1 位作者 汤其富 武亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2271-2282,共12页
根据时栅传感器的测量原理,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准的变耦型时栅位移传感器以提高位移测量的精度。该传感器通过改变激励线圈和感应线圈的耦合状态输出感应位移变化的行波信号来实现精密位移测量。进行了建模和仿真,研究... 根据时栅传感器的测量原理,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准的变耦型时栅位移传感器以提高位移测量的精度。该传感器通过改变激励线圈和感应线圈的耦合状态输出感应位移变化的行波信号来实现精密位移测量。进行了建模和仿真,研究了不同测头姿态下传感器的位移误差特性,并对其进行了谐波分析,得到了不同测头姿态对位移测量误差各次谐波的影响规律。根据传感器模型制作了传感器并开展了验证实验。仿真和实验结果均表明:不同测头姿态对位移测量误差的影响主要体现在对测量误差的1次、2次和4次谐波上,且俯仰姿态引入的附加误差最大,其余测头姿态下引入的位移测量附加误差均较小。若保证较佳的测头姿态,传感器在定尺和动测头间气隙厚度为0.3mm时的原始误差约为±18μm。实验分析结果与仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 时栅传感器 位移测量 测头姿态 安装误差 测量精度
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基于光栅传感器的位移测量仪的研制 被引量:15
17
作者 江晓军 黄惠杰 王向朝 《电子测量技术》 2008年第7期147-150,158,共5页
本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理,得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值... 本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理,得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值,最后根据误差修正算法对位移测量值进行修正,得到该仪器的测量分辨率为1μm且测量精度达±2μm(1σ)。此外,所研制的测量仪具有可靠、易于扩展和调试方便的特点。 展开更多
关键词 位移测量 光栅传感器 测量精度
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基于精密测距和方向线偏移法的基坑水平位移监测 被引量:11
18
作者 赵鹏飞 潘国荣 谷川 《工程勘察》 CSCD 北大核心 2009年第10期78-81,共4页
本文介绍了方向线偏移法的测量基坑水平位移基本原理。在文中提出了一种利用精密测距测量工作基点位移的方法,并且针对某特殊形状的基坑,提出一种结合方向线偏移法和精密测距的联合改进方法。最后分析了该方法的精度,并用实际数据说明... 本文介绍了方向线偏移法的测量基坑水平位移基本原理。在文中提出了一种利用精密测距测量工作基点位移的方法,并且针对某特殊形状的基坑,提出一种结合方向线偏移法和精密测距的联合改进方法。最后分析了该方法的精度,并用实际数据说明了该方法的可行性和优势。 展开更多
关键词 方向线偏移法 精密测距 基坑水平位移监测 联合方法 精度分析
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衍射光栅超精密位移定位检测新方法 被引量:4
19
作者 时轮 王池平 +2 位作者 王鹤 许黎明 陈家宝 《自动化仪表》 CAS 2017年第4期55-57,共3页
光栅干涉仪测量是精密位移检测系统中常用的检测方法,具有较高的检测分辨率。为进一步提高光栅干涉仪位移检测分辨率,通过对光栅干涉条纹信号的分析,提出了一种基于衍射光栅相位移动的超精密位移定位检测新方法。采用衍射光栅作为测量元... 光栅干涉仪测量是精密位移检测系统中常用的检测方法,具有较高的检测分辨率。为进一步提高光栅干涉仪位移检测分辨率,通过对光栅干涉条纹信号的分析,提出了一种基于衍射光栅相位移动的超精密位移定位检测新方法。采用衍射光栅作为测量元件,通过在经典的衍射光栅位移检测系统中加入光电传感器的相位运动,改变衍射光栅系统的接收相位。其方法是调整光栅干涉仪系统,使得传感器接收视场中只有两个条纹;在目标定位运动台的最后定位阶段,使接收系统的光电传感器在检测视场的两个干涉条纹间进行移动,即改变了光栅干涉仪的接收相位。这种位移检测方法突破了检测元件本身的物理限制,在理论上可以获得亚纳米级以上的超高位移检测分辨率。依据相位移动原理,搭建了具有相位移动功能的光栅干涉仪超精密位移检测定位系统。通过定位检测试验证明了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 精密制造 光电传感器 光栅 干涉仪 衍射 位移检测
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激光位移传感器在角度测量中的应用 被引量:10
20
作者 朱万彬 钟俊 莫仁芸 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期131-133,共3页
激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量。通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二... 激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量。通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二面角两边的斜率,从而求出角度。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,导轨和步进电机重复定位精度高于3μm,则测量角度的精度高于1″。 展开更多
关键词 角度测量 激光位移传感器 最小二乘拟合 精度
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