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CMOS红外光源的设计与实现
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作者 王林峰 余隽 +3 位作者 李中洲 黄正兴 朱慧超 唐祯安 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期120-123,126,共5页
基于红外气体传感器微型化、低成本和低功耗的发展需要,设计了一种用于非色散红外(NDIR)集成气体传感器的互补金属氧化物半导体(CMOS)红外光源。它以非等间隔的蛇形钨(W)薄膜电阻作为加热丝,以二氧化硅(SiO_(2))和氮化硅(Si_(3)N_(4))... 基于红外气体传感器微型化、低成本和低功耗的发展需要,设计了一种用于非色散红外(NDIR)集成气体传感器的互补金属氧化物半导体(CMOS)红外光源。它以非等间隔的蛇形钨(W)薄膜电阻作为加热丝,以二氧化硅(SiO_(2))和氮化硅(Si_(3)N_(4))多层复合介质薄膜为支撑形成悬空膜片式微热板,以氧化铜(CuO)和二氧化锰(MnO_(2))纳米材料复合薄膜作为辐射增强层。基于COMSOL软件进行了热电耦合仿真,证明结构设计合理性。采用标准CMOS工艺、硅(Si)的深刻蚀工艺以及静电流体动力学打印技术流片制造了该CMOS红外光源芯片。性能测试结果表明:该红外光源从室温升温至469℃的热响应时间约为41 ms,电功耗仅为138 mW,辐射区温度分布均匀,引入辐射增强层使表面比辐射率提高约35%,红外光源的辐射功率和红外光谱辐射强度测试结果表明:该涂层有效地增强了红外辐射。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体红外光源 非色散红外集成气体传感器 辐射增强层 钨丝微热板
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基于NDIR原理的便携式CO_2浓度检测仪 被引量:8
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作者 李小伟 桑志锋 +2 位作者 庄汝科 车晓波 马建辉 《山东科学》 CAS 2009年第3期50-52,68,共4页
介绍了一种基于NDIR原理的便携式CO2浓度检测仪的总体设计,该检测仪使用新型的红外传感器替代原有的电化学传感器,并采用先进的神经网络算法克服了压力对CO2浓度检测的影响,建立起非线性压力补偿模型,在后期的实验测试中结合大量测试数... 介绍了一种基于NDIR原理的便携式CO2浓度检测仪的总体设计,该检测仪使用新型的红外传感器替代原有的电化学传感器,并采用先进的神经网络算法克服了压力对CO2浓度检测的影响,建立起非线性压力补偿模型,在后期的实验测试中结合大量测试数据验证了该检测仪在测量精度、范围等方面的优势。 展开更多
关键词 ndir 便携式 红外传感器
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电调制非分光红外(NDIR)气体传感器 被引量:47
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作者 熊友辉 蒋泰毅 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第11期4-5,9,共3页
介绍一种采用电调制红外光源的新型非分光红外气体传感器。该传感器通过采用电调制红外光源,节省了传统方法中的机械调制部件;同时采用高精度干涉滤光片一体化热释电红外传感器及单光束双波长技术,配合易拆卸的镀金气室及ADuC812数据采... 介绍一种采用电调制红外光源的新型非分光红外气体传感器。该传感器通过采用电调制红外光源,节省了传统方法中的机械调制部件;同时采用高精度干涉滤光片一体化热释电红外传感器及单光束双波长技术,配合易拆卸的镀金气室及ADuC812数据采集系统,可以实现SO2、NO、CO2、CO、CH4等气体的实时测量。 展开更多
关键词 气体传感器 红外光源 ndir 电调制 ADUC812
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便携式NDIR烟气分析仪在烧结炉CEMS二氧化硫比对测试中的应用研究 被引量:14
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作者 陆立群 宋钊 +1 位作者 张晖 宋梦洁 《环境科学与管理》 CAS 2013年第6期172-176,共5页
采用微流传感器的便携式非分散红外(NDIR)烟气分析仪具有测量精度高,运行稳定,抗干扰能力强,使用寿命长等优点,目前应用广泛。参考HJ/T 46-1999《定电位电解法二氧化硫测定仪技术条件》要求,对便携式非分散红外(NDIR)烟气分析仪进行实... 采用微流传感器的便携式非分散红外(NDIR)烟气分析仪具有测量精度高,运行稳定,抗干扰能力强,使用寿命长等优点,目前应用广泛。参考HJ/T 46-1999《定电位电解法二氧化硫测定仪技术条件》要求,对便携式非分散红外(NDIR)烟气分析仪进行实验室性能测试,结果显示各项技术指标均符合标准要求。在钢铁烧结炉排放烟气含湿量与CO浓度较高的环境下,便携式非分散红外(NDIR)烟气分析仪与定电位电解法分析仪进行现场比对,结果显示该方法可以更加有效地去除H2O等各项干扰,适用于手工比对测试。 展开更多
关键词 便携式非分散红外烟气分析仪 烧结炉 二氧化硫 CEMS
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基于非分散红外(NDIR)原理的便携式瓦斯检测仪 被引量:5
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作者 李小伟 马海燕 +1 位作者 孙宗罡 成巍 《山东科学》 CAS 2008年第1期66-68,共3页
介绍了一种基于非分散红外(NDIR)原理的便携式瓦斯检测仪的总体设计,该检测仪使用进口红外传感器,以新型电调制光源代替机械调制光源,实现了对煤矿井下瓦斯浓度的实时测量、液晶显示和超限声光报警等功能,最后给出该检测仪在甲烷... 介绍了一种基于非分散红外(NDIR)原理的便携式瓦斯检测仪的总体设计,该检测仪使用进口红外传感器,以新型电调制光源代替机械调制光源,实现了对煤矿井下瓦斯浓度的实时测量、液晶显示和超限声光报警等功能,最后给出该检测仪在甲烷体积分数为0~10%的测量结果,验证了该检测仪在测量精度、范围等方面的优势。 展开更多
关键词 ndir 便携式 红外传感器
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基于NDIR的塑料薄膜厚度在线检测系统 被引量:2
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作者 高振斌 苗永昌 赵洋 《现代电子技术》 北大核心 2016年第11期108-112,共5页
为了快速、精确的在线测量塑料薄膜厚度,提出了一种基于NDIR的塑料薄膜厚度在线检测技术,此技术改进了现代近红外测厚方法中常采用的双单色红外光对比法,使用单光源简化了双光源调制的难度,优化了由于双光源照射薄膜不同位置带来的准确... 为了快速、精确的在线测量塑料薄膜厚度,提出了一种基于NDIR的塑料薄膜厚度在线检测技术,此技术改进了现代近红外测厚方法中常采用的双单色红外光对比法,使用单光源简化了双光源调制的难度,优化了由于双光源照射薄膜不同位置带来的准确性问题。应用上述技术设计实现了此检测系统,此系统应用NDIR相关技术,将现代数字信号处理方法用于数据处理过程中。通过实验方式得到测量结果,并对测量结果进行了数据分析和误差统计,实验结果表明,此系统具有精度高,稳定性可靠等优点,值得推广。 展开更多
关键词 塑料薄膜 厚度检测技术 红外测厚方法 ndir 在线测量
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基于非分散红外_NDIR_原理的便携式瓦斯检测仪 被引量:2
7
作者 张勇 《煤矿机械》 北大核心 2012年第10期173-174,共2页
对一种新型红外气体传感器的设计进行了介绍,这种传感器的设计特点在于它通过NDIR红外气体分析仪进行电调制红外光源监测,从而实现有效的瓦斯浓度实时检测,并能液晶显示与浓度报警,可以用于煤矿井下作业安全监测辅助工具。
关键词 ndir 红外传感器 瓦斯浓度
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基于热释电器件的NDIR分析仪传感系统设计 被引量:2
8
作者 刘娇月 杨聚庆 《化工中间体》 2009年第6期66-68,共3页
针对汽车排放污染检测要求,分析了NDIR分析仪的检测原理,设计了基于热释电器件的NDIR分析仪传感系统。对红外传感器件进行了选择和等效电路分析,进行了传感系统总体设计。该系统精度和灵敏度高,响应速度快,测量范围宽,选择性、稳定性和... 针对汽车排放污染检测要求,分析了NDIR分析仪的检测原理,设计了基于热释电器件的NDIR分析仪传感系统。对红外传感器件进行了选择和等效电路分析,进行了传感系统总体设计。该系统精度和灵敏度高,响应速度快,测量范围宽,选择性、稳定性和可靠性好,可以实现快速和在线连续式检测,能较好地满足各种用户的需要。 展开更多
关键词 热释电器件 ndir分析仪 传感系统
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智能光谱气体检测技术赋能石化工业安全低碳高端发展
9
作者 林融 《自动化仪表》 CAS 2024年第4期1-8,13,共9页
石化工业安全和环保生产形势与监管法规对智能光谱气体泄漏检测技术的应用需求强烈。首先,对比归纳了传统气体检测技术与光谱气体检测技术的优缺点。其次,介绍了国内外智能光谱气体检测技术现状,并着重剖析了在国内石化工业已获得局部... 石化工业安全和环保生产形势与监管法规对智能光谱气体泄漏检测技术的应用需求强烈。首先,对比归纳了传统气体检测技术与光谱气体检测技术的优缺点。其次,介绍了国内外智能光谱气体检测技术现状,并着重剖析了在国内石化工业已获得局部成功应用的红外热成像仪、多频红外气体检测成像仪、傅立叶变换红外气体检测仪、激光雷达气体检测成像仪和智能巡检机器人等基于智能光谱气体检测技术装备的检测原理、技术特点及适用范围。第三,分析了智能光谱气体检测技术在石油化工典型场景的应用案例。最后,对我国智能光谱气体检测技术的发展思路提出了建设性意见,并给出了“加速推进智能光谱气体检测技术的研发及推广应用能够为石化工业安全低碳高端发展赋能”的结论。 展开更多
关键词 石化工业 智能光谱 气体检测 微机电系统 朗伯-比尔定律 非色散红外光谱 傅立叶变换红外光谱 光致电离
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基于决策树算法办公室内空气质量评估方法
10
作者 厉明 张立博 刘广东 《电气自动化》 2024年第3期93-96,共4页
针对办公室内长期空气不流通、大气污染严重的情况,设计了基于决策树算法的办公室内空气质量评估算法。应用非线性红外NDIR空气浓度分析技术,分析不同气体的光谱波长,有效地评估空气中各气体的浓度;采用基于决策树算法的CART算法,针对... 针对办公室内长期空气不流通、大气污染严重的情况,设计了基于决策树算法的办公室内空气质量评估算法。应用非线性红外NDIR空气浓度分析技术,分析不同气体的光谱波长,有效地评估空气中各气体的浓度;采用基于决策树算法的CART算法,针对数据中基尼值的不同,构建最优分类树和回归树,实现对气体数据的分类和预测;最后采用生物酶包裹降解技术有效快速地降解空气中的污染物,实现室内空气的安全健康。经过试验验证,设计的空气质量评估算法具备绿色环保、高能效和短周期等优点,对空气中污染物综合治理率高达98%。 展开更多
关键词 室内空气质量 决策树算法 基尼值 ndir红外技术 CART算法 生物酶技术
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NDIR气体测控系统中关键问题的分析与设计
11
作者 肖辽亮 《电子设计工程》 2015年第22期67-69,73,共4页
高速动车对安全要求越来越高,文章介绍一种电调制非分光红外传感器构成的新型气体测试仪中关键问题的分析与设计。测试仪中电调制非分光红外传感器采用电调制红外光源,同时采用高精度干涉滤光片以及镀金气室,通过PID算法实现高精度环境... 高速动车对安全要求越来越高,文章介绍一种电调制非分光红外传感器构成的新型气体测试仪中关键问题的分析与设计。测试仪中电调制非分光红外传感器采用电调制红外光源,同时采用高精度干涉滤光片以及镀金气室,通过PID算法实现高精度环境控温,设计选频特性优良、强抗干扰能力的微弱信号处理电路,最终完成SO2、CO、CO2等气体的测试系统。 展开更多
关键词 电调制红外光源 ndir PID算法 微弱信号处理
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基于NDIR原理单光源单光路实现多组分测量的技术开发 被引量:3
12
作者 陈淼 黄政伟 王一 《分析仪器》 CAS 2017年第3期20-25,共6页
为满足以较经济的成本进行多种组分测量分析,对基于NDIR原理工作的测量仪器本研究通过设置不同谱带的滤光技术,解决了单光源单光路条件下多种不同气体对红外吸收谱带问题。此创新设计中的关键内容是红外光源发生装置的改进设计以及光源... 为满足以较经济的成本进行多种组分测量分析,对基于NDIR原理工作的测量仪器本研究通过设置不同谱带的滤光技术,解决了单光源单光路条件下多种不同气体对红外吸收谱带问题。此创新设计中的关键内容是红外光源发生装置的改进设计以及光源调制马达的定位,以解决其润滑挥发组分引起的对红外吸收的扰动;此外,将原固定的单个滤光片重新设计为可轮转的滤光器结构,实现在对红外光线进行调制的同时,展宽了具有针对性的红外吸收谱带,给出了样气中不同组分的红外吸收频段;找到了滤光器精密启动定位运行的新算法和控制技术,相应地也进行了硬件支撑平台的重新设计。 展开更多
关键词 红外光谱 薄膜微音 ndir 滤光器
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基于NDIR技术的油气传感器设计 被引量:3
13
作者 殷亚龙 赵红梅 +2 位作者 汪献忠 盛亚杰 赫树开 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期74-76,80,共4页
针对石油化工行业对测量油气浓度的需要,利用油气挥发成分在3.37μm处的基频吸收带,设计了一种非分光红外(NDIR)油气传感器。基于朗伯比尔定律,采用单光源双波长差分测量技术提出了温度补偿模型,提高了油气传感器的精度。实验结果表明:... 针对石油化工行业对测量油气浓度的需要,利用油气挥发成分在3.37μm处的基频吸收带,设计了一种非分光红外(NDIR)油气传感器。基于朗伯比尔定律,采用单光源双波长差分测量技术提出了温度补偿模型,提高了油气传感器的精度。实验结果表明:传感器可以精确测量油气浓度,具有精度高、稳定性好等优点。 展开更多
关键词 红外吸收光谱 油气传感器 非分光红外技术 差分测量
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基于NDIR方法的机动车排放气体传感器 被引量:2
14
作者 姜炎材 陈红岩 《机电工程》 CAS 2010年第10期77-80,共4页
针对机动车尾气成分检测中存在的各种问题,根据不分光红外(NDIR)方法的基本原理设计了新的测量方案。传感器同时测得了CO、CO2、HC化合物3种气体的浓度,并以数字信号方式通过串行口输出测量结果,避免了传输过程中的干扰,可以很方便地应... 针对机动车尾气成分检测中存在的各种问题,根据不分光红外(NDIR)方法的基本原理设计了新的测量方案。传感器同时测得了CO、CO2、HC化合物3种气体的浓度,并以数字信号方式通过串行口输出测量结果,避免了传输过程中的干扰,可以很方便地应用到具有串口的各种数字处理设备中。用标准气体对传感器进行了实验标定,其结果表明传感器测量精度达到国家标准要求。 展开更多
关键词 不分光红外 气体传感器 机动车尾气检测
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基于非分散红外(NDIR)原理的煤矿CH_4检测仪设计 被引量:3
15
作者 徐丽萍 《煤矿机械》 北大核心 2012年第10期262-263,共2页
非分散红外(NDIR)气体检测技术作为一种先进的气体分析技术逐渐发展起来。因其具有响应时间快、检测精度高、寿命长、性能稳定、检测范围宽和不受检测环境内其他气体干扰等特点,而被广泛应用于煤矿安全监控领域当中。对基于非分散红外(N... 非分散红外(NDIR)气体检测技术作为一种先进的气体分析技术逐渐发展起来。因其具有响应时间快、检测精度高、寿命长、性能稳定、检测范围宽和不受检测环境内其他气体干扰等特点,而被广泛应用于煤矿安全监控领域当中。对基于非分散红外(NDIR)原理的煤矿CH4检测仪设计进行分析,从非分散红外检测的理论基础、硬件结构、监测仪软件设计、试验和结果方面做出系统的论述。 展开更多
关键词 非分散红外原理 CH4检测 ndir技术 设计
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基于NDIR二氧化碳传感器对肿瘤细胞糖代谢速率的研究 被引量:2
16
作者 徐磊 黄钢 +1 位作者 熊征斯 臧启元 《软件》 2018年第8期14-17,共4页
介绍了一种非分光红外(NDIR)CO_2传感器,进行红外检测理论分析、CO_2传感器系统设计及外围电路设计;应用NDIR传感器对HepG2贴壁细胞代谢产生的CO_2浓度进行实时检测,通过相邻时刻的CO_2浓度求差并除以时间差,得到CO_2浓度变化速率。利用... 介绍了一种非分光红外(NDIR)CO_2传感器,进行红外检测理论分析、CO_2传感器系统设计及外围电路设计;应用NDIR传感器对HepG2贴壁细胞代谢产生的CO_2浓度进行实时检测,通过相邻时刻的CO_2浓度求差并除以时间差,得到CO_2浓度变化速率。利用MATLAB软件对CO_2速率散点图拟合,并求拟合曲线导数值为零的点,取该点纵坐标作为该细胞代谢参考速率,最终得到肿瘤细胞糖代谢速率模型。结论:检测四皿细胞浓度比值为1:2:3:4的HepG2细胞,得出其代谢参考速率比值趋同于细胞浓度比值。 展开更多
关键词 ndir红外传感器 二氧化碳检测 糖代谢
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基于NDIR开放光路CO2浓度测量的标定方法研究 被引量:7
17
作者 张珅 王煜 +3 位作者 赵欣 桂华侨 韩春慧 许权 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第3期100-104,117,共6页
针对非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)开放光路CO2/H2O分析仪测量CO2浓度时,压强、气体间交叉干扰和温度对测量结果的影响,介绍了一种修正这些影响的方法,分别分析压强、气体间交叉干扰和温度对CO2吸光度的影响,然后,分别进行... 针对非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)开放光路CO2/H2O分析仪测量CO2浓度时,压强、气体间交叉干扰和温度对测量结果的影响,介绍了一种修正这些影响的方法,分别分析压强、气体间交叉干扰和温度对CO2吸光度的影响,然后,分别进行校准修正,并利用校准后的CO2吸光度与不同浓度CO2标准气体进行多阶拟合,分析比较后,选择最优拟合。校准后的仪器通过测量CO2标准气体,相对误差在0.4%~2.1%之间,稳定度为0.31%。实验结果表明提出的基于NDIR开放光路CO2浓度测量的标定方法是可行的。 展开更多
关键词 非分散红外 校准修正 吸光度 多阶拟合 相对误差 稳定度
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A low-cost in-situ CO_(2) sensor based on a membrane and NDIR for long-term measurement in seawater 被引量:1
18
作者 Meng LI Baolu DU +3 位作者 Jinjia GUO Zhihao ZHANG Zeyu LU Rong’er ZHENG 《Journal of Oceanology and Limnology》 SCIE CAS CSCD 2022年第3期986-998,共13页
The multi-point simultaneous long-term measurement of CO_(2) concentration in seawater can provide more-valuable data for further understanding of the spatial and temporal distribution of CO_(2).Thus,the requirement f... The multi-point simultaneous long-term measurement of CO_(2) concentration in seawater can provide more-valuable data for further understanding of the spatial and temporal distribution of CO_(2).Thus,the requirement for a low-cost sensor with high precision,low power consumption,and a small size is becoming urgent.In this work,an in-situ sensor for CO_(2) detection in seawater,based on a permeable membrane and non-dispersive infrared(NDIR)technology,is developed.The sensor has a small size(Ф66 mm×124 mm),light weight(0.7 kg in air),low power consumption(<0.9 W),low cost(<US$1000),and high-pressure tolerance(<200 m).After laboratory performance tests,the sensor was found to have a measurement range of(0–2000)×10^(-6),and the gas linear correlation R^(2) is 0.99,with a precision of about 0.98%at a sampling rate of 1 s.A comparison measurement was carried out with a commercial sensor in a pool for 7 days,and the results showed a consistent trend.Further,the newly developed sensor was deployed in Qingdao nearshore water for 35 days.The results proved that the sensor could measure the dynamic changes of CO_(2) concentration in seawater continuously,and had the potential to carry out long-term observations on an oceanic platform.It is hoped that the sensor could be applied to field ocean observations in near future. 展开更多
关键词 in-situ sensor dissolved CO_(2) long-term measurement permeable membrane non-dispersive infrared(ndir) LOW-COST
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基于催化氧化-NDIR的挥发性有机物监测技术 被引量:1
19
作者 苏启源 陈浩权 +2 位作者 潘韵婷 林景辉 王晓玲 《中国环保产业》 2019年第3期58-61,共4页
分析了我国挥发性有机物的监测现状及有关检测技术的优缺点,介绍了基于催化氧化-NDIR技术的挥发性有机物监测仪的测量原理和技术优势,通过试验数据和现场应用案例,验证了该项技术的性能指标。
关键词 催化氧化-ndir 挥发性有机物 火焰离子化验检测器 红外吸收光谱
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关于提高便携式NDIR烟气分析仪工作效率的探索
20
作者 仇石 刘光逊 关胜 《天津科技》 2015年第1期25-26,29,共3页
便携式非分散红外烟气分析仪具有测量精度高、稳定性好、使用寿命长等特点,广泛应用于锅炉烟气的测定。针对其存在的可操作性较差、维护保养复杂等问题,以北京雪迪龙科技股份有限公司生产的MODEL3080型便携式烟气分析仪为例,论述了便携... 便携式非分散红外烟气分析仪具有测量精度高、稳定性好、使用寿命长等特点,广泛应用于锅炉烟气的测定。针对其存在的可操作性较差、维护保养复杂等问题,以北京雪迪龙科技股份有限公司生产的MODEL3080型便携式烟气分析仪为例,论述了便携式非分散红外烟气分析仪的工作原理和流程,结合实验室试验和现场测试,提出了提高仪器工作效率的建议。 展开更多
关键词 ndir 烟气监测 SO2 效率
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