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Fiber Bragg Grating Sensor Array System Based on Digital Phase Generated Carrier Demodulation and Reference Compensation Method 被引量:2
1
作者 Jun He Fang Li Hao Xiao Yu-Liang Liu 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2008年第4期389-392,共4页
A novel fiber Bragg grating (FBG) sensor array system based on digital phase generated carrier (PGC) demodulation and reference compensation method is proposed and set up. Experimental results confirm that the dig... A novel fiber Bragg grating (FBG) sensor array system based on digital phase generated carrier (PGC) demodulation and reference compensation method is proposed and set up. Experimental results confirm that the digital PGC demodulation can be used for wavelength-division-multiplexed FBG sensor array and the reference compensation method can reduce the environmental interference by approximately 40 dB in the frequency range from 20 Hz to 2 kHz. The minimum detectable wavelength-shift of the sensor system is 1 × 10^-3 pm/Hz^1/2. 展开更多
关键词 Fiber Bragg grating (FBG) sensor phase generated carrier (PGC) reference compensation method wavelength division multiplexing.
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MEASUREMENT OF 2-DIMENSIONAL DISPLACEMENT USING 2-D ZERO-REFERENCE MARKS 被引量:2
2
作者 WangYingnan ZhouChenggang HuangWenhao 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第2期314-316,共3页
Several 2-D displacement sensing methods are reviewed. As to the crossdiffraction grating, there is no absolute zero-reference. In regards to the optical fiber method,the output signal is affected greatly by the quali... Several 2-D displacement sensing methods are reviewed. As to the crossdiffraction grating, there is no absolute zero-reference. In regards to the optical fiber method,the output signal is affected greatly by the quality of the reflecting surface and it is hard to gethigh resolution. Considering the concentric-circle gratings, the displacement can only be gainedwith complicated calculating of the experiment data. Compared with the advantages and limitations ofthe methods above, a novel 2-D zero-reference mark is especially proposed and demonstrated. Thiskind of mark has an absolute zero-reference when used in pair, and the experimental result is simpleto dispose. By superimposing a pair of specially coded 2-D marks, the correct alignment position ofthe two marks can be detected by the maximum output of the sharp intensity peak. And each slope ofthe peak is of good linearity which can be used to achieve high resolution in positioning andalignment in two dimensions. Design and fabrication of such 2-D zero-reference marks are introducedin detail. The experiment results are agreed with the theoretical ones. 展开更多
关键词 Cross diffraction grating Optical displacement sensor Concentric-circlegratings 2-D zero-reference marks Nano-positioning
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基于光纤光栅传感器温度补偿的低温应变测量方法研究 被引量:5
3
作者 王雅莉 徒芸 +4 位作者 涂善东 于新海 郭永宁 任利杰 陈时健 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第6期26-33,共8页
针对低温结构应变难以精确可靠测量的问题,采用两端粘贴工艺制备了耐低温胶封装FBG应变传感器并通过低温单轴拉伸试验研究了其应变响应特性,理论推导了考虑光纤热光系数的温度补偿算法并通过低温温度响应试验分析了其准确性,最后应用于... 针对低温结构应变难以精确可靠测量的问题,采用两端粘贴工艺制备了耐低温胶封装FBG应变传感器并通过低温单轴拉伸试验研究了其应变响应特性,理论推导了考虑光纤热光系数的温度补偿算法并通过低温温度响应试验分析了其准确性,最后应用于LNG球阀球体低温应变测量。封装工艺不改变FBG反射光谱形状,低温下传感器呈良好线性、重复性和稳定性,温度补偿算法有效提高了温度变化引起的应变测量精度,实现了低至液氮温区的球体应变监测。研究表明,耐低温胶封装FBG应变传感器结合考虑热光系数的温度补偿算法为LNG球阀等低温结构的应变测量提供了一种有效方法。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 温度补偿 参考光栅 胶封装 应变测量 低温 LNG球阀
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光栅码盘零位图案的CAD设计 被引量:6
4
作者 罗长洲 高立民 +3 位作者 胡晓东 达争尚 陈良益 温利 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1281-1283,共3页
根据增量式光学编码器对绝对零位信号的要求 ,建立了绝对零位光栅图案的数学模型 ,系统地提出了绝对零位光栅图案的设计理论 ,编制了计算机辅助设计程序 ,设计出用于工程的零位图案 。
关键词 光栅码盘 零位图案 CAD 设计 计量光栅 光学编码器 绝对零位信号 数学模型
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基于参考光栅的光纤光栅应变测量温度补偿 被引量:12
5
作者 胡辽林 张卫超 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2014年第11期39-41,45,共4页
光纤光栅传感器能够进行温度、应变或其他诸多参量的测量,已经在一些大型建筑结构中广泛应用。实际测量时,温度和应变是同时存在的,无法分辨出应变和温度各自引起的波长变化,必须采取措施进行补偿或区分。设计了一种光纤光栅应变测量系... 光纤光栅传感器能够进行温度、应变或其他诸多参量的测量,已经在一些大型建筑结构中广泛应用。实际测量时,温度和应变是同时存在的,无法分辨出应变和温度各自引起的波长变化,必须采取措施进行补偿或区分。设计了一种光纤光栅应变测量系统的温度补偿方案,该方案使用一个与测量光栅的温度特性相同的光纤光栅作为参考光栅,参考光栅只感受温度的变化,不受应变的影响。实验结果表明,补偿后基本消除由于温度变化引起的测量误差,测量结果的线性拟合度达0.998。 展开更多
关键词 光纤光栅 应变测量 参考光栅 温度补偿
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基于Bragg光纤光栅传感器的监测系统设计 被引量:6
6
作者 董天奇 魏达 +2 位作者 雷宇 何焰蓝 胡小景 《物理实验》 北大核心 2010年第2期22-26,共5页
设计了基于Bragg光纤光栅传感技术的监测系统,当光纤光栅所处环境的温度、应力、应变或其他物理量发生变化时,光栅的周期或纤芯折射率将发生变化,从而使反射光的波长发生变化,通过测量反射光中心波长的变化,就可以获得待测物理量的变化... 设计了基于Bragg光纤光栅传感技术的监测系统,当光纤光栅所处环境的温度、应力、应变或其他物理量发生变化时,光栅的周期或纤芯折射率将发生变化,从而使反射光的波长发生变化,通过测量反射光中心波长的变化,就可以获得待测物理量的变化情况.该系统利用薄膜滤波器完成对外界的分布式测量,采用光强度检测,能够实现无缝监测. 展开更多
关键词 BRAGG光纤光栅 参考光栅 结构监测
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基于二维零位光栅的高精度平面定位系统 被引量:5
7
作者 周成刚 叶锡标 +1 位作者 张阳 黄文浩 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2006年第3期190-194,共5页
随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展,对超高精度的定位基准的要求也越来越高.提出一种基于特殊编码的非周期性二维零位光栅的平面定位传感器,采用在二维方向上的非周期性鳊码产生一个表征鲍对零位的最大输出峰.当两块二维零位光... 随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展,对超高精度的定位基准的要求也越来越高.提出一种基于特殊编码的非周期性二维零位光栅的平面定位传感器,采用在二维方向上的非周期性鳊码产生一个表征鲍对零位的最大输出峰.当两块二维零位光栅的相互位置完全对准时,透过的光强达到峰值,峰值的半宽仅为一个光栅栅格尺寸:当两块二维零位光栅的相互位置稍有移动时,透过光强急剧衰减.用光电接受器件接受透射光强信号,经过电路处理,反馈给定位驱动装置,可以在平面内同时实现x和y方向高精度的定位要求.采用栅格常数为5μm的光栅做实验,可以达到优于20nm的定位精度.实验表明,该平面定位系统可以满足高精度平面定位的要求,有着广泛的应用空间. 展开更多
关键词 二维零位光栅 平面定位 精密计量 位置编码器
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数控机床参考点回归的方式综述及其常见故障诊断 被引量:2
8
作者 黄登红 李建跃 曾韬 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第8期125-127,共3页
在广泛调研的基础上 ,对当前数控机床常见的参考点回归方式进行阐述和归纳 ,并结合实例对机床回参考点过程中各种形式的故障进行分析、诊断及总结。
关键词 数控机床 参考点 回归方式 综述 故障诊断
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三维形貌检测的自动参考栅象法研究 被引量:6
9
作者 徐建强 王蕴珊 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第6期553-557,共5页
本文提出了一种用于曲面形貌检测的傅里叶变换法中的参考栅象图的自动产生及误差修正方法,通过对实际测量图象的处理,证明该方法具有很好的使用效果。
关键词 傅里叶变换 三维 形貌测量 栅象法
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二维零位光栅自动纳米定位系统 被引量:2
10
作者 李家文 陈宇航 +3 位作者 胡衍雷 劳召欣 褚家如 黄文浩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2444-2450,共7页
搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能.在此基... 搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能.在此基础上搭建了基于二维零位光栅的纳米定位系统,并利用积分法实现了二维方向的自动定位.实验结果表明,系统定位速度对透射光强分布具有很高的依赖性,系统一次定位的成功率与初始位置密切相关.若起始位置在以零位为中心,半径为2.5 μm圆形区域内,系统可实现纳米量级定位对准;当起始位置在以零位为中心,5~200 μm为半径的圆环范围内,自动定位可能存在盲点,但通过改变初始位置重新进行搜索,仍然能够准确地实现纳米定位. 展开更多
关键词 二维零位光栅 自动对准 定位算法 电路噪声 精度分析
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反射式光电编码器 被引量:10
11
作者 王显军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3066-3071,共6页
研制了反射式光电编码器。介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器。该编码器采用多参考点编码方式,加快和简化了确定基准零点的操作,... 研制了反射式光电编码器。介绍了光栅自成像原理,完善了高密度基准光栅的制作工艺,研制完成了32768刻线对光栅和高集成度光电读数头,最后制成了反射式高精度光电编码器。该编码器采用多参考点编码方式,加快和简化了确定基准零点的操作,初始化转动最大5.625°即可确定基准零点。采用自准直光管和23面棱体检测了编码器的测角精度,其单边读数头均方根误差为1.11″,对径双读数头均方根误差为0.75″;反射式读数使光栅与读数头间隙提高10倍达到2.0mm。结果表明,研制成功的高精度反射式光电编码器结构简单,反射式读数头光电信号质量较高。该编码器为高精度测角应用提供了一种新的解决方案。 展开更多
关键词 高精度编码器 反射式编码器 光栅自成像 高密度基准光栅
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基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术 被引量:3
12
作者 叶锡标 周成刚 +1 位作者 张阳 黄文浩 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期264-267,共4页
在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片... 在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片对准技术,应用于光刻机中可获得优于20 nm的定位对准精度. 展开更多
关键词 透反式二维零位光栅 光刻对准技术 光强信号对比度 对准精度
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基于串联参考光纤光栅法实现应变(应力)测量的温度修正 被引量:1
13
作者 曾喜娟 吴志华 庄其仁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第4期93-95,共3页
采用串联参考光纤光栅法,根据交叉敏感产生机理,理论分析和实验验证了光栅周期接近但不相等、其它结构参数和性能基本相同的2个FBG传感器对应变(拉应力)的响应特性,在温度变化范围为30-45℃范围内,测试了拉应力和温度同时作用引起的... 采用串联参考光纤光栅法,根据交叉敏感产生机理,理论分析和实验验证了光栅周期接近但不相等、其它结构参数和性能基本相同的2个FBG传感器对应变(拉应力)的响应特性,在温度变化范围为30-45℃范围内,测试了拉应力和温度同时作用引起的布拉格波长移动量,当采用修正公式扣除温度影响时,结果证明可以完全消除温度的影响,提高了应变(拉应力)的测量精度,测量相对误差可达0.001%。 展开更多
关键词 光纤传感 交叉敏感 串联参考光纤光栅法
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区域参考光栅法用于潜水器结构监测的温度补偿研究 被引量:1
14
作者 吴晶 吴晗平 +2 位作者 黄俊斌 顾宏灿 唐波 《海军工程大学学报》 CAS 北大核心 2015年第6期68-72,98,共6页
针对潜水器结构健康检测系统中光纤光栅应变传感器的应变与温度的交叉敏感问题,提出了一种区域参考光栅温度补偿法。首先,理论分析了光纤光栅的应变与温度交叉敏感机理,并给出了区域参考光栅法模型;然后,针对潜水器结构特点给出选用传... 针对潜水器结构健康检测系统中光纤光栅应变传感器的应变与温度的交叉敏感问题,提出了一种区域参考光栅温度补偿法。首先,理论分析了光纤光栅的应变与温度交叉敏感机理,并给出了区域参考光栅法模型;然后,针对潜水器结构特点给出选用传感器结构,并用标准计量设备标定其灵敏度系数,同时用统计法实测出结构中各测点的热膨胀灵敏度系数;最后,设计了一套63单元的监测系统,并布设于潜水器结构上,结合潜水器的一次水下作业进行温度补偿试验。结果表明:经过温度补偿后,各应变传感器的测量值与深度具有严格的线性关系,线性度大于0.98;水深为0时,测量值在0点附近很小范围内波动,说明温度补偿效果较好,能有效解决潜水器结构健康监测系统中的应变与温度交叉敏感问题。 展开更多
关键词 结构健康监测系统 光纤光栅传感器 交叉敏感 区域参考光栅法
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基于桥梁结构的FBG传感器温度与应变交叉敏感问题的研究 被引量:9
15
作者 刘凤超 冯进良 +3 位作者 王洋 韩玖会 陈可 吴震 《光学仪器》 2017年第1期26-30,共5页
对光纤布拉格光栅(FBG)传感器在桥梁结构健康监测中产生的温度与应变交叉敏感问题进行了研究。采用参考光纤光栅法在应变传感光纤光栅附近额外加入一个温度测量光纤光栅,对应变光栅实现温度补偿功能。设计了基于参考光纤光栅法的FBG传... 对光纤布拉格光栅(FBG)传感器在桥梁结构健康监测中产生的温度与应变交叉敏感问题进行了研究。采用参考光纤光栅法在应变传感光纤光栅附近额外加入一个温度测量光纤光栅,对应变光栅实现温度补偿功能。设计了基于参考光纤光栅法的FBG传感器及FBG传感器封装的机械结构,并通过实验来验证FBG传感器的性能。实验数据表明,温度传感光纤光栅几乎不受应变的影响,应变传感光栅的中心波长变化与温度变化呈一阶线性关系,修正后的测量结果更加精确,达到了双参数同时测量的目的,应变与布拉格波长的线性关系非常好,相关系数达到0.99以上。参考光纤光栅法能够很好地解决FBG传感器温度与应变交叉敏感的问题。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅(FBG) 应变与温度 交叉敏感 参考光纤光栅法
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用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计 被引量:1
16
作者 黄强先 袁丹 尤焕杰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期531-536,共6页
利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米... 利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级。该不确定度分析表明,对于纳米量级测量,不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器、测量过程中各种测量不确定因素的影响,还需要考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。 展开更多
关键词 一维基准栅 计量型原子力显微镜 纳米计量 不确定估计
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一种新颖的三维零位标记
17
作者 周成刚 叶锡标 +1 位作者 张阳 黄文浩 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期758-761,共4页
提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只... 提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只能进行一维或二维平面定位而不能实现在三维坐标系上进行绝对定位的缺点.这种三维零位标记系统简单,可以实现纳米级精度的三维绝对零位. 展开更多
关键词 三维零位 平面光栅 精密计量 位置传感器
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一种简单的二维零位光栅编码新方法
18
作者 周成刚 叶锡标 +1 位作者 张阳 黄文浩 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期126-129,共4页
二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难。本文结合全局优化的DIRECT算法和遗传算法等优化算法,提出一种首先采用优化算法设计较为易于得到的一维零位光栅编码... 二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难。本文结合全局优化的DIRECT算法和遗传算法等优化算法,提出一种首先采用优化算法设计较为易于得到的一维零位光栅编码,然后通过简单的矢量运算扩展为二维零位光栅的编码方法。通过验证,利用该方法所设计的二维零位光栅编码能在满足零位信号对比度与优化设计的一维零位光栅编码相同的前提下有效降低二维零位光栅编码设计的计算量。 展开更多
关键词 二维零位光栅 精密计量 编码设计
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自参考像面全息图
19
作者 王应宗 杜艳丽 霍义萍 《徐州师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第1期23-25,共3页
提出了一种新的全息记录方法,记录系统是同轴全息系统,而重现结果体现了离轴全息图的特性.该记录系统仅需一束激光,记录过程不需特定的防震装置.参考光来自物光本身,用透镜将物体成像在记录干板平面,因此称之为自参考像面全息图.利用该... 提出了一种新的全息记录方法,记录系统是同轴全息系统,而重现结果体现了离轴全息图的特性.该记录系统仅需一束激光,记录过程不需特定的防震装置.参考光来自物光本身,用透镜将物体成像在记录干板平面,因此称之为自参考像面全息图.利用该方法可以重构清晰的三维立体像,而且可利用非相干光记录和再现.本文给出了理论分析、实验参数和实验结果. 展开更多
关键词 全息图 全息光栅 像面全息图 自参考
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基于RexcanⅢ扫描仪的空调遥控器外形数据测量研究 被引量:2
20
作者 刘锋 陶来华 《浙江水利水电学院学报》 2014年第2期70-74,共5页
RexcanⅢ流动式光学扫描仪基于光栅原理,利用系统标定和参考标志点来实现多幅图像的拼合对齐,是逆向工程领域中一种先进的非接触式光学扫描设备,能快速获取高质量电子产品空调遥控器外形三维点云数据,测量易于实现且测量范围大,测量速度... RexcanⅢ流动式光学扫描仪基于光栅原理,利用系统标定和参考标志点来实现多幅图像的拼合对齐,是逆向工程领域中一种先进的非接触式光学扫描设备,能快速获取高质量电子产品空调遥控器外形三维点云数据,测量易于实现且测量范围大,测量速度快,测量点云数据质量好,更有利于下游数据建模与检测等应用. 展开更多
关键词 RexcanⅢ 逆向工程 结构光 投影光栅 参考点 点云测量 点云处理
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