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题名微机械开放式z轴射流陀螺敏感机理的研究
被引量:1
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作者
朴林华
朴然
常兴远
胡永辉
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机构
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室
北京工业大学信息学部
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期19-23,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60772012)
北京市自然科学基金重点项目&北京市教委科技计划重点基金资助项目(KZ201511232034)
+2 种基金
北京市重点实验室开放课题资助项目
北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目
现代测控技术教育部重点实验室资助项目
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文摘
揭示了一种基于开放式气流通道的微机械z轴射流陀螺的敏感机理。采用基于流固耦合的三维瞬态有限元分析法,计算了敏感元件内部气流场,并给出了数学模型。计算和测试结果表明:敏感元件内有一开放式的气流通道,分别设置两个入口和一个出口,气流在压电泵的驱动下,由两个入口进入并汇聚,由喷口喷出的气流在射流敏感室形成射流敏感体并从出口流出。在静止条件下,射流敏感体相对热线r1和r2对称分布,作为电桥两个臂的热线r1和r2之间的速度梯度βx=0,电桥平衡,输出电压为0;有角速度输入时,射流敏感体在哥氏力的作用下沿着z轴发生偏转,射流敏感体相对热线r1和r2不再对称分布,βx随着角速度的增加而加大,在其他材料和结果参数不变的情况下,由于射流敏感体与热线r1和r2不对称的热量交换,热线r1和r2的电阻发生不对称的改变,导致电桥失去平衡,电桥输出与输入角速度成正比的不平衡电压。在±120(°)/s的输入范围内,陀螺灵敏度为2.0μV/[(°)·s-1],非线性度优于0.5%,功耗为5.2mW,热线电阻为3Ω,热线电阻温度系数为2 600℃-1。这种微机械开放式z轴陀螺敏感元件内气流由开放的入口和出口之间形成定向流动,无需气流在敏感元件内循环,敏感元件结构简单。
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关键词
角速度
开放式气流通道
射流陀螺
敏感机理
灵敏度
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Keywords
angular velocity
open airflow channel
fluidic gyroscope
sensitive mechanism
sensitivity
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分类号
TN37
[电子电信—物理电子学]
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题名微机械开放式射流陀螺的敏感原理和数值仿真
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作者
朴林华
朴然
常兴远
胡永辉
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机构
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室
北京工业大学信息学部
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第10期1483-1487,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(60772012)
北京市自然科学基金重点项目
+3 种基金
北京市教委科技计划重点项目(KZ201511232034)
北京市重点实验室开放课题项目
北京市新世纪百千万人才工程培养项目
现代测控技术教育部重点实验室项目
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文摘
提出了一种基于开放式气流通道的微机械射流陀螺的设计、敏感原理和数值仿真。敏感元件内部气流的运动采用基于流固耦合的三维瞬态数值分析计算,计算和测试结果表明:(1)气流在压电泵的驱动下,由开放式气流通道的两个入口进入并汇聚,由喷口喷出并在射流敏感室形成射流敏感体,在入口和出口之间形成定向流动。(2)射流敏感体在哥氏力的作用下发生偏转,与作为电桥臂的热线发生热量交换,导致电桥输出与输入角速度成正比的不平衡电压。(3)陀螺灵敏度为SFZ=2.0μV/°/s,非线性度优于0.5%。
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关键词
射流陀螺
开放式气流通道
MEMS
角速度
热线
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Keywords
fluidic gyroscope
open airflow channel
mems
angular velocity
hotwire
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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