大数值孔径极紫外光刻物镜设计

设计了一种大数值孔径、高分辨率的环形视场极紫外光刻物镜。以环形视场两镜系统的设计理论为基础,推导了相关参数的计算公式;并由此推广到六反射镜系统。该系统采用六枚非球面反射镜,利用环形视场避开普通反射系统的中心遮拦,并通过对分辨率的计算,实现了NA=0.3的大数值孔径。各视场的残余波像差的均方根半径RMS均小于0.02λ,相对畸变小于1%,在线视场220 mm处的传递函数达到衍射极限,可实现22 nm及以下节点的光刻技术。