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N-Al共掺ZnO薄膜的p型传导特性 被引量:11
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作者 吕建国 叶志镇 +3 位作者 诸葛飞 曾昱嘉 赵炳辉 朱丽萍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期730-734,共5页
利用直流反应磁控溅射技术制得N Al共掺的p型ZnO薄膜,N2O为生长气氛.利用X射线衍射(XRD),Hall实验,X射线光电子能谱(XPS)和光学透射谱对共掺ZnO薄膜的性能进行研究.结果表明,薄膜中Al的存在显著提高了N的掺杂量,N以N Al键的形式存在.N A... 利用直流反应磁控溅射技术制得N Al共掺的p型ZnO薄膜,N2O为生长气氛.利用X射线衍射(XRD),Hall实验,X射线光电子能谱(XPS)和光学透射谱对共掺ZnO薄膜的性能进行研究.结果表明,薄膜中Al的存在显著提高了N的掺杂量,N以N Al键的形式存在.N Al共掺ZnO薄膜具有优良的p型传导特性.当Al含量为0.15wt%时,共掺ZnO薄膜的电学性能取得最优值,载流子浓度为2.52×1017cm-3,电阻率为57.3Ω·cm,Hall迁移率为0.43cm2/(V·s).N Al共掺p型ZnO薄膜具有高度c轴取向,在可见光区域透射率高达90%. 展开更多
关键词 N—Al共掺ZnO薄膜 p型传导 N2O生长气氛 直流反应磁控溅射
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ZnO电子结构和p型传导特性的第一性原理研究 被引量:29
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作者 张金奎 邓胜华 +1 位作者 金慧 刘悦林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期5371-5375,共5页
基于密度泛函理论(DFT)框架下的第一性原理平面波超软赝势方法(USPP),对不同掺杂情况的ZnO晶体几何结构分别进行了优化计算,从理论上给出了ZnO的晶胞参数,得到了ZnO的总体态密度(TDOS)和氮原子2p态的分波态密度(PDOS).计算结果表明:原... 基于密度泛函理论(DFT)框架下的第一性原理平面波超软赝势方法(USPP),对不同掺杂情况的ZnO晶体几何结构分别进行了优化计算,从理论上给出了ZnO的晶胞参数,得到了ZnO的总体态密度(TDOS)和氮原子2p态的分波态密度(PDOS).计算结果表明:原胞体积随着掺杂比例的提高而逐渐减小;将氮铝按照2∶1的原子比例共掺可以使氮的掺杂浓度比只掺杂氮时明显提高,且随着铝在锌靶中掺入比例的增加,载流子迁移率提高,浓度增大,使得p型ZnO电导率提高,传导特性增强. 展开更多
关键词 共掺 p型传导 态密度 第一性原理 氧化锌 电子结构 密度泛函理论 宽禁带半导体材料
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超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜 被引量:4
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作者 郑春蕊 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2011年第4期24-26,共3页
采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋酸锌水溶液[Zn(CH3COO)2·2H2O]、醋酸铵(CH3COONH4)和硝酸铝[Al(NO3)3·9H2O]的混合溶液为前驱体生成了N-Al共掺p型氧化锌薄膜。考察了前驱体溶液浓度、载气流速、热解温度对实验结果的... 采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋酸锌水溶液[Zn(CH3COO)2·2H2O]、醋酸铵(CH3COONH4)和硝酸铝[Al(NO3)3·9H2O]的混合溶液为前驱体生成了N-Al共掺p型氧化锌薄膜。考察了前驱体溶液浓度、载气流速、热解温度对实验结果的影响。用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的氧化锌薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的(002)择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,结果表明制备的薄膜为p型氧化锌薄膜,薄膜的光致发光明显具有氧化锌薄膜的特点。 展开更多
关键词 ZNO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺 光致发光
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超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究
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作者 郑春蕊 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2010年第1期53-55,70,共4页
采用超声喷雾热分解法,室温下在玻璃衬底上沉积了N-Al共掺杂的p型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的... 采用超声喷雾热分解法,室温下在玻璃衬底上沉积了N-Al共掺杂的p型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的(002)择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,并对薄膜的光致发光性能进行了研究。 展开更多
关键词 ZNO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺 光致发光
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玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备 被引量:4
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作者 范红兵 张晓丹 +4 位作者 赵颖 孙建 魏长春 王锐 张存善 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1332-1336,共5页
本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-A l共掺的p型ZnO薄膜.研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响.X射线衍射的结果显示:共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性。霍耳测试结果表明:随着A l原子掺入量的逐渐增加,制备... 本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-A l共掺的p型ZnO薄膜.研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响.X射线衍射的结果显示:共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性。霍耳测试结果表明:随着A l原子掺入量的逐渐增加,制备ZnO的类型逐渐由n型转换成p型,进一步提高后又转换成n型,文中对其中的原因进行了讨论。在普通玻璃衬底上制备出了空穴浓度达到4.6×1018cm-3,同时迁移率和电阻率分别为0.4 cm2.V-1.-s1、3.3Ω.cm的p型ZnO薄膜。 展开更多
关键词 ZNO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺
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p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响 被引量:3
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作者 范红兵 张晓丹 +4 位作者 赵颖 孙建 魏长春 谷士彬 张存善 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期739-742,共4页
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和... 本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。 展开更多
关键词 ZNO p型传导 超声喷雾热分解 衬底温度
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