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PLD制备CuAlO_2薄膜的结构与性能研究
被引量:
5
1
作者
邹友生
汪海鹏
+1 位作者
张亦弛
嘉蓉
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第9期925-930,共6页
通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材。采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜,为进一提高CuAlO2薄膜性能,对样品进行了退火处理。通过x射线衍射、扫描电镜、紫外.可见光分光光度计和...
通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材。采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜,为进一提高CuAlO2薄膜性能,对样品进行了退火处理。通过x射线衍射、扫描电镜、紫外.可见光分光光度计和霍尔效应检测仪对样品进行表征,研究了退火条件对薄膜结构、形貌、光学性能和电学性能的影响,并获得了最佳退火工艺参数:退火气氛为一个大气压下的氩气气氛,退火温度1000℃,退火时间30min。在最佳退火条件下,经过退火处理后的CuAl02薄膜在可见光下的光学透过率达70%-80%,带隙宽度3.5eV,电阻率16.67Ω·cm。
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关键词
p型导电氧化物
cualo
2
薄膜
脉冲激光沉积
退火处理
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职称材料
题名
PLD制备CuAlO_2薄膜的结构与性能研究
被引量:
5
1
作者
邹友生
汪海鹏
张亦弛
嘉蓉
机构
南京理工大学材料科学与工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第9期925-930,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51002078)
中央高校基本科研业务费专项资金资助(30920130111019)
文摘
通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材。采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜,为进一提高CuAlO2薄膜性能,对样品进行了退火处理。通过x射线衍射、扫描电镜、紫外.可见光分光光度计和霍尔效应检测仪对样品进行表征,研究了退火条件对薄膜结构、形貌、光学性能和电学性能的影响,并获得了最佳退火工艺参数:退火气氛为一个大气压下的氩气气氛,退火温度1000℃,退火时间30min。在最佳退火条件下,经过退火处理后的CuAl02薄膜在可见光下的光学透过率达70%-80%,带隙宽度3.5eV,电阻率16.67Ω·cm。
关键词
p型导电氧化物
cualo
2
薄膜
脉冲激光沉积
退火处理
Keywords
p-type transparent conducting oxide
,
cualo2 film
,
pulse laser deposition
,
annealing process
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PLD制备CuAlO_2薄膜的结构与性能研究
邹友生
汪海鹏
张亦弛
嘉蓉
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
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职称材料
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