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题名不同厚度聚氯代对二甲苯膜的结晶与性能研究
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作者
张豪
温茂萍
谭凯元
杜自卫
田勇
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机构
中国工程物理研究院
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期83-86,共4页
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基金
国家自然科学基金(51173173)
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文摘
在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32μm、2.39μm、7.98μm和17.11μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试。结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄膜的结晶度提高,表面晶粒尺寸增大,结晶形态更加完整,其表面粗糙度、压入模量和压入硬度呈逐渐增大的趋势。而PC膜表面形貌、力学性能的差异又与结晶度密切相关。
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关键词
Pc膜
厚度
结晶度
压入模量
压入硬度
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Keywords
parylene c film, thickness, crystallinity, indentation modulus, indentation hardness
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分类号
O631.22
[理学—高分子化学]
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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