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聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展
1
作者
张豪
温茂萍
+1 位作者
田勇
谭凯元
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期99-102,共4页
介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响P...
介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响。针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题。
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关键词
聚氯代对二甲苯
pc
膜
聚集态
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职称材料
题名
聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展
1
作者
张豪
温茂萍
田勇
谭凯元
机构
中国工程物理研究院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期99-102,共4页
基金
国家自然科学基金(51173173)
文摘
介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响。针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题。
关键词
聚氯代对二甲苯
pc
膜
聚集态
Keywords
parylene c
,
pc film
,
aggregated state
分类号
TQ322 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展
张豪
温茂萍
田勇
谭凯元
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
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