多层膜光学常数的迭代椭偏测量研究

论述了多层薄膜光学常数的椭偏测量原理以及测量方法。采用导纳矩阵计算多层薄膜的椭偏参数;采用统计试验法与单纯形法相结合的数值逼近法进行反演计算。更重要的是本文首次提出迭代椭偏测量法,使测量的重复性和精确度都大大提高。所谓选代椭偏测量法是不断地优选椭偏测量入射角,从而选出对该样品来说最佳椭偏测量入射角。用这种方法精确测量了相变光盘记录介质膜晶态下的光学常数,这对于相变光盘膜系结构优化设计很重要。

Sb-Se系和Ge-Sb-Te系相变光盘记录介质的热力学参数、微观结构及光学性能

利用DSC,X射线衍射及分光光度计,对Sb-Se系和Ge-Sb-Te系记录介质的热力学参数、非晶态薄膜相变前后结构的变化及光学性能进行了系统的研究,结果表明:Sb—Se系非晶态的光稳定性很不理想,随着彼长的改变,反射率变化太快。对于Ge—Sb—Te系的两种成分合金,在各种波段处都有较大的反衬度,其非晶态的光稳定性也比较理想,随着波长的改变,反射率变化不大。

新型AgInSbTe相变薄膜的光学及记录性能

利用直流磁控溅射法制备了一种新型AgInSbTe相变薄膜。示差扫描量热 (DSC)实验测定的结晶峰温度为193.92℃。X射线衍射 (XRD)表明未经热处理的沉积态薄膜是非晶态 ,而经过 2 0 0℃热处理 ,X射线衍射图出现衍射峰 ,薄膜从非晶态转变到晶态。同时 ,研究了晶态和非晶态相变薄膜的吸收率、透射率和反射率随波长的变化。测定了 6 5 0nm激光作用下的相变薄膜的记录性能 ,分析了记录功率、记录脉宽对薄膜反射率衬比度的影响 ,在同一记录脉宽条件下 ,记录功率越大 ,反射率衬比度也越大 ;在同一记录功率条件下 ,随记录脉宽的增加 ,反射率衬比度也增大。结果表明 ,新型AgInSbTe相变薄膜在激光作用下具有较高的反射率衬比度 ,可获得良好的记录性能。

相变记录薄膜的光致记录畴

通过高分辨透射电镜分析,深入研究了TeSeIn相变记录薄膜的可逆光存贮机理,提出了对应TeSeIn记录薄膜写入和擦除过程中光致记录畴变化的瞬态相变过程的物理模型。