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Zero phase error control based on neural compensation for flight simulator servo system
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作者 Liu Jinkun He Peng Er Lianjie 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2006年第4期793-797,共5页
Using the future desired input value, zero phase error controller enables the overall system's frequency response exhibit zero phase shift for all frequencies and a small gain error at low frequency range, and based ... Using the future desired input value, zero phase error controller enables the overall system's frequency response exhibit zero phase shift for all frequencies and a small gain error at low frequency range, and based on this, a new algorithm is presented to design the feedforward controller. However, zero phase error controller is only suitable for certain linear system. To reduce the tracking error and improve robustness, the design of the proposed feedforward controller uses a neural compensation based on diagonal recurrent neural network. Simulation and real-time control results for flight simulator servo system show the effectiveness of the proposed approach. 展开更多
关键词 zero phase error servo system neural network robust control flight simulator.
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Quantitative feedback theory and zero phase error tracking control combined robust control for radar truck leveling simulator 被引量:1
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作者 凌轩 李晓辉 +1 位作者 朱玉泉 冯天麟 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 2009年第5期384-390,共7页
Radar leveling system is the key equipment for improving the radar mobility and survival capability. A combined quantitative feedback theory (QFT) controller is designed for the radar truck leveling simulator in this ... Radar leveling system is the key equipment for improving the radar mobility and survival capability. A combined quantitative feedback theory (QFT) controller is designed for the radar truck leveling simulator in this paper, which suffers from strong nonlinearities and system parameter uncertainties. QFT can reduce the plant uncertainties and stabilize the system, but it fails to obtain high-precision tracking. This drawback can be solved by a robust QFT control scheme based on zero phase error tracking control (ZPETC) compensation. The combined controller not only possesses high robustness, but greatly improves the system performance. To verify the effiectiveness and the potential of the proposed controller, a series of experiments have been carried out. Experimental results have demonstrated its robustness against a large range of parameters variation and high tracking precision performance, as well as its capability of restraining the load coupling among channels. The combined QFT controller can drive the radar truck leveling platform accurately, quickly and stably. 展开更多
关键词 radar truck leveling simulator quantitative feedback theory (QFT) parameter uncertainties zero phase error tracking control (ZPETC) high robustness
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Adaptive Zero Phase Error Feedforward Method for Robotic Force Control
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作者 郑涌 陶谦 陈卫东 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 1994年第2期52-55,共4页
In order to remove the time delay between the input and the output signals of a robot force control system,adaptive zero phase error feedforward(AZPEF)control method is presented and applied to PUMA 560 industrial rob... In order to remove the time delay between the input and the output signals of a robot force control system,adaptive zero phase error feedforward(AZPEF)control method is presented and applied to PUMA 560 industrial robot,which has six degree of freedom(6-DOF).The whole adaptive force control algorithm is implemented on TMS320C30 micro-processor whose instruction cycle is 60ns.The results of the force control experiments prove that AZPEF force control makes robot have good robustness and quick response ability. 展开更多
关键词 ss:Robot force control ADAPTIVE control ZERO phase error FEEDFORWARD control
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基于功率同步控制的逆变器并网相位误差机理 被引量:1
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作者 侯川川 刘澳 +1 位作者 朱淼 吴志坚 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期1962-1973,I0025,共13页
在并网逆变器中,以锁相环(phase-locked loop,PLL)为代表的电网同步技术得到了广泛应用。然而,由于PLL的引入降低了并网系统的稳定性,使得包括功率同步控制(power synchronization control,PSC)在内的无PLL逆变器控制技术逐渐受到重视... 在并网逆变器中,以锁相环(phase-locked loop,PLL)为代表的电网同步技术得到了广泛应用。然而,由于PLL的引入降低了并网系统的稳定性,使得包括功率同步控制(power synchronization control,PSC)在内的无PLL逆变器控制技术逐渐受到重视。针对PSC的同步技术,现有研究缺乏小扰动下的相位误差模型和理论分析,其同步特性与PLL之间的异同也尚未涉及。为此,在小扰动下首先建立PSC的相位误差模型,并对影响PSC相位误差特性的控制参数进行理论分析。利用所建立模型的频率特性,在相等带宽条件下,对比PSC与传统PLL相位误差之间的差异。仿真和实验证明了PSC相位误差模型的准确性,并且在相等带宽下PSC的同步响应速度显著优于PLL。该文结果可为PSC的控制参数设计、同步理论分析提供一定参考。 展开更多
关键词 功率同步控制 逆变器 相位误差 锁相环
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基于改进型积分滑模观测器的PMSM无位置传感器控制 被引量:3
5
作者 孙庆国 朱晓磊 +2 位作者 牛峰 刘旭 李珊瑚 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期3269-3277,I0028,共10页
针对传统滑模观测器在位置估计过程中的抖振问题,设计一种易于实现的分段平方根切换函数代替传统不连续开关函数,并利用李雅普诺夫稳定性判据对其稳定性进行分析。针对传统锁相环在进行位置估计过程中对转速变化跟踪能力差的问题,提出... 针对传统滑模观测器在位置估计过程中的抖振问题,设计一种易于实现的分段平方根切换函数代替传统不连续开关函数,并利用李雅普诺夫稳定性判据对其稳定性进行分析。针对传统锁相环在进行位置估计过程中对转速变化跟踪能力差的问题,提出一种改进锁相环,通过增加微分环节提高电机转速与位置的估计速度,通过增加速度负反馈环节提高系统在暂态过程中的动态性能。在此基础上,通过锁相与位置误差辨识机制,提出一种位置误差全补偿算法,解决了由滤波器、零阶状态保持器等相位延迟环节引起的位置估计误差问题。此外,该文利用形式简单的d-q坐标系电压方程建立滑模观测器,在采用PLL进行位置估计时,无需进行α-β坐标系下的位置误差构建。最后,通过仿真和实验验证所提方案可行性和有效性。 展开更多
关键词 永磁同步电机 积分滑模观测器 锁相环 位置误差补偿 无位置传感器
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空间高速光通信基带调制信号产生与相位同步方法研究 被引量:1
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作者 汪滴珠 靳一 +3 位作者 左金钟 徐常志 梁慧剑 苟保卫 《电子与信息学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期3520-3527,共8页
高速调制基带信号的高质量产生与相位精确同步是实现空间光通信测距的关键技术。传统采用FPGA或数字信号处理器(DSP)与高速数模转换器(DAC)的实现方法,存在相位同步精度低、硬件实现复杂度高等缺点。该文提出一种高速光通信基带信号产... 高速调制基带信号的高质量产生与相位精确同步是实现空间光通信测距的关键技术。传统采用FPGA或数字信号处理器(DSP)与高速数模转换器(DAC)的实现方法,存在相位同步精度低、硬件实现复杂度高等缺点。该文提出一种高速光通信基带信号产生与相位同步方法,设计了相位闭环动态控制环路,通过实时调整高速信号发射时钟相位,可实现I,Q高速基带信号相位与外部参考时钟相位的确定性关系。实验结果表明:正交相移键控(QPSK)光调制信号码速率为5 Gbit/s时,相位同步精度小于2 ps,误差矢量幅度(EVM)小于8%;5 Gbit/s光通信速率误码率为10^(–7),接收灵敏度优于–47 dBm,测距精度优于2 mm。与传统方法相比,其灵敏度与测距精度均得到明显改善。 展开更多
关键词 光通信测距 相位同步 闭环动态控制 误差矢量幅度
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双三相同步磁阻电机单相开路故障下的容错控制策略 被引量:1
7
作者 邹继斌 李炳均 +2 位作者 张文韬 徐永向 郑博元 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第14期5736-5746,I0025,共12页
双三相同步磁阻电机(dual three-phase synchronous reluctance motor,DTP-SynRM)转子不含永磁体,没有高温退磁风险,成本较低,且由于其系统自由度高、冗余性强,因此具有较好的容错性能。开路故障是双三相同步磁阻电机系统中最常见的故... 双三相同步磁阻电机(dual three-phase synchronous reluctance motor,DTP-SynRM)转子不含永磁体,没有高温退磁风险,成本较低,且由于其系统自由度高、冗余性强,因此具有较好的容错性能。开路故障是双三相同步磁阻电机系统中最常见的故障类型之一,该文针对一种两套三相绕组中性点相互独立的双三相同步磁阻电机单相开路故障,建立DTP-SynRM矢量空间解耦模型,实现对电压、电流和磁链方程的完全解耦。在开路故障状态下仍将其视为一个正常的双三相电机,分析故障状态对电机的电流约束和信号传递的影响,并指出在开路故障下z2轴电流与β轴电流不再独立,电机由正常运行时的四阶系统降阶为三阶系统,而由于开路故障导致的电压信号传递不准确则会在dq坐标系中引入二次谐波电流,并产生二次和四次转矩波动。该文提出一种同时考虑电流约束和信号传递误差的故障容错方法,电机处于三闭环运行状态,补偿电压信号传递误差,抑制开路故障时电机的转矩波动并降低电流谐波。搭建实验平台进行实验,验证所提容错方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 双三相同步磁阻电机 容错控制 开路故障 电流约束 电压信号传递误差 转矩脉动抑制
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基于空间谱估计的无人机协同目标方位感知算法
8
作者 吴鑫炜 胡明华 +1 位作者 毛继志 王扬 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期898-906,932,共10页
无人机协同目标感知技术是有人机无人机混合运行的重要安全保障.针对复杂空域环境下的感知可靠性问题,分析大中型无人机的复杂融合空域运行场景,并确定无人机协同目标感知的精准性、高实时性、抗干扰性和低载荷性等需求,提出一种四单元... 无人机协同目标感知技术是有人机无人机混合运行的重要安全保障.针对复杂空域环境下的感知可靠性问题,分析大中型无人机的复杂融合空域运行场景,并确定无人机协同目标感知的精准性、高实时性、抗干扰性和低载荷性等需求,提出一种四单元阵列天线和数字化射频体制的无人机协同目标感知系统架构;同时,结合空管雷达信号特性和天线体制,设计方位感知算法,通过修正协方差矩阵、信号子空间加权和噪声子空间加权等方法,设计基于多信号分类(multiple signal classification,MUSIC)的空间谱估计算法,并提出基于子空间分解的幅相误差在线估计算法;最后,开展算法仿真试验和实际空域环境飞行试验.研究结果表明:相比传统MUSIC算法,优化算法的方位感知高分辨性能提升23.3%,并改善了无人机协同目标方位感知的高实时性、抗干扰性和低载荷性. 展开更多
关键词 感知与避让 空中交通管制 空间谱估计 幅相误差估计
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基于PREF的扫描磁铁电源设计与实现
9
作者 樊琪 臧航 +4 位作者 郭旗 燕宏斌 史成城 上官靖斌 张云 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期106-111,共6页
PREF装置是中国科学院新疆理化技术研究所与近代物理研究所联合设计建造的10~60 MeV质子同步加速器,属于国内唯一的位移损伤效应模拟试验专用装置。针对该装置的扫描磁铁电源输出电流频率200 Hz、跟踪误差小于≤±5×10^(-3)的... PREF装置是中国科学院新疆理化技术研究所与近代物理研究所联合设计建造的10~60 MeV质子同步加速器,属于国内唯一的位移损伤效应模拟试验专用装置。针对该装置的扫描磁铁电源输出电流频率200 Hz、跟踪误差小于≤±5×10^(-3)的技术要求,采用三组H桥串联拓扑方案,通过移相控制,基于脉宽调制实现技术要求。经仿真与测试结果表明:电源能够输出峰-峰值为±420 A,幅值与频率均连续可调的高精度三角波电流,满足工程应用要求。 展开更多
关键词 扫描磁铁电源 跟踪误差 三组H桥串联 移相控制 脉宽调制
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采用PI+重复控制的并网逆变器控制耦合机理及其抑制策略 被引量:76
10
作者 张兴 汪杨俊 +3 位作者 余畅舟 乔彩霞 周岩峰 倪华 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第30期5287-5295,共9页
对于并网逆变器系统而言,为了抑制并网电流谐波,提高稳态控制精度,常采用重复控制。单一的重复控制动态性能差,PI+重复控制由于动态性能好、稳态精度高而被广泛应用。然而,比例积分(proportional integral,PI)调节器和重复控制器之间存... 对于并网逆变器系统而言,为了抑制并网电流谐波,提高稳态控制精度,常采用重复控制。单一的重复控制动态性能差,PI+重复控制由于动态性能好、稳态精度高而被广泛应用。然而,比例积分(proportional integral,PI)调节器和重复控制器之间存在控制耦合,在动态过程中使并网电流发生畸变。该文分析了控制耦合机理,提出一种基于改进型重复控制的并网逆变器控制方法,一方面利用零相位跟踪控制(zero phase error tracking control,ZPETC)改善了系统的动态性能;另一方面通过对指令信号的动态延迟处理,抑制了控制耦合。最后通过仿真和实验表明理论分析的正确性和控制策略的有效性。 展开更多
关键词 并网逆变器 重复控制 PI+重复控制 控制耦合 零相位跟踪控制
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LCL并网逆变器改进型重复控制策略 被引量:30
11
作者 张兴 汪杨俊 +3 位作者 余畅舟 王付胜 赵为 倪华 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2014年第20期101-107,共7页
对于采用"比例—积分(PI)+重复控制"的LCL并网逆变器控制系统进行了详细分析,并指出其动态性能仍有待进一步改善并且其补偿函数形式复杂,实现困难。结合零相位误差跟踪控制和干扰观测器,提出了一种改进型重复控制策略。一方面... 对于采用"比例—积分(PI)+重复控制"的LCL并网逆变器控制系统进行了详细分析,并指出其动态性能仍有待进一步改善并且其补偿函数形式复杂,实现困难。结合零相位误差跟踪控制和干扰观测器,提出了一种改进型重复控制策略。一方面,利用零相位误差跟踪控制原理改善了重复控制系统的动态性能并且其补偿函数设计简单;另一方面利用干扰观测器克服了零相位误差跟踪控制参数依赖性强的缺点。最后,仿真和实验表明,与"PI+重复控制"相比较,所提控制策略在保证稳态控制精度的同时能够获得更好的动态性能,并且同样具有鲁棒性强的优点。 展开更多
关键词 并网逆变器 重复控制 零相位误差跟踪控制 干扰观测器 鲁棒性
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直接驱动XY平台轮廓误差分析及法向交叉耦合控制 被引量:25
12
作者 王丽梅 武志涛 +1 位作者 孙宜标 金抚颖 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第9期63-68,共6页
在直线电机直接驱动XY平台中,负载扰动、机械延迟以及两轴驱动系统参数不匹配等因素影响轮廓加工精度。采用H∞速度反馈控制、零相位误差跟踪控制(ZPETC)与法向交叉耦合控制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制以提高轮廓加工精度,实... 在直线电机直接驱动XY平台中,负载扰动、机械延迟以及两轴驱动系统参数不匹配等因素影响轮廓加工精度。采用H∞速度反馈控制、零相位误差跟踪控制(ZPETC)与法向交叉耦合控制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制以提高轮廓加工精度,实现跟踪误差与轮廓误差的同时减小。H∞控制在速度环通过反馈作用消除负载扰动因素的影响,使系统具有较好的鲁棒性。ZPETC基于零、极点对消和相位对消提高系统跟踪精度。法向交叉耦合控制作用于两轴之间,将轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制,有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计。仿真结果表明,所设计的控制系统具有较好的跟踪性、鲁棒性和轮廓精度。 展开更多
关键词 XY平台 H∞控制 零相位误差跟踪控制 轮廓误差 法向交叉耦合控制
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数控机床高速高加速进给下的跟随误差控制策略 被引量:17
13
作者 吕盾 李润泽 +2 位作者 刘辉 赵万华 卢秉恒 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期25-31,共7页
针对数控机床在高速加工中,各进给轴的进给速度和进给加速度高、跟随误差难以控制、零件加工精度无法保证的问题,提出一种模态滤波器与零相差跟踪控制器的综合控制策略。首先通过零极点对消的原理,得到设置在速度环内的模态滤波器,对滚... 针对数控机床在高速加工中,各进给轴的进给速度和进给加速度高、跟随误差难以控制、零件加工精度无法保证的问题,提出一种模态滤波器与零相差跟踪控制器的综合控制策略。首先通过零极点对消的原理,得到设置在速度环内的模态滤波器,对滚珠丝杠进给系统的一阶和二阶扭转振动模态进行抵消,消除这两阶模态对伺服带宽的限制以继续提高伺服带宽;然后通过对整个伺服进给系统的传递函数近似取逆,得到设置在位置环之前的零相差跟踪控制器,改善伺服进给系统的相位滞后,最终实现数控机床高速高加速进给下的跟随误差控制。仿真结果表明,当进给速度为30m/min、加速度为10m/s2时,与传统的PID控制策略相比,所提出的综合控制策略将跟随误差降低到原来的0.1%以下。 展开更多
关键词 数控机床 高速加工 跟随误差 模态滤波器 零相差跟踪控制器
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基于零相位误差跟踪控制器的轮廓误差交叉耦合控制 被引量:15
14
作者 曲永印 赵希梅 郭庆鼎 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1135-1137,共3页
针对高精密轮廓加工,在分析系统轮廓误差的基础上,通过减小跟踪误差来间接减小轮廓误差,提出了将交叉耦合控制器和零相位误差跟踪控制器相结合的控制策略。交叉耦合控制器用以增加各轴之间的匹配程度,以减小轮廓误差;零相位误差跟踪控... 针对高精密轮廓加工,在分析系统轮廓误差的基础上,通过减小跟踪误差来间接减小轮廓误差,提出了将交叉耦合控制器和零相位误差跟踪控制器相结合的控制策略。交叉耦合控制器用以增加各轴之间的匹配程度,以减小轮廓误差;零相位误差跟踪控制器作为前馈跟踪控制器,提高了快速性,使系统实现准确跟踪。仿真结果表明所提出的控制方案是有效的,能达到良好的轮廓跟踪效果,从而提高了轮廓加工精度。 展开更多
关键词 轮廓加工 轮廓误差 交叉耦合控制 零相位误差跟踪控制
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永磁直线同步电动机的变增益零相位H_∞鲁棒跟踪控制 被引量:28
15
作者 赵希梅 郭庆鼎 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第20期132-136,共5页
针对永磁直线同步伺服电机(PMLSM)直接驱动伺服系统,提出了一种将变增益零相位误差跟踪控制(VGZPETC)和H∞鲁棒控制相结合的鲁棒跟踪控制策略,以解决系统的快速而精确的跟踪性能和抗扰性能之间的矛盾。变增益零相位误差跟踪控制器克服... 针对永磁直线同步伺服电机(PMLSM)直接驱动伺服系统,提出了一种将变增益零相位误差跟踪控制(VGZPETC)和H∞鲁棒控制相结合的鲁棒跟踪控制策略,以解决系统的快速而精确的跟踪性能和抗扰性能之间的矛盾。变增益零相位误差跟踪控制器克服了建模误差、系统参数变化等的影响,保证了快速性,使系统实现准确跟踪;而H∞控制器克服了负载扰动等不确定性影响,保证了系统具有较强的鲁棒性能。仿真结果表明,该方案在保证伺服系统的快速精确跟踪性的同时,对系统参数变化和阻力扰动具有很强的鲁棒性。 展开更多
关键词 永磁直线同步电机 变增益零相位误差跟踪控制 H∞鲁棒控制 零相位误差跟踪控制 跟踪
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压电陶瓷执行器的动态迟滞建模与零相差前馈补偿控制 被引量:5
16
作者 唐强 吉方 +2 位作者 陈东生 刘广民 张连新 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2015年第9期95-98,共4页
压电陶瓷执行器在动态应用中具有迟滞非线性,给动态精密跟踪控制带来了许多困难。针对压电陶瓷迟滞特性提出了一种相移迟滞非线性模型,建模的相对误差小于0.4%;基于相移迟滞模型给出了迟滞补偿方法,实现了开环系统的线性化。同时,根据... 压电陶瓷执行器在动态应用中具有迟滞非线性,给动态精密跟踪控制带来了许多困难。针对压电陶瓷迟滞特性提出了一种相移迟滞非线性模型,建模的相对误差小于0.4%;基于相移迟滞模型给出了迟滞补偿方法,实现了开环系统的线性化。同时,根据相移迟滞模型,为PID闭环系统设计了零相差前馈控制器进行指令预补偿。实验结果表明,零相差前馈控制使系统在给定频段内实现了良好的跟踪性能,有效地将跟踪控制相对误差降到0.36%以下。 展开更多
关键词 压电陶瓷执行器 迟滞特性 零相差控制
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气压伺服系统高性能鲁棒控制器的设计 被引量:8
17
作者 王祖温 詹长书 +2 位作者 杨庆俊 李军 包钢 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期15-19,共5页
2自由度控制器越来越在伺服控制中显示其优越性。2自由度控制利用反馈控制来保证稳定性,利用前馈保证轨迹跟踪性能。首先辨识得到了气压系统的闭环传递函数。基于闭环系统辨识模型设计了零相位误差前馈控制器(ZPETC),ZPETC将闭环系统带... 2自由度控制器越来越在伺服控制中显示其优越性。2自由度控制利用反馈控制来保证稳定性,利用前馈保证轨迹跟踪性能。首先辨识得到了气压系统的闭环传递函数。基于闭环系统辨识模型设计了零相位误差前馈控制器(ZPETC),ZPETC将闭环系统带宽拓宽为100rad/s左右。系统的干扰抑制能力、鲁棒稳定性由控制器中反馈环节保证。设计了基于干扰观测器的内环反馈控制;外环反馈仍为位置反馈环节。与PID控制比较,整个控制器在试验中得到了良好的轨迹跟踪精度。 展开更多
关键词 气压伺服系统 干扰观测器 零相位误差前馈控制器 轨迹跟踪
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基于ZPETC和DOB的直线电机控制器设计及实验研究 被引量:13
18
作者 李志军 刘成颖 +1 位作者 孟凡伟 周凯 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第24期134-140,21,共7页
直线电机驱动系统中存在的负载力、推力波动等干扰力会引起跟踪误差,降低跟踪性能。干扰观测器可以检测并补偿干扰,有效提高系统的抗干扰能力。前馈控制是提高系统跟踪性能的另一种方法,如直接速度前馈控制器、零相位误差跟踪控制器等,... 直线电机驱动系统中存在的负载力、推力波动等干扰力会引起跟踪误差,降低跟踪性能。干扰观测器可以检测并补偿干扰,有效提高系统的抗干扰能力。前馈控制是提高系统跟踪性能的另一种方法,如直接速度前馈控制器、零相位误差跟踪控制器等,可以有效提高系统带宽,提高跟踪性能。针对直线电机在抗干扰和动态响应方面的需求,该文研究了基于直接速度前馈控制器、零相位跟踪控制器和干扰观测器的直线电机控制方法,并给出实验结果。结果表明,直接速度前馈控制器使位置能够无静地跟踪二阶指令输入,干扰观测器能够很好的抑制推力波动和摩擦力的影响,零相位跟踪控制器能够提高位置闭环带宽,改善跟踪性能,特别是三阶位置指令输入时的跟踪误差。 展开更多
关键词 直线电机 零相位跟踪控制器 干扰观测器
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为提高轮廓加工精度采用DOB和ZPETC的直线伺服鲁棒跟踪控制 被引量:40
19
作者 赵希梅 郭庆鼎 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期111-114,126,共5页
为了提高轮廓加工精度,本文针对高精度直线伺服系统,提出了一种将零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和干扰观测器(DOB)相结合的鲁棒跟踪控制策略。ZPETC作为前馈跟踪控制器,保证了快速性,使系统实现准确跟踪;基于DOB的鲁棒反馈控制器补偿了... 为了提高轮廓加工精度,本文针对高精度直线伺服系统,提出了一种将零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和干扰观测器(DOB)相结合的鲁棒跟踪控制策略。ZPETC作为前馈跟踪控制器,保证了快速性,使系统实现准确跟踪;基于DOB的鲁棒反馈控制器补偿了外部扰动、未建模动态、系统参数变化和机械非线性等,保证了系统的强鲁棒性能。仿真结果表明了所提出的控制方案是有效的,既能实现完好跟踪,又有较强的鲁棒性能。从而有效地减小了轮廓误差,提高了轮廓加工精度。 展开更多
关键词 干扰观测器 直线伺服 零相位跟踪控制 跟随控制 轮廓控制
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基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制 被引量:9
20
作者 陈兴林 刘川 +1 位作者 周乃新 王斌 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期1-6,共6页
光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器... 光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器加前馈(ZPETC-FF)和干扰观测器(DOB)相结合的复合控制方法,以提高直线电机宏动精密运动平台的运动精度.ZPETC-FF作为前馈跟踪控制器,有效提高了系统带宽和跟踪性能,减小了系统的动态跟踪误差;DOB作为鲁棒反馈控制器,补偿了外部扰动、未建模动态和系统参数摄动等,有效提高了系统的抗干扰能力.实验表明,所提出的控制方法与传统的控制方法相比,不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且还具有更强的抗干扰能力. 展开更多
关键词 光刻机 工件台 零相位跟踪控制 干扰观测器 高动态精密伺服
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