期刊文献+
共找到72篇文章
< 1 2 4 >
每页显示 20 50 100
Enhancing ammonia production rates from electrochemical nitrogen reduction by engineering three-phase boundary with phosphorus-activated Cu catalysts
1
作者 Jeehye Kim Cho Hee Lee +5 位作者 Yong Hyun Moon Min Hee Lee Eun Hyup Kim Sun Hee Choi Youn Jeong Jang Jae Sung Lee 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期394-401,共8页
Electrochemical N_(2) reduction reaction(eNRR) over Cu-based catalysts suffers from an intrinsically low activity of Cu for activation of stable N_(2) molecules and the limited supply of N_(2) to the catalyst due to i... Electrochemical N_(2) reduction reaction(eNRR) over Cu-based catalysts suffers from an intrinsically low activity of Cu for activation of stable N_(2) molecules and the limited supply of N_(2) to the catalyst due to its low solubility in aqueous electrolytes.Herein,we propose phosphorus-activated Cu electrocatalysts to generate electron-deficient Cu sites on the catalyst surface to promote the adsorption of N_(2) molecules.The eNRR system is further modified using a gas diffusion electrode(GDE) coated with polytetrafluoroethylene(PTFE) to form an effective three-phase boundary of liquid water-gas N_(2)-solid catalyst to facilitate easy access of N_(2) to the catalytic sites.As a result,the new catalyst in the flow-type cell records a Faradaic efficiency of 13.15% and an NH_(3) production rate of 7.69 μg h^(-1) cm^(-2) at-0.2 V_(RHE),which represent 3.56 and 59.2 times increases from those obtained with a pristine Cu electrode in a typical electrolytic cell.This work represents a successful demonstration of dual modification strategies;catalyst modification and N_(2) supplying system engineering,and the results would provide a useful platform for further developments of electrocatalysts and reaction systems. 展开更多
关键词 Electrochemical nitrogen reduction reaction Ammonia production phosphorous modified copper electrodes Gas diffusion electrodes Three-phase boundary PTFE coating
下载PDF
Self-assembly of a Mixed-valence Cu(Ⅰ)/Cu(Ⅱ)Coordination Polymer Derived from a Conformationally Flexible Tripodal Phosphoric Trimide Ligand 被引量:1
2
作者 弓亚琼 高金伟 米陶清 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2016年第5期747-752,共6页
Reaction of a tripodal ligand, N,N',N''-tris(3-pyridinyl) phosphoric trimide(TPPA) and CuBr_2·2H_2O result in the assembly of a new polymeric copper coordination polymer, which was characterized by single-... Reaction of a tripodal ligand, N,N',N''-tris(3-pyridinyl) phosphoric trimide(TPPA) and CuBr_2·2H_2O result in the assembly of a new polymeric copper coordination polymer, which was characterized by single-crystal diffraction, infrared spectroscopy and elemental analysis. The polymer crystallizes in the triclinic system, space group P1 with a = 9.0964(5), b = 10.2592, c = 10.5822(8) A, V = 933.01(9) A3, Z = 2, C_(30)H_(24)Br_4Cu_3N_(12)O_2P_2, M_r = 985.02, D_c = 1.753 g/cm3, F(000) = 4072 and μ(MoKα) = 0.746 mm^(-1). The final R and w R are 0.0588 and 0.1329 for 4260 observed reflections with I 〉 2σ(I). Cu(Ⅰ) is tetrahedrally coordinated and Cu(Ⅱ) center adopts square planar coordination geometry. Because of the flexibility of the TPPA ligands, the pyridyl rings rotate though a certain angle and three pyridyl rings on the same TPPA rotate by about 45° with respect to the central P=O groups. TPPA ligand acts as a tridentate ligand and is coordinated with three metal centers with its pyridyl donors to form a 2D-sheet like structure, and it is further connected by N-H···O and N-H···Br, resulting in a 3D network packing. Oxidation states of the metal center have been determined by bond valence sum calculation. 展开更多
关键词 copper phosphoric trimide mixed-valence complex crystal structure
下载PDF
Mass Transfer of Copper(Ⅱ) in Hollow Fiber Renewal Liquid Membrane with Different Carriers 被引量:4
3
作者 张卫东 崔春花 杨彦强 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第2期346-350,共5页
The extraction ability of organophosphorus extractant D2EHPA(di-2-ethylhexyl phosphoric acid) and hydroximic extractant Lix984N are investigated by the extraction equilibrium experiments.Effects of carrier concen-trat... The extraction ability of organophosphorus extractant D2EHPA(di-2-ethylhexyl phosphoric acid) and hydroximic extractant Lix984N are investigated by the extraction equilibrium experiments.Effects of carrier concen-tration and organic/aqueous volume ratio on the mass transfer of hollow fiber renewal liquid membrane(HFRLM) are studied.Results show that,in the extracting process,kerosene and n-heptane are more suitable than methyl-isobutyl ketone,butylacetate and benzene as the diluents of D2EHPA or Lix984N.The favorable feed pH is 4.4 for D2EHPA and 2.6 for Lix984N.The mass transfer flux of HFRLM increases with carrier concentration and finally reaches a plateau.The mass transfer flux and the overall transfer coefficient increase with the organic/aqueous volume ratio,reach the maximum and then decrease. 展开更多
关键词 液膜传质 中空纤维 铜(Ⅱ) D2EHPA Lix984N 载流子浓度 载体 有机磷萃取剂
下载PDF
Cu-P复合改性对g-C_(3)N_(4)可见光催化性能的影响 被引量:1
4
作者 艾兵 吕盼娣 +2 位作者 张腾 马志 李德刚 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期149-154,共6页
以P掺杂的石墨相氮化碳(P-C_(3)N_(4))为基材,将其与不同质量分数的氯化铜混合后继续焙烧,制备出Cu-P复合改性的石墨相氮化碳可见光光催化剂(Cu/P-C_(3)N_(4))。对样品的结构、光电性能进行了X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、傅里叶变换红... 以P掺杂的石墨相氮化碳(P-C_(3)N_(4))为基材,将其与不同质量分数的氯化铜混合后继续焙烧,制备出Cu-P复合改性的石墨相氮化碳可见光光催化剂(Cu/P-C_(3)N_(4))。对样品的结构、光电性能进行了X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、光致荧光光谱(PL)、电化学阻抗谱(EIS)等一系列表征。通过可见光催化降解亚甲基蓝考察了它们的光催化活性。结果表明,Cu-P复合改性提高了催化剂的电子转移速率且降低了光生电子空穴对的复合速率,有效改善了其光催化性能。可见光照射120 min,Cu(1.5%)/P-C_(3)N_(4)复合材料对亚甲基蓝的降解率达到71.3%,其降解速率常数分别是纯g-C_(3)N_(4)和P-C_(3)N_(4)的2.17倍和2倍。另外,通过活性物种捕获实验初步研究了各个体系的光催化反应机理。 展开更多
关键词 石墨相氮化碳 铜掺杂 磷掺杂 可见光催化
下载PDF
PCB酸性镀铜阳极泥与电镀添加剂关系的研究
5
作者 何念 王健 +3 位作者 潘炎明 连纯燕 孙宇曦 曾庆明 《印制电路信息》 2023年第S02期269-278,共10页
PCB酸性镀铜磷铜阳极的阳极泥是电镀过程产生的,当阳极泥累积到足以阻挡阳极铜球时,会影响到阳极电力线的分布,导致电镀板件的镀铜均匀性变差,因而要求生产人员对生产线进行停产保养,清洗阳极,清洗阳极的过程会造成铜球的损耗,增加生产... PCB酸性镀铜磷铜阳极的阳极泥是电镀过程产生的,当阳极泥累积到足以阻挡阳极铜球时,会影响到阳极电力线的分布,导致电镀板件的镀铜均匀性变差,因而要求生产人员对生产线进行停产保养,清洗阳极,清洗阳极的过程会造成铜球的损耗,增加生产的成本。本文通过测试不同种类的电镀铜添加剂与电镀阳极铜泥的关系,发现在有机添加剂中电镀光亮剂对阳极泥的生成影响最大,在进一步研究中发现不同电镀光亮剂对阳极泥生成的促进效果也不一样,容易析出MPS结构的电镀光亮剂比较容易产生阳极泥,光亮剂SCCTB相比SPS可以减少阳极泥的生成。 展开更多
关键词 磷铜球 阳极泥 电镀添加剂
下载PDF
两种铜磷钎料对紫铜钎焊的焊接性能和焊缝组织对比 被引量:11
6
作者 张培磊 丁敏 +2 位作者 姚舜 芦凤桂 楼松年 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期82-85,共4页
对国产BCu80PAg钎料和德国进口L-Ag15P钎料进行了化学成分、熔化性能、润湿性试验,并比较了这两种铜磷钎料对紫铜钎焊焊接接头的力学性能和焊缝组织。结果表明:L-Ag15P钎料的成分均匀性和润湿性要好于BCu80PAg的,其熔化区间较窄;两种钎... 对国产BCu80PAg钎料和德国进口L-Ag15P钎料进行了化学成分、熔化性能、润湿性试验,并比较了这两种铜磷钎料对紫铜钎焊焊接接头的力学性能和焊缝组织。结果表明:L-Ag15P钎料的成分均匀性和润湿性要好于BCu80PAg的,其熔化区间较窄;两种钎料焊接接头的力学性能相当;两种钎料所形成焊缝的显微组织主要都是亚共晶,初生相为富银和磷的-αCu固溶体,共晶体组分为-αCu固溶体和Cu3P化合物。 展开更多
关键词 铜磷钎料 钎焊 润湿性
下载PDF
由黄磷生产副产物磷泥制备磷铜实验研究 被引量:3
7
作者 高建培 田森林 +2 位作者 宁平 彭春欢 钱丽梅 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期41-43,55,共4页
利用硫酸铜和磷泥作为基本原料,采用液相法合成基础功能材料磷铜。研究了磷铜产物的物相组成,反应时间、反应温度、硫酸铜浓度等条件对产率和产物中Cu+P含量的影响及高温熔融处理对产物的提纯效果。XRD表征及铜、磷定量分析结果证实所... 利用硫酸铜和磷泥作为基本原料,采用液相法合成基础功能材料磷铜。研究了磷铜产物的物相组成,反应时间、反应温度、硫酸铜浓度等条件对产率和产物中Cu+P含量的影响及高温熔融处理对产物的提纯效果。XRD表征及铜、磷定量分析结果证实所制产物中主要物相为Cu3P,Cu/P摩尔比为2.96±0.34。结果表明,硫酸铜和磷泥反应制取磷铜的适宜反应条件为:反应时间60 min、反应温度70℃、硫酸铜浓度30%(w/w)或初始Cu2+/P4摩尔比为5.2;适宜反应条件下所得产物产率为88%,Cu+P含量为98%,Cu/P摩尔比为3.03;高温熔融可使磷铜含量较低产品的Cu+P含量由74%提高至84%。 展开更多
关键词 磷泥 磷铜 黄磷
下载PDF
冷斜轧磷铜球温度场的数值模拟 被引量:4
8
作者 王宝雨 王少臣 +1 位作者 胡正寰 周永平 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期47-50,共4页
冷斜轧铜球的关键在于铜坯料在轧制的过程中是否有足够的塑性顺利成形,而温度是影响铜坯料塑性的重要因素之一,可是传统的方法无法测量轧件内部的温度场。本文通过大变形分析软件DEFORM-3D对轧制过程中轧件的温度场进行了模拟分析,得出... 冷斜轧铜球的关键在于铜坯料在轧制的过程中是否有足够的塑性顺利成形,而温度是影响铜坯料塑性的重要因素之一,可是传统的方法无法测量轧件内部的温度场。本文通过大变形分析软件DEFORM-3D对轧制过程中轧件的温度场进行了模拟分析,得出轧件的连接颈温度高于其它部分,连接颈与轧辊的凸棱顶部接触处温度最高,中心点温度最低,连接颈表面的温度升降交替总体上升,连接颈中心温度开始无变化然后逐渐上升。 展开更多
关键词 冷斜轧 磷铜球 DEFORM-3D 温度场 数值模拟
下载PDF
磷铜片表面构建超疏水Cu_2O纳米结构及其超疏水-亲水快速转变 被引量:4
9
作者 孔令豪 陈常东 +1 位作者 张平余 何强 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期108-116,共9页
针对热转变材料制备成本高昂的问题,用一种低成本的修饰-加热-再修饰的方法实现了磷铜片表面的浸润性的快速转变。用蒸馏水浸渍的方法在磷铜片表面制备了致密的Cu_2O纳米棒,经十二烷基硫醇表面改性后表现出优异的超疏水性能。同时,将制... 针对热转变材料制备成本高昂的问题,用一种低成本的修饰-加热-再修饰的方法实现了磷铜片表面的浸润性的快速转变。用蒸馏水浸渍的方法在磷铜片表面制备了致密的Cu_2O纳米棒,经十二烷基硫醇表面改性后表现出优异的超疏水性能。同时,将制备好的磷铜片在160℃的烘箱保存30 min,该表面浸润性可实现从超疏水到亲水的快速转变,并且转变后的表面经十二烷基硫醇重新修饰后可恢复其超疏水特性。结果表明,制备好的磷铜片在加热过程中产生了大量的RS-SR化合物,RS-SR化合物经乙醇冲洗脱离磷铜片表面导致表面碳含量降低,最终导致表面浸润性的转变。该工作提供了一种制备热浸润性快速转变材料的简单方法,在微控制和智能器件领域具有潜在应用。 展开更多
关键词 磷铜 化学湿法 超疏水 热浸润性转变
下载PDF
两种铜磷钎料的紫铜真空钎焊研究 被引量:2
10
作者 张培磊 丁敏 +2 位作者 芦凤桂 姚舜 楼松年 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2008年第21期117-119,共3页
为比较两种钎料对紫铜的焊接性,分别分析了HL204和BCuP-5这两种铜磷钎料的熔化性能、熔化后的相组成、焊缝组织以及焊缝中元素的扩散。实验结果表明,两种钎料都可以形成性能优良的焊缝;BCuP-5的熔化区间较窄;两种钎料形成的焊缝组织都... 为比较两种钎料对紫铜的焊接性,分别分析了HL204和BCuP-5这两种铜磷钎料的熔化性能、熔化后的相组成、焊缝组织以及焊缝中元素的扩散。实验结果表明,两种钎料都可以形成性能优良的焊缝;BCuP-5的熔化区间较窄;两种钎料形成的焊缝组织都主要是亚共晶组织,初生相为富Ag和P的α(Cu)固溶体,共晶体的组分为α(Cu)固溶体+Cu3P;BCuP-5钎料形成的焊缝组织要比HL204更为有方向性,生成的灰色相大部分都平行于母材呈层片状分布,而HL204所形成的焊缝中各相分布较为弥散。 展开更多
关键词 铜磷钎料 钎焊 润湿
下载PDF
含磷环氧树脂及其在无卤阻燃覆铜板中的应用研究进展 被引量:13
11
作者 叶坤 刘治猛 贾德民 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期81-84,共4页
针对含磷环氧树脂在覆铜板无卤阻燃及其它方面的广阔应用前景,简述了含磷阻燃剂的阻燃机理,详细介绍了反应型含磷阻燃环氧树脂体系的研究状况,并指出含磷环氧树脂的发展方向。
关键词 阻燃 磷系 环氧树脂 覆铜板
下载PDF
两个新颖的铜-二氮杂菲和钼(磷,硒)杂多酸组成的有机-无机杂合化合物:合成和晶体结构 被引量:3
12
作者 余荣民 卢绍芳 +2 位作者 陈进 卢灿忠 黄子祥 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第10期983-988,共6页
水热法合成了两个新颖的有机-无机杂合化合物{[Cu(o-phen)(H2O)]3[Mo5P2O23]}?4.5H2O(1)和{[Cu(o-phen)-(H2O)]2[Mo5Se2O21]}(2)(o-phen=1,10-phenanthroline).通过红外光谱和单晶X射线衍射分析确定了它们的结构.结构分析表明两个分子... 水热法合成了两个新颖的有机-无机杂合化合物{[Cu(o-phen)(H2O)]3[Mo5P2O23]}?4.5H2O(1)和{[Cu(o-phen)-(H2O)]2[Mo5Se2O21]}(2)(o-phen=1,10-phenanthroline).通过红外光谱和单晶X射线衍射分析确定了它们的结构.结构分析表明两个分子结构中的相邻[Mo5P2O23]6-或[Mo5Se2O21]4-阴离子均由两个桥式的[Cu(o-phen)(H2O)]单元连接成分别为风车状和双侧桥联状一维聚合链,化合物1的双金属链又通过若干链间氢键形成层状堆积结构.讨论了钼杂多酸阴离子和第二种金属-配体亚单元阳离子之间的相互匹配关系. 展开更多
关键词 有机-无机杂合化合物 钼杂多酸 [Cu(o-phen)(H2O)]单元 水热合成 晶体结构 红外光谱
下载PDF
ICP-OES法测定铝铁中的铝锰硅磷铜铁含量 被引量:10
13
作者 万春梅 陈涛 李玉清 《云南冶金》 2010年第3期57-60,共4页
用稀王水溶解试样,ICP—OES法直接测定铝铁中的铝、锰、硅、磷、铜、铁的含量。对样品溶解酸度、元素谱线选择、背景校正扣除、样品基体及待测元素间干扰等因素进行了试验研究。采用基体匹配与背景扣除法消除基体对待测元素的光谱干扰... 用稀王水溶解试样,ICP—OES法直接测定铝铁中的铝、锰、硅、磷、铜、铁的含量。对样品溶解酸度、元素谱线选择、背景校正扣除、样品基体及待测元素间干扰等因素进行了试验研究。采用基体匹配与背景扣除法消除基体对待测元素的光谱干扰,确定了最佳实验条件。结果表明:各元素的加标回收率为96.0%~105.0%,相对标准偏差小于2.50%。本法与化学分析方法对照,测定结果一致,已用于铝铁产品的检验。 展开更多
关键词 ICP—OES法 铝铁
下载PDF
铜在磷酸溶液中的电化学抛光研究 被引量:3
14
作者 黎德育 夏国锋 +5 位作者 郑振 王紫玉 田栋 王晨 翟文杰 李宁 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期1-4,37,共5页
通过阳极极化和电化学阻抗谱测试,研究了铜在磷酸溶液中进行电化学抛光的电化学行为。研究发现:随着磷酸浓度的增加,铜在0.2,0.4,0.6,0.8 V四个电位下电化学抛光后的粗糙度都呈现先减小、后增大的趋势,在磷酸质量分数为55%时达最低值;EI... 通过阳极极化和电化学阻抗谱测试,研究了铜在磷酸溶液中进行电化学抛光的电化学行为。研究发现:随着磷酸浓度的增加,铜在0.2,0.4,0.6,0.8 V四个电位下电化学抛光后的粗糙度都呈现先减小、后增大的趋势,在磷酸质量分数为55%时达最低值;EIS图谱拟合的Rs值的变化反映了磷酸盐粘膜层电阻和铜表面氧化膜电阻的变化,此外,随着磷酸浓度的增加,EIS中第一个容抗半圆的弛豫时间延长,铜的溶解反应速度加快。 展开更多
关键词 磷酸 电化学抛光 粗糙度 电化学阻抗谱
下载PDF
含磷环氧树脂体系研究进展 被引量:5
15
作者 叶坤 刘治猛 贾德民 《塑料科技》 CAS 北大核心 2007年第8期110-115,共6页
详细介绍了反应型含磷阻燃环氧树脂体系的研究状况及其在覆铜板中的应用,并指出了含磷环氧树脂的发展方向。
关键词 阻燃 磷系 环氧树脂 覆铜板
下载PDF
CuO-磷酸盐胶粘剂粘接机理 被引量:4
16
作者 雷阎盈 余历军 +2 位作者 朱玲菊 陈立宇 郝惠娣 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期229-232,共4页
对CuO-磷酸盐胶粘剂有关粘接机理进行了剖析,提出CuO-磷酸盐胶粘剂调和固化后,主要生成含有“O-Cu-O”侧链,通过“-O-Cu-O-”链桥纵向和横向键合的无机磷酸盐高分子聚合物,是形成高强度粘接内聚力的主要因素... 对CuO-磷酸盐胶粘剂有关粘接机理进行了剖析,提出CuO-磷酸盐胶粘剂调和固化后,主要生成含有“O-Cu-O”侧链,通过“-O-Cu-O-”链桥纵向和横向键合的无机磷酸盐高分子聚合物,是形成高强度粘接内聚力的主要因素,并经红外光谱证实。 展开更多
关键词 氧化铜 胶粘剂 粘接机理 红外光谱 磷酸盐
下载PDF
三种改性膨润土对铜离子的吸附实验研究 被引量:3
17
作者 侯丹丹 丁述理 +1 位作者 徐博会 王东 《河北工程大学学报(自然科学版)》 CAS 2015年第1期55-57,61,共4页
用硫酸、盐酸、磷酸对膨润土进行酸化改性,制备了3种改性膨润土吸附剂,用以去除模拟废水中的铜离子。考察了3种酸改性膨润土添加量、初始离子浓度、溶液p H值、温度和搅拌时间对铜离子去除率的影响。研究结果表明,铜离子初始浓度为3 mg/... 用硫酸、盐酸、磷酸对膨润土进行酸化改性,制备了3种改性膨润土吸附剂,用以去除模拟废水中的铜离子。考察了3种酸改性膨润土添加量、初始离子浓度、溶液p H值、温度和搅拌时间对铜离子去除率的影响。研究结果表明,铜离子初始浓度为3 mg/L、酸改性膨润土添加量为2.5 g/L、p H为12、温度为20℃、搅拌时间15 min时,硫酸、盐酸和磷酸改性膨润土对铜离子的去除率分别达到99%、96%、92%。 展开更多
关键词 硫酸 盐酸 磷酸 膨润土 铜离子 吸附
下载PDF
挤压变形对磷铜组织及性能的影响 被引量:1
18
作者 张胜全 王冰 +1 位作者 张忠科 赵长忠 《热加工工艺》 北大核心 2021年第21期25-28,共4页
高质量的电子封装产品要求晶粒细小的阳极铜,对铜进行挤压变形是细化晶粒的重要手段。用SEM、EDS、XRD及硬度仪对两次变形的磷铜进行了分析。结果表明,磷铜在两次变形后产生大量滑移线和孪晶,大颗粒磷化物被挤压破碎,铜晶粒细化,磷分布... 高质量的电子封装产品要求晶粒细小的阳极铜,对铜进行挤压变形是细化晶粒的重要手段。用SEM、EDS、XRD及硬度仪对两次变形的磷铜进行了分析。结果表明,磷铜在两次变形后产生大量滑移线和孪晶,大颗粒磷化物被挤压破碎,铜晶粒细化,磷分布更加均匀,达到改善阳极铜质量的要求。 展开更多
关键词 磷铜 挤压变形 晶粒细化
下载PDF
氧化铜─磷酸盐胶粘剂粘接机理的剖析与探讨 被引量:11
19
作者 余历军 雷阎盈 +1 位作者 俞强 周崎 《粘接》 CAS 1998年第6期5-7,11,共4页
剖析了氧化钢─磷酸盐胶粘剂的粘接机理,提出该胶调和固化后,主要生成含有O─Cu—O侧链,并通过─O─Cu—O─链桥纵向和横向健合的无机磷酸盐高分子聚合物,是形成高强度粘接内聚力的主要因素。
关键词 氧化铜 磷酸 胶粘剂 粘接
下载PDF
集成电路用磷铜阳极及相关问题研究 被引量:6
20
作者 高岩 王欣平 +3 位作者 何金江 刘宏宾 江轩 蒋宇辉 《中国集成电路》 2011年第11期64-69,79,共7页
随着半导体技术的发展,铜互联技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,铜互连采用双大马士革工艺(Dual Damascene)进行电镀。集成电路用磷铜阳极在电镀过程中起着至关重要的作用,本文系统分析了磷铜阳极中磷的含量、铜的纯度、晶粒... 随着半导体技术的发展,铜互联技术在集成电路的设计和制造中成为主流技术,铜互连采用双大马士革工艺(Dual Damascene)进行电镀。集成电路用磷铜阳极在电镀过程中起着至关重要的作用,本文系统分析了磷铜阳极中磷的含量、铜的纯度、晶粒尺寸和氧含量等对集成电路电镀性能的影响。 展开更多
关键词 集成电路 电镀 磷铜 阳极
下载PDF
上一页 1 2 4 下一页 到第
使用帮助 返回顶部