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Lateral-Coupled Junctionless IZO-Based Electric-Double-Layer Thin-Film Transistors Gated by Solid-State Phosphorosilicate Glass Electrolyte
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作者 周菊枚 高晓红 张洪亮 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第3期149-152,共4页
We describe the lateral-coupled junctionless indium-zinc-oxide (IZO) thin-film transistors (TFTs) in which there are no junctions between channel and source/drain electrodes and with solid-state phosphorosilieate ... We describe the lateral-coupled junctionless indium-zinc-oxide (IZO) thin-film transistors (TFTs) in which there are no junctions between channel and source/drain electrodes and with solid-state phosphorosilieate glass electrolyte (PSG) gating. Due to the three-dimensional high proton conduction and lateral coupled electric-double- layer (EDL) capacitance (〉 1 #Flora2) of the PSG, the low voltage (2.0 V) junctionless IZO TFTs and the dual eoplanar gate devices are obtained. An AND logic function is demonstrated on the basis of the junctionless EDL-TFTs. Such devices are promising for applications in pH sensors, humidity sensors, biosensors, and neuron network simulation. 展开更多
关键词 psg Lateral-Coupled Junctionless IZO-Based Electric-Double-Layer Thin-Film Transistors Gated by Solid-State phosphorosilicate glass Electrolyte EDL
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在线式链氧下料机缺陷硅片剔除机构优化设计
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作者 薛珺天 申祐齐 《山西电子技术》 2024年第4期11-13,32,共4页
链氧工艺是应用于PERC电池片生产过程中一项新工艺,链氧工艺后易产生大量带有崩边缺角等缺陷的硅片,这些硅片会造成后续设备运行异常,严重影响工厂电池片生产效率及工艺品质。基于此,提出了一种配合视觉检测的在线式链氧下料机缺陷硅片... 链氧工艺是应用于PERC电池片生产过程中一项新工艺,链氧工艺后易产生大量带有崩边缺角等缺陷的硅片,这些硅片会造成后续设备运行异常,严重影响工厂电池片生产效率及工艺品质。基于此,提出了一种配合视觉检测的在线式链氧下料机缺陷硅片剔除机构,解决了在链氧工艺环节硅片连续不间断传送过程中,缺陷硅片难以剔除的技术问题。 展开更多
关键词 自动化 磷硅玻璃(psg) 链氧下料机 剔除机构 视觉检测
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Dynamic Ni gettered by PSG from S-MIC poly-Si and its TFTs
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作者 孟志国 李阳 +5 位作者 吴春亚 赵淑芸 李娟 王文 郭海诚 熊绍珍 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第4期1415-1420,共6页
A dynamic phosphor-silicate glass (PSG) gettering method is proposed in which the processes of the gettering of Ni by PSC and the crystallizing of α-Si into poly-Si by Ni take place simultaneously. The effects of P... A dynamic phosphor-silicate glass (PSG) gettering method is proposed in which the processes of the gettering of Ni by PSC and the crystallizing of α-Si into poly-Si by Ni take place simultaneously. The effects of PSC gettering process on the performances of solution-based metal induced crystallized (S-MIC) poly-Si materials and their thin film transistors (TFTs) are discussed. The crystallization rate is much reduced due to the fact that the Ni as a medium source of crystallization is extracted by the PSC during crystallization at the same time. The boundary between two neighbouring grains in S-MIC poly-Si with PSG looks blurrier than without PSG. Compared with the TFTs made from S-MIC poly-Si without PSC gettering, the TFTs made with PSC gettering has a reduced gate induced leakage current. 展开更多
关键词 metal induced crystallization polycrystalline silicon nickel gettering phosphor-silicate glass psg
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低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺 被引量:4
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作者 宋帅迪 赵广全 +2 位作者 杨冬琴 张竹青 王强 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第11期893-898,共6页
钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降。通过研究激光波长、... 钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降。通过研究激光波长、脉冲频率、激光功率和扫描速度对硅片表面形貌、表面方块电阻、电池性能的影响,探索高效率、低损伤SE太阳电池的制备方法。实验结果表明,在激光波长为1 064 nm、激光功率为2 W、脉冲频率为30 Hz条件下可获得最佳电池性能,SE太阳电池光电转换效率最高达到22.01%,与传统工艺制备的太阳电池相比提升约0.51%。 展开更多
关键词 选择性发射极(SE)太阳电池 激光 选择性掺杂 钝化发射极及背面接触(PERC) 磷硅玻璃(psg)
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IGBT器件栅极漏电问题研究 被引量:1
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作者 巨峰峰 姚伟明 +1 位作者 翁长羽 刘道广 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期738-742,共5页
IGBT器件具有输入阻抗高和导通压降低的优点,在大功率电力电子领域具有广泛的应用,但IGBT器件的栅极漏电问题严重影响产品的成品率和可靠性,是产品制造工艺控制的关键。栅极漏电问题主要由栅氧化层质量、多晶硅栅形貌以及栅极与发射极... IGBT器件具有输入阻抗高和导通压降低的优点,在大功率电力电子领域具有广泛的应用,但IGBT器件的栅极漏电问题严重影响产品的成品率和可靠性,是产品制造工艺控制的关键。栅极漏电问题主要由栅氧化层质量、多晶硅栅形貌以及栅极与发射极之间的隔离等问题所致,通常造成栅极短路漏电的原因比较容易发现,但栅极轻微漏电的原因比较复杂,需要通过科学的分析,才能找到问题的根源。通过对典型栅极漏电(栅极间呈现二极管特性)问题的调查,总结了解决问题的思路和方法,对IGBT芯片制造者或器件应用者有一定的参考作用。 展开更多
关键词 绝缘栅双极型晶体管(IGBT) 漏电 短路 二极管特性 磷硅玻璃(psg) 栅氧(GOX)
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太阳电池生产线氮气使用量的计算
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作者 王伟 刘婷 李锴 《中国建设动态(阳光能源)》 2010年第10期68-69,共2页
本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。
关键词 N2 清洗制绒 去磷硅玻璃(psg) 扩散 刻蚀 甩干 PECVD
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太阳电池生产线氮气使用量的计算
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作者 王伟 刘婷 李锴 《中国建设动态(阳光能源)》 2010年第5期68-69,共2页
本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。
关键词 N2 清洗制绒 去磷硅玻璃(psg) 扩散 刻蚀 甩干 PECVD
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