光阻回刻工艺缺陷与改善方法研究

阐述在金属栅极(例如AL)半导体芯片制造工艺中通常需要引入一段特有流程用来去除多晶硅(Poly)并进行金属再填充。光阻回刻工艺作为该流程中的关键步骤,主要目的是去除Poly顶端的硬质掩膜,便于后道工艺对Poly进行刻蚀。因为NMOS和PMOS的硬质掩膜存在高度差异,以及光阻在不同图形密度区域厚度不同,导致工艺窗口紧张,实际生产维护困难,容易出现包括多晶硅残留在内的多种缺陷,严重影响产品最终良率。为此,通过对缺陷进行分类,探究形成机理,提出对应在线监控方式,能够降低缺陷发生率,并尝试对工艺条件进行优化,提升整体工艺窗口。

基于单片机的视力保护器设计

设计了一种基于单片机的视力保护器。该设计采用模块的设计方法,首先利用单片机内部定时器进行定时;其次使用光敏电阻测量光强并利用超声波模块测距离;最后利用三极管驱动蜂鸣器以及用液晶显示各种数据信息。实现了当学习时间超过45分钟时,产生声光报警,提醒学生注意休息;当光线过强或过暗,产生声光报警,提醒学生在适合的光照环境下学习;当测量的距离小于设定值,产生声光报警,确保学习时眼睛和书本保持一定的距离,从而保护视力。

光电传感器基本特性的计算机数据采集

本文以大学物理实验中"光敏电阻基本特性测量实验"为例,介绍了计算机通用数据采集与处理技术在大学物理实验教学中的具体应用,说明了数据采集器在增强学生感性认识、提高精度、节约时间等方面具有较强的优势。

基于单片机的智能时钟控制装置的设计

以单片机AT89C52和DS12C887时钟芯片为设计平台,在传统时钟的日期显示、闹铃设定及实时报警的固有功能之上增加系统的光线感应、照明控制的功能,进一步推动时钟系统的智能化设计。

太阳能自动追踪系统设计

文章介绍了一种以AT89C52单片机为核心的太阳光线自动跟踪系统,该系统能自动跟踪太阳光线,保证太阳能接收板平面始终与太阳光线垂直。系统结构简单、操作方便、测量精度高、速度快。

滑动式多功能自动窗的设计制作

本项目的目的是设计一种滑动式的多功能自动窗,该窗户的一个主要特点就是能够在家中无人的时候,碰上下大雨,窗户能够自动关闭,辅助功能,如天黑自动关窗等。该项目的核心为相应的传感器、处理器和执行器,传感器采用了温湿度传感器DHT11、光敏电阻,处理器采用了STC12C5412AD,执行器为直流电机。传感器测量的数据,通过处理后,与预先在处理器中设定的值作比较,并做出相应的反应,电机作为执行者,通过齿轮和齿轮条带动窗户移动。

用于微电子机械系统的干膜光刻工艺研究

干膜光阻的光刻工艺因简单廉价,正在逐渐替代传统的光刻工艺.本文针对干膜光刻的贴膜、曝光和显影等工艺参数进行优化,并将其应用于深槽刻蚀.试验结果表明:整套工艺过程简单可靠,几何尺寸控制良好,产品质量高.

LED智能楼道灯的设计

使用热释电红外传感器、菲涅尔透镜和光敏电阻等元器件设计了一个基于热释电红外感应芯片CS9803和非隔离降压型LED驱动芯片R9133的LED智能楼道灯.系统通电后,热释电红外传感器和光敏电阻能够判断人体红外辐射和光照强弱等信息,并发送到控制电路,控制电路根据这些信息进行判断并对LED驱动状态进行操控,从而完成对LED智能楼道灯的控制.

基于单片机的教室智能节能控制系统设计

基于MCS51单片机的教室智能节能控制系统,以TSAL6200红外发光二极管与TSOP1838红外接收器构成的四路红外测量模块动态统计教室内人数,以光敏电阻构成的两路感光模块感知教室内照度,通过驱动电路,实现基于人数的教室灯具自动开关控制。在充分保证教室照度的前提下,有效节约了电能,并延长了灯具的使用寿命。

一款光控频率选择表面的器件开关特性研究

研究了一款光敏电阻型开关,用以实现光控有源频率选择表面(Optically Controlled Active Frequency Selective Surface, OCAFSS)。该开关在LED等光源激励下亮态阻值可小于20Ω,暗态值接近0.2 MΩ,并随着光源强度的变化阻值可调。通过对光敏电阻内部结构的分析以及借鉴硅片型光控微波开关的建模经验,使用CST等电磁仿真软件对该开关进行了建模与仿真。经实物加工和测试,所得测试结果与仿真结果一致,显示出该光敏电阻在频段0.1~1 GHz可切换亮/暗状态,其S21参数分别为-3 dB以上和-10 dB以下,对应的传输信号可以通过或被阻挡;但随着频率的升高,开关效果不再明显,当频率大于2 GHz以后,亮暗态S21均在-7 dB以上,不再具备开关性能。对该光敏电阻的开关特性研究表明,可将其使用于特定频段OCAFSS。为验证这一结论的正确性,我们制作了一款该使用频段的吸波型OCAFSS,最终测试结果与预期值符合。

基于单片机的矩阵式太阳敏感器设计

矩阵式太阳敏感器系统是精度高、测量信息量大并能快速处理的敏感系统。文章设计的矩阵式太阳敏感器,利用光敏电阻作为敏感元件,将光敏电阻排列成4×4矩阵,采用狭缝式光学头部,同时采集到两个轴姿态夹角的数字信息;利用ADC0809对光敏电阻的信号进行模数转换,由单片机STC89C52实现数据的采集和处理,将结果在LCD液晶显示器显示,同时通过串口将结果传输到上位机。实验结果表明,该太阳敏感器具有一定的精度,在一定范围内能够满足太阳的角度测量。

湿法腐蚀金属铝中胶黏附性技术研究

湿法腐蚀相对于干法腐蚀操作简单,成本低廉,用时短,产能高等优点在集成电路制造中获得广泛应用。基于湿法腐蚀存在侧向钻蚀的特性,因此对光刻胶和待腐蚀材料黏附性有一定要求。对于金属湿法腐蚀,光刻胶与金属等之间粘附性牢固程度直接影响到湿法腐蚀金属线条的质量,决定金属线条的形貌。如果湿法腐蚀时发生浮胶,光刻胶和待刻蚀物质侧向钻蚀出现不可控现象,金属线条整体或者局部区域变细,会严重影响到产品使用可靠性。通过实验分析金属铝湿法腐蚀烘箱工艺,确定最佳烘箱工艺条件,提高胶的黏附性,并为建立烘箱温度监控提供指导。

用单片机实现带有温显功能的股票行情提示器

本文介绍的提示器以热敏电阻和光敏电阻为传感器件,采用PIC16C54单片机控制,实现了对室内温度数显、对有线电视传送的股市信息屏定位功能。

直流微电流放大器的一种改进电路

本文叙述了用光电耦合器代替直流微电流放大器中的超高电阻负反馈部分，并对其部分电路作了改进，使微电流放大器实现了高速化。文中给出了测量电路，并进行了理论分析和实验，实验结果与理论相符．

薄膜桥点火电阻器的制备与仿真

采用金属Ni Cr合金箔作为电阻材料,用光刻技术在玻纤板上制备薄膜桥点火电阻器,研究了薄膜桥点火电阻器的发火性能,并结合Ansys仿真软件,建立薄膜桥点火电阻器的有限元模型,模拟了1.5 A、5 ms发火条件下电阻体的电压分布及温度分布情况。试验结果表明:此种薄膜桥点火电阻器具有良好的发火性能。仿真结果表明,施加电载荷时热量主要集中在薄膜桥桥区中心处。