动态集成电路的光声分层成像

利用压电光声技术，对处于工作状态的集成电路器件进行了光声分层成像。同时，在理论上研究了动态集成电路的光声分层成像机理，结果表明，动态器件的光声分层成像，不仅可以突出显示器件中某些一般不易观察到的亚表面结构，而且还可研究器件的工作原理以及分析器件动态失效的原因。显示了动态光声分层成像在半导体领域的应用前景。