基于MEMS加速度微传感器制作工艺及测试

介绍了基于MEMS技术的微型加速度传感器的原理、制作工艺、测试电路及测试结果。设计原理是把加速度变化转换为传感器的电容变化,制作上以硅-玻璃键合技术、玻璃和质量块的腐蚀工艺以及等离子刻蚀技术(ICP)为主要的工艺过程。传感器的测试采用方波为激励信号,采用CMOS电路来提高测量电容的灵敏度。结果表明,该传感器性能稳定、线性范围广、灵敏度高。

霍尔型车速传感器的智能测试系统

霍尔型车速传感器是现代汽车控制系统的重要部件,对这类传感器的特性加以测试成为测试领域一个重要研究方向。介绍了霍尔型车速传感器及其测试系统的组成、原理和测试方法,并且成功地研制了智能车速传感器测试系统。

综合灵敏度和品质因数的电涡流谐振测量电路参数优化

为提高电涡流传感器的性能,综合考虑了测量灵敏度和回路品质因数两个重要影响因素,研究了其谐振测量电路的参数选择优化方法。在不影响问题性质的前提下,建立了调幅谐振电路的等效简化模型。首先推导了电路阻抗和幅频响应函数的解析式,通过MATLAB数值仿真,分析耦合电阻R0,谐振电容C0对灵敏度影响。其次推导了测量回路的品质因数Q公式,并分析了R0和C0对Q的关系。最后通过实验验证参数取值对测量电路的影响,为电涡流传感器测量电路参数优化选择提供了有效的指导和参考。

基于光电耦合技术的绞车传感器

在油气勘探过程中,快速、准确测量井深是录井行业必须解决的难题。该文在介绍光电耦合器的基础上,重点介绍了基于光电耦合技术下设计的一种脉冲式绞车传感器;阐述了传感器脉冲信号处理电路以及传感器技术指标的室内检验技术;探讨了随钻实时测量井深的方法。通过室内检验和现场使用证明,该脉冲式绞车传感器具有测量精度高、误码率低、性价比高等优点,为实现快速、准确测量井深提供了保障。