双光子聚合外齿轮组微加工

文章介绍了用自制双光子聚合加工系统对不同曝光时间下的外齿轮组的微加工成型性进行了研究。在photomer3015材料内实现了外齿轮组的双光子聚合微加工,通过扫描电镜(SEM)分析了外齿轮组的微观形貌。结果表明,随着曝光时间的增加,齿轮组成型性变得较好;曝光时间增加时,总加工时间增加。当激光功率为0.3 m W,曝光时间为10 ms时,成功实现了齿厚为2 mm、分辨率为1.0 mm的外齿轮组的双光子聚合微细加工。