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题名紫外正性光致抗蚀剂的研究进展及应用现状
被引量:4
- 1
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作者
宛盼盼
佘万能
沈革新
屈秀宁
吕仁亮
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机构
湖北省化学研究院
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出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期1-4,共4页
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文摘
酚醛树脂-重氮萘醌型正性光致抗蚀剂主要适用于436nm(G线)-365nm(Ⅰ线)的紫外曝光区域,是目前电子和PS版工业中使用最多的正性抗蚀材料。本文介绍了近年来该类抗蚀剂的国内外进展情况,并对其各个组分进行了归纳综述。
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关键词
光致抗蚀剂
重氮萘醌
酚醛树脂
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Keywords
photoresist, diazo-naphthoquinone, novolac
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分类号
TN23
[电子电信—物理电子学]
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题名两步法合成正性光致抗蚀剂用酚醛树脂的研究
被引量:3
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作者
宛盼盼
佘亚萍
吕兴军
佘湘平
熊莉娜
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机构
湖北省化学研究院
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出处
《化工技术与开发》
CAS
2008年第6期4-7,共4页
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文摘
第一步在甲醛过量的条件下合成2,6-双羟甲基对甲酚预聚体;第二步在无甲醛条件下,通过调节摩尔比、反应时间等实验条件,合成出结构交替的光致抗蚀剂用酚醛树脂。
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关键词
光致抗蚀剂
酚醛树脂
结构交替
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Keywords
photoresist
novolac
tandem structure
preparation
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分类号
TQ323.1
[化学工程—合成树脂塑料工业]
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题名线性酚醛树脂的生产与废水处理
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作者
张福生
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机构
本溪市生物医药工程技术中心
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出处
《化工中间体》
2013年第11期38-41,共4页
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文摘
本文介绍了用于IC、LCD等产业光刻胶原料线性酚醛树脂的生产,对生产中出现的问题提出了处理办法,对环保问题提出了较新的环保处理方法,从而从根本上解决环保问题。
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关键词
光刻胶
线性酚醛树脂
生产
处理办法
环保问题
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Keywords
photoresist novolacs Produce Processing Method Environmental issues
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分类号
TQ323.1
[化学工程—合成树脂塑料工业]
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