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Research on Composite PZT for Largedisplacement Actuators 被引量:3
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作者 沈星 LEE In 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2007年第4期710-713,共4页
A new kind of composite piezoelectric ceramics for large-displacement actuators, which were composed of reduced and unreduced layers, was prepared from normal PZT by chemical reduction. The stress distribution inside ... A new kind of composite piezoelectric ceramics for large-displacement actuators, which were composed of reduced and unreduced layers, was prepared from normal PZT by chemical reduction. The stress distribution inside the composite PZT was researched and the chemical reduction conditions were explored. The actuating properties of reduced PZT were also studied. It is found that the optimal ratio of reduced layer thickness for the composite structure is 0.3; Reduced composite PZT has lower resonance frequency and 3 times larger displacement than that of the traditional PZT; Re-oxide phases are found in reduced layer of composite PZT showing the reduction procedure needs to be improved. 展开更多
关键词 COMPOSITE pzt STRESS chemical reduction actuator
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高于居里温度极化的硬性PZT压电陶瓷的制备及叠层驱动器性能研究
2
作者 江强 施立志 +2 位作者 陈政燃 周志勇 梁瑞虹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1091-1099,共9页
压电叠层驱动器具有低驱动电压、大位移的特点,被广泛应用于诸多领域。作为目前压电叠层驱动器中最常使用的材料,软性锆钛酸铅(PZT)陶瓷较大的介电常数和损耗往往会导致较高的功耗和发热量,进而影响驱动器的疲劳特性和稳定性。为了制备... 压电叠层驱动器具有低驱动电压、大位移的特点,被广泛应用于诸多领域。作为目前压电叠层驱动器中最常使用的材料,软性锆钛酸铅(PZT)陶瓷较大的介电常数和损耗往往会导致较高的功耗和发热量,进而影响驱动器的疲劳特性和稳定性。为了制备出低发热量、适用于压电叠层驱动器的压电陶瓷,本工作选取Mn掺杂(摩尔分数)的Pb(Sb_(1/2)Nb_(1/2))_(0.02)Zr_(0.51)Ti_(0.47)O_(3)-0.6%MnCO_(3)(PSN-PZT)硬性压电陶瓷作为基体材料,通过掺入一定含量的Li_(2)CO_(3)烧结助剂来降低陶瓷的烧结温度,并采用高于居里温度极化工艺进一步提升陶瓷的电学性能。最后采用该材料,利用流延工艺制备出压电叠层驱动器,并与相同工艺制备的Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))_(0.25)(Ti_(0.48)Zr_(0.52))_(0.75)O_(3)(PMN-PZT)驱动器进行比较。结果显示,Li_(2)CO_(3)通过引入液相烧结的方式将PSN-PZT陶瓷烧结温度降低至1050℃。当Li_(2)CO_(3)含量为0.1%(质量分数)时,高于居里温度极化的PSN-PZT陶瓷电学性能最优,其压电系数(d33)和2 kV/mm电场下的单极应变分别为388 pC/N和0.13%。在200 Hz下,PSN-PZT驱动器温升比PMN-PZT驱动器低大约20℃,且经过5×10^(6)次循环后应变仅降低6%。这表明Li_(2)CO_(3)低温烧结的PSN-PZT陶瓷不仅具备不错的压电性能,而且在发热和疲劳特性方面有较大优势,在大功率、高频等苛刻工况中有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 硬性pzt 低温烧结 压电叠层驱动器 温升 疲劳特性
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IMPROVEMENT OF MACHINING ACCURACY OF CANTILEVER BORING BAR SYSTEM USING PIEZOELECTRIC ACTUATOR
3
作者 赵伟明 高栋 +1 位作者 林发荣 陈家荣 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 1998年第1期60-64,共5页
This paper is concerned with the work involved in improving the machining accuracy of a cantilever boring bar by on line compensation with a piezoelectric actuator. A boring bar is made into lever structure, with str... This paper is concerned with the work involved in improving the machining accuracy of a cantilever boring bar by on line compensation with a piezoelectric actuator. A boring bar is made into lever structure, with strain gauges attached to the bar for measuring its force induced deflections. The piezoelectric actuator is employed to compensate the deflections of the boring bar for accuracy improvement. Due to the mechanical advantage of the structure, the boring bar can be made into smaller size. The diameter of the bar implemented is 10 mm and the ratio of length to diameter (L/D) is larger than 8. It is found that the machining accuracy is improved considerably by using the piezoelectric actuator compensation system. 展开更多
关键词 machining accuracy cantilever boring bar pzt actuator
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基于PZT的微驱动定位系统及控制方法的研究 被引量:46
4
作者 孙立宁 孙绍云 +1 位作者 曲东升 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期55-59,共5页
介绍了基于PZT驱动的一维微动工作台。该微动台采用柔性平行板铰链机构,对其进行了出力和位移关系的分析,并且进行了ANSYS的有限元分析设计,求得了系统的固有频率和最大位移。其理论分析、有限元计算和试验测试结果的对比分析的一致性... 介绍了基于PZT驱动的一维微动工作台。该微动台采用柔性平行板铰链机构,对其进行了出力和位移关系的分析,并且进行了ANSYS的有限元分析设计,求得了系统的固有频率和最大位移。其理论分析、有限元计算和试验测试结果的对比分析的一致性说明了理论分析的正确性和数值分析的可靠性。使用精密光栅进行微位移闭环检测,使用哈工大博实精密测控公司研制的压电陶瓷驱动电源。采用单神经元自适应PID控制算法对系统进行控制,单神经元具有自学习和自适应能力,而且结构简单易于计算;而传统的PID调节器也具有结构简单、调整方便和参数整定与工程指标联系密切等特点。推导了单神经元自适应PID控制器,并进行了实验,微位移为20μm时的响应时间为12ms,实验证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 微动工作台 平行板 pzt驱动 单神经元 自适应PID控制 定位系统 微位移机构
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PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究 被引量:32
5
作者 李国荣 陈大任 殷庆瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期418-424,共7页
采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜/金属内电极共烧技术,制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器.该器件具有体积小、工作电压低、位移量大(38V,105μm)的特点.本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产... 采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜/金属内电极共烧技术,制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器.该器件具有体积小、工作电压低、位移量大(38V,105μm)的特点.本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性,从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究. 展开更多
关键词 压电陶瓷 微驱动器 位移 陶瓷 pzt 多层片式
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PZT非线性特性的研究 被引量:11
6
作者 唐凤 黄尚廉 刘光聪 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第3期180-183,191,共5页
对PZT的非线性特性进行了理论和实验研究,给出了施加不同电压时PZT机电耦合特性的实验曲线,详细讨论了施加电压过程与所产生的机械变形之间的关系。最后根据实验结果给出了PZT用作执行元件时的线性工作区。
关键词 pzt 非线性 执行器 锆钛酸铅 压电陶瓷
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纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法 被引量:8
7
作者 吴一辉 王立鼎 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期207-211,共5页
总结了近年来用PZT致动器进行纳米线性定位控制的方法,对其特点和局限性进行了分析,并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。
关键词 pzt致动器 纳米定位 滞后 蠕变 压电换能器
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基于PZT的微驱动定位控制方法的研究 被引量:3
8
作者 孙立宁 孙绍云 +2 位作者 曲东升 王力 蔡鹤皋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第5期436-438,共3页
介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有... 介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有效性。 展开更多
关键词 平行板 pzt驱动 模糊控制
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基于PZT的非球面能动抛光盘定位误差分析 被引量:3
9
作者 胡自强 凌宁 +2 位作者 潘君骅 饶长辉 姜文汉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1577-1581,共5页
研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误... 研制了一个口径为100 mm、含19个PZT驱动器的非球面能动抛光磨盘,用于加工口径为350 mm、k=-1.112 155、顶点半径为840 mm的双曲面镜。为研究定位误差对非球面能动抛光磨盘输出面形精度的影响,对磨盘上任意点所需变形量δ以及由定位误差引入的变形量误差Δδ进行了理论公式推导,并利用有限元分析方法计算得到了当非球面能动抛光磨盘中心到非球面工件中心的距离L为120 mm且δL分别为0,-1.0,-0.5,0.5,1 mm时,非球面能动抛光磨盘输出面形与理论面形比较剩余残差RMS相应分别为0.329,0.454,0.366,0.367,0.461μm,定位误差导致剩余残差RMS分别相应增加0,38%,10.9%,11.2%,40%。因此,定位误差应该控制在±0.5 mm以内。 展开更多
关键词 非球面镜 非球面能动抛光磨盘 定位误差分析 pzt驱动器
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硅基PZT压电功能结构 被引量:2
10
作者 王蔚 田丽 +2 位作者 刘晓为 任明远 张颖 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期583-588,共6页
为获得适合单片集成的硅基PZT压电功能结构,对近年PZT薄(厚)膜在MEMS领域的研究现状进行了综述分析,提出了一种新型的双杯PZT/Si膜片式功能结构。采用有限元方法对双杯PZT/Si膜片进行了结构优化,得到PZT和上下硅杯的结构优化值为DPZT∶D... 为获得适合单片集成的硅基PZT压电功能结构,对近年PZT薄(厚)膜在MEMS领域的研究现状进行了综述分析,提出了一种新型的双杯PZT/Si膜片式功能结构。采用有限元方法对双杯PZT/Si膜片进行了结构优化,得到PZT和上下硅杯的结构优化值为DPZT∶D1∶D2=0.75∶1.1∶1,一阶模态谐振频率为13.2kHz。以氧化、双面光刻、各向异性刻蚀以及精密丝网印刷等工艺技术制作了双杯硅基PZT压电厚膜膜片,膜片具有压电驱动功能,PZT压电膜厚达80μm。实验表明,双杯PZT/Si膜片式功能结构的MEMS技术兼容性好,对芯片内其它元件或电路的影响小,适合作为MEMS片内执行元件的驱动机构。 展开更多
关键词 pzt 压电功能结构 执行器元件 微机电系统
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用PZT作执行器抑制柔性梁的振动 被引量:2
11
作者 唐凤 陈伟民 黄尚廉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第2期106-108,共3页
研究了用PZT作执行器对柔性梁振动的抑制,分析了PZT用作执行器时的电机械性能,表明了PZT执行器在振动抑制中的最佳位置,给出了实验结果。
关键词 pzt执行器 振动抑制 压电陶瓷
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改善PZT微位移器线性的一种方法 被引量:1
12
作者 刘晖 朱日宏 陈进榜 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第5期66-69,共4页
根据锆钛酸铅压电陶瓷堆(PZT)的逆压电效应,。设计了以8031单片机为核心的压电陶瓷堆微位移器,提高了PZT的线性,从而满足了在天文自适应系统中所要求的精确微位移的应用。
关键词 锆钛酸铅 压电陶瓷 微位移驱动器 天文仪器
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分布式PZT片驱动性能的实验研究 被引量:1
13
作者 徐红星 袁新华 《甘肃工业大学学报》 北大核心 2002年第3期78-81,共4页
通过将整块压电陶瓷PZT片分成小片用作驱动元件的实验 ,研究了PZT片大小对其驱动能力的影响 .结果表明 ,减小PZT片的面积既能提高PZT的驱动能力 ,同时还能降低结构的破坏程度 ;另外 ,极化后的PZT片压电效应具有明显的非线性特性 .
关键词 实验研究 pzt 驱动性能 非线性 压电效应 压电陶瓷 锆钛酸铅
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电阻率梯度PZT/ZnO压电复合陶瓷的结构与电性能 被引量:1
14
作者 金灯仁 孟中岩 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期107-113,共7页
研制了具有电阻率和压电系数梯度的PZT/ZnO压电陶瓷,其本身也是一类独石型梯度功能压电陶瓷驱动器(FGMPA),并且它所需的驱动电场比La-PZT/Fe-PZT FGMPA低.分别用电子探针(EPMA)、X衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)查证了其组分、相结构和显微... 研制了具有电阻率和压电系数梯度的PZT/ZnO压电陶瓷,其本身也是一类独石型梯度功能压电陶瓷驱动器(FGMPA),并且它所需的驱动电场比La-PZT/Fe-PZT FGMPA低.分别用电子探针(EPMA)、X衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)查证了其组分、相结构和显微结构的梯度分布.结果表明,显微结构及电性能的梯度分布,主要是由Zn2+的扩散及其在PZT晶界富集造成的,它也是使PZT层中与界面相邻的部分区域电阻率下降的原因.XRD证实了在PZT层中ZnO第二相的存在. 展开更多
关键词 pzt/ZnO复合陶瓷 梯度功能材料(FGM) 电阻率梯度 独石梯度压电驱动器
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PZT压电厚膜的飞秒激光烧蚀及图形化研究
15
作者 刘爽 褚家如 +1 位作者 黄文浩 李保家 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1011-1015,共5页
利用飞秒激光实现了对PZT厚膜(十几至上百微米)材料的精确烧蚀和图形化研究.飞秒激光脉宽为130fs,重复频率为1kHz.首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系,得到飞秒激光烧蚀PZT厚膜的能量阈值为100J/cm2,然后利用功率为50~300mW... 利用飞秒激光实现了对PZT厚膜(十几至上百微米)材料的精确烧蚀和图形化研究.飞秒激光脉宽为130fs,重复频率为1kHz.首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系,得到飞秒激光烧蚀PZT厚膜的能量阈值为100J/cm2,然后利用功率为50~300mW的飞秒激光对PZT压电厚膜进行烧蚀和图形化研究.结合飞秒激光加工的无热影响和无掩膜等特性,在一定的扫描控制下,可以实现对PZT厚膜高精度和高效率的加工.最后,在功率为300mW、扫描速率为5mm/s条件下实现了对PZT厚膜驱动器的图形化.经测试表明,图形化以后,PZT驱动器驱动性能有明显(30%)地提高. 展开更多
关键词 飞秒激光 pzt 图形化 驱动器
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利用PZT执行器的噪声主动控制实验研究
16
作者 陈伟民 张玉璘 +1 位作者 朱永 黄尚廉 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第4期419-423,共5页
根据噪声主动控制原理 ,建立了以 PZT为执行器的噪声主动控制模型 ,研究了用于多输入多输出系统的自适应控制算法。开发出了单输出单输入噪声自适应主动控制系统 ,并且在外界激励分别为单频、多频情况下 ,进行了噪声控制实验 ,在 5 0~ ... 根据噪声主动控制原理 ,建立了以 PZT为执行器的噪声主动控制模型 ,研究了用于多输入多输出系统的自适应控制算法。开发出了单输出单输入噪声自适应主动控制系统 ,并且在外界激励分别为单频、多频情况下 ,进行了噪声控制实验 ,在 5 0~ 45 0 Hz的频段内取得了良好的降噪效果 ,其中 6 5 Hz时的最大降噪达到 2 5 .6 d B。 展开更多
关键词 噪声试验控制 自适应控制 pzt执行器 在线识别
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电场调制FeCoSi/PZT驱动器磁性研究
17
作者 韩学梦 郭晓斌 +2 位作者 王真 左亚路 席力 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期136-140,共5页
采用射频磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备了具有面内单轴各向异性的FeCoSi磁性薄膜。使FeCoSi磁性薄膜初始易磁化方向(称为初始易轴)与PZT驱动器应力方向(长轴方向)平行进行粘接得到FeCoSi/PZT驱动器异质结,用于研究通过电场来调制磁性... 采用射频磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备了具有面内单轴各向异性的FeCoSi磁性薄膜。使FeCoSi磁性薄膜初始易磁化方向(称为初始易轴)与PZT驱动器应力方向(长轴方向)平行进行粘接得到FeCoSi/PZT驱动器异质结,用于研究通过电场来调制磁性薄膜的磁矩转动及各向异性场的场强,并利用微聚焦磁光克尔效应测量了不同电压下FeCoSi磁性薄膜初始难磁化方向(称为初始难轴)的磁滞回线。结果表明:当给PZT驱动器施加正电压时,异质结在张应力的作用下薄膜的易磁化方向保持不变,但各向异性场变大,各向异性场随电压的变化关系约为0.12Oe/V,从而实现了电场对各向异性场场强的调制;当给PZT驱动器施加负电压时,异质结在压应力的作用下使磁矩偏离初始易轴,而磁矩从初始易轴方向转到初始难轴方向所需施加的电压为-80V,从而实现了电场对磁性薄膜磁矩转动的调制。文中实现的通过电场对FeCoSi磁性薄膜磁矩转动和各向异性场的调制有望在低功耗微波器件中得到应用。 展开更多
关键词 压电驱动器 电场调制 磁电耦合 磁矩翻转
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基于PZT薄膜的微系统器件研究进展 被引量:5
18
作者 于海超 尚瑛琦 +1 位作者 刘智辉 张岩 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期1-3,10,共4页
对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述,对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述。对基于PZT薄膜微系统(MEMS)器件的发展趋势进行了展望。
关键词 锆钛酸铅压电陶瓷(pzt) 传感器 能量收集器 驱动器
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基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
19
作者 乔治 许宝建 +2 位作者 周洪波 金庆辉 赵建龙 《微细加工技术》 EI 2006年第6期28-31,共4页
设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation... 设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采用计算流体力学模拟(CFD-simulation)对其进行了结构设计、进样模拟和喷样模拟,结果表明,液体能成功进样及喷样。同时当微管道尺寸小于40μm时,喷样过程中微管道内将不再产生回流,证明双PZT驱动器的芯片设计合理,为该芯片的制作打下基础。 展开更多
关键词 微喷芯片 pzt驱动器 回流 CFD模拟
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高压电常数PSN-PZT压电陶瓷的制备与性能研究 被引量:1
20
作者 戴昭波 王五松 +2 位作者 褚涛 张元松 燕周民 《材料保护》 CSCD 北大核心 2016年第S1期34-36,共3页
采用传统的固相烧结法制备了三元系Pb_(0.82)Sr_(0.13)Ba_(0.05)(Sb_(1/3)Nb_(2/3))_(0.02)(Zr_(1/2)Ti_(1/2))_(0.98)O_3-wBi_2O_3(PSN-PZT-wBi)压电陶瓷,并研究了Bi^(3+)掺杂对压电陶瓷电性能的影响。结果表明,当Bi_2O_3掺杂量在0.25... 采用传统的固相烧结法制备了三元系Pb_(0.82)Sr_(0.13)Ba_(0.05)(Sb_(1/3)Nb_(2/3))_(0.02)(Zr_(1/2)Ti_(1/2))_(0.98)O_3-wBi_2O_3(PSN-PZT-wBi)压电陶瓷,并研究了Bi^(3+)掺杂对压电陶瓷电性能的影响。结果表明,当Bi_2O_3掺杂量在0.25wt%时,PSN-PZT压电陶瓷具有最优异的电学性能:d_(33)=980 pC/N,k_p=0.83,ε_r=6 855,tanδ=0.04,T_c=150℃。 展开更多
关键词 高压电常数 高介电常数 PSN-pzt-wBi陶瓷 执行器
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