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压电晶体双晶片汞传感器
1
作者
李光云
陆新根
+1 位作者
王科峰
杜根娣
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1994年第1期53-56,共4页
设计了新型的压电晶体传感器探头,使参考晶片与传感晶片同时直接接触待测气体.试验了使用该结构的压电晶体双晶片汞传感器的测汞性能和对水份干扰的影响.实验结果表明:在相当大的范围内.参考晶片接触待测气体并不影响传感器对汞蒸...
设计了新型的压电晶体传感器探头,使参考晶片与传感晶片同时直接接触待测气体.试验了使用该结构的压电晶体双晶片汞传感器的测汞性能和对水份干扰的影响.实验结果表明:在相当大的范围内.参考晶片接触待测气体并不影响传感器对汞蒸汽的探测,而且还减少了水份等气氛的干扰.
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关键词
压电晶体
汞传感器
晶片
传感器
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职称材料
题名
压电晶体双晶片汞传感器
1
作者
李光云
陆新根
王科峰
杜根娣
机构
中科院上海冶金研究所
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1994年第1期53-56,共4页
文摘
设计了新型的压电晶体传感器探头,使参考晶片与传感晶片同时直接接触待测气体.试验了使用该结构的压电晶体双晶片汞传感器的测汞性能和对水份干扰的影响.实验结果表明:在相当大的范围内.参考晶片接触待测气体并不影响传感器对汞蒸汽的探测,而且还减少了水份等气氛的干扰.
关键词
压电晶体
汞传感器
晶片
传感器
Keywords
piezoelectric crystal
,
mercury sensor
,
sensitive water
,
referencewafer.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电晶体双晶片汞传感器
李光云
陆新根
王科峰
杜根娣
《应用科学学报》
CAS
CSCD
1994
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