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FABRICATION OF PIEZOELECTRIC BIMORPH USING LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM DEPOSITED BY HYDROTHERMAL METHOD
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作者 DU Liqun Lü Yan +1 位作者 DONG Weijie GAO Xiaoguang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第6期5-8,共4页
In order to describe the characteristics of piezoelectric bimorph, properties of lead zirconate titanate (LZT) film are studied by X-ray diffraction (XRD) and scanning eletron microscope (SEM). The ratio of PbTi... In order to describe the characteristics of piezoelectric bimorph, properties of lead zirconate titanate (LZT) film are studied by X-ray diffraction (XRD) and scanning eletron microscope (SEM). The ratio of PbTiOJPbZrO3 in LZT is 53/47, which is around morphotropic phase boundary (MPB). LZT film is composed of cubic particles with the average size of 5 ~ma. Density of thin film is figured out through the datum measured in experiments. The displacement model used to analyze the driving ability of bimorph is set up, and the effect of elastic intermediate layer is taken into account. Piezoelectric coefficient of LZT film is worked out by using the displacement model. Experiments of driving ability show that deformation of bimorph free end does not increase with times of crystal growth processes and the maximum deformation is obtained after two times crystal growth processes. Finally, the ferroelectric property of the bimorph is investigated and coercive voltage of the bimorph is obtained. 展开更多
关键词 piezoelectric bimorph lead zirconate titanate (LZT) film Hydrothermal method
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不同纤维增强对PZT/PVA复合材料性能影响的研究 被引量:1
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作者 姬程飞 宋崇阳 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期114-122,128,共10页
压电陶瓷复合材料较低的力学性能限制其应用。为进一度探究纤维种类及掺量对锆钛酸铅(PZT)/聚乙烯醇(PVA)复合材料性能影响规律,对不同纤维掺量下碳纤维/PZT/PVA、芳纶纤维/PZT/PVA复合材料开展电学及力学性能测试,分析纤维种类、掺量及... 压电陶瓷复合材料较低的力学性能限制其应用。为进一度探究纤维种类及掺量对锆钛酸铅(PZT)/聚乙烯醇(PVA)复合材料性能影响规律,对不同纤维掺量下碳纤维/PZT/PVA、芳纶纤维/PZT/PVA复合材料开展电学及力学性能测试,分析纤维种类、掺量及PZT/PVA体积比对试件介电、压电性能及弯曲、拉伸性能的影响规律,并结合电镜扫描(SEM)分析纤维掺量对试件性能的影响。结果表明,少量的纤维掺量能够提高复合材料的电学性能,过量的纤维使得复合材料结构孔隙结构增加,介质常数和压电常数均减小,介质损耗增大。7%芳纶纤维/0.5PZT/0.5PVA、5%芳纶纤维/0.6PZT/0.4PVA、3%芳纶纤维/0.7PZT/0.3PVA复合材料的介电性能和压电性能较高。芳纶纤维掺量为9%时,芳纶纤维/0.5PZT/0.5PVA、芳纶纤维/0.6PZT/0.4PVA、芳纶纤维/0.7PZT/0.3PVA、芳纶纤维/0.8PZT/0.2PVA复合材料的弯曲强度分别提高了10.72%、14.49%、13.85%及16.78%,拉伸强度分别提高了24.04%、23.94%、27.00%和28.52%。纤维在试件内部形成网状结构从而提升试件力学性能,且由于芳纶纤维不导电,因此可以在复合材料中加入芳纶纤维的数量比碳纤维多,其力学性能也会大大提高。 展开更多
关键词 碳纤维 芳纶纤维 锆钛酸铅/聚乙烯醇 介电性能 压电性能 力学性能 微观结构
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ZnO亚微球添加对放电等离子烧结PZT陶瓷结构和性能的影响
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作者 张志伟 刘志阳 +1 位作者 秦雷 梁立兴 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期19-26,共8页
通过溶剂热法合成由纳米点组成的均匀ZnO亚微球,并将ZnO亚微球添加到PZT5A粉体中进行放电等离子烧结,研究ZnO亚微球添加对PZT陶瓷物相组成、微观结构及电学性能的影响。结果表明:采用放电等离子烧结法能够在900℃保温5 min条件下制备出... 通过溶剂热法合成由纳米点组成的均匀ZnO亚微球,并将ZnO亚微球添加到PZT5A粉体中进行放电等离子烧结,研究ZnO亚微球添加对PZT陶瓷物相组成、微观结构及电学性能的影响。结果表明:采用放电等离子烧结法能够在900℃保温5 min条件下制备出相对密度超过97%的PZT陶瓷。ZnO亚微球的添加有利于PZT陶瓷的烧结和晶粒生长,随着ZnO亚微球添加量的增加,PZT三方相(R)的含量逐渐增大。适量ZnO亚微球的添加能够改善PZT陶瓷的压电性能和介电性能,ZnO质量分数为0.10%时,材料的综合性能最优,在1 kHz频率下,压电常数d_(33)=432 pC/N,机电耦合系数k_(p)=0.56,机械品质因数Q_(m)=69.8,相对介电常数ε_(r)=1360,介电损耗tanδ=0.0227。 展开更多
关键词 锆钛酸铅 压电陶瓷 放电等离子烧结 压电性能 介电性能
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基于PZT压电陶瓷的SiC MOSFET缓冲吸收电路 被引量:1
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作者 韩绪冬 孙鹏 +3 位作者 邹铭锐 王宇雷 牛富丽 曾正 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第18期7240-7253,共14页
在高速关断过程中,碳化硅(silicon carbide,SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管器件呈现出严重的电压过冲和振荡,降低器件电压裕量。通常,采用缓冲吸收电路改善SiC器件的关断电压轨迹。然而,现有研究忽略SiC器件与吸收电路的交互规律和... 在高速关断过程中,碳化硅(silicon carbide,SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管器件呈现出严重的电压过冲和振荡,降低器件电压裕量。通常,采用缓冲吸收电路改善SiC器件的关断电压轨迹。然而,现有研究忽略SiC器件与吸收电路的交互规律和工作温度对吸收电路性能的影响,限制缓冲吸收电路的应用。针对这些问题,该文提出一种基于锆钛酸铅(lead zirconate titanate,PZT)压电陶瓷的缓冲吸收电路,分析PZT的温度特性,通过建立半桥电路与PZT缓冲吸收电路的高精度交互模型,揭示PZT缓冲吸收电路与SiC器件的耦合规律,利用特征方程-根轨迹方法,定量刻画PZT缓冲吸收电路的参数设计域。对比评估工作温度对多种缓冲吸收电路性能的影响。实验结果表明,所提设计方法能很好地抑制关断电压过冲与振荡,验证设计方法的有效性。相较于传统RC缓冲吸收电路,PZT缓冲吸收电路在工作温度发生变动后,仍然具有很好的抑制效果,且抑制效果随工作温度的上升而不断增强。为SiC功率器件的暂态稳定性分析,以及功率模块和缓冲吸收电路的集成设计,提供有益的参考。 展开更多
关键词 碳化硅金属–氧化物半导体场效应晶体管 锆钛酸铅压电陶瓷 缓冲吸收电路 定量设计模型 温度特性
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Influence of Composition on Properties of BNT-BT Lead-Free Piezoceramics 被引量:4
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作者 黄新友 高春华 +1 位作者 陈志刚 刘会平 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z2期321-324,共4页
Lead-free piezoelectric ceramics of (Bi1/2Na1/2)TiO3-BaTiO3(BNT-BT) were prepared by the conventional piezoelectric ceramic preparation technique (free air atmosphere sintering). The influence of BaTiO3 additive amoun... Lead-free piezoelectric ceramics of (Bi1/2Na1/2)TiO3-BaTiO3(BNT-BT) were prepared by the conventional piezoelectric ceramic preparation technique (free air atmosphere sintering). The influence of BaTiO3 additive amount and La2O3 additive amount on the properties of BNT-BT lead-free piezoceramics were investigated. The results show that the dielectric constant(ε) and piezoelectric strain constant(d33) of materials start increasing and then decreasing while BaTiO3 additive amount increasing, the e and d33 of materials have maximum value (ε= 1650, d33 = 120 PC·N -1 ) while x (BaTiO3) =0.06 mol. Theεand d33 of materials start increasing and then decreasing while La2O3 additive amount increasing, the e and d33 of materials have maximum value (ε= 1684, d33 = 153 PC·N-1) while w(La2O3) =0.3% . The influence of La2O3 additive amount on the microstructure of BNT-BT piezoelectric ceramics was analysed by SEM( scanning electron microscope). The influence mechanism of La2O3 additive amount on the properties of BNT-BT piezoelectric ceramics was discussed. The BNT-BT ceramics with optimum comprehensive properties were obtained. 展开更多
关键词 (Bi1/2Na1/2)TiO3 lead-free piezoelectric ceramics piezoelectric ceramics lanthanum oxide barium titanate
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Design and Characterization of a Low-Cost Piezoelectric Vibration Energy Harvester with Bulk PZT Film 被引量:2
6
作者 TIAN Xingyao HE Xuefeng 《Instrumentation》 2018年第4期30-38,共9页
To improve the efficiency of MEMS piezoelectric vibration energy harvesters(PVEHs), the bulk lead zirconate titanate(PZT) has been used to substitute the thin film PZT for the higher mechanical-electrical coupling coe... To improve the efficiency of MEMS piezoelectric vibration energy harvesters(PVEHs), the bulk lead zirconate titanate(PZT) has been used to substitute the thin film PZT for the higher mechanical-electrical coupling coefficients. The expensive equipment of micromachining set a high entry barrier on the research of PVEHs with high efficiency. To solve this issue, this paper developed an efficient PVEH with bulk PZT using common precision machining, whose dimensions and electrical outputs are comparable to the MEMS devices. After numerically analyzing the effects of the length ratio of the proof mass to the harvester on the output power, a compact PVEH consisting of a cantilevered uni-morph and a tungsten proof mass was designed. Simulations show that the mechanical damping ratio and the thickness have little effects on the optimized length ratio. By using a uni-morph with the copper structural layer of about 80-90μm and the bulk PZT-5 H layer of 139μm, a low-cost harvester prototype was assembled. The key parameters of the prototype were experimentally identified and compared with the theoretical predictions. Under the harmonic base excitation of 0.4 g(where g = 9.8 m/s^2) at 160 Hz, the maximum output power of the prototype is about 76.7μW, with the normalized power density of about 3.35 mW/cm^3/g^2. Under base excitation of 0.4 g at 159 Hz, the prototype charged a 680μF capacitor from 0 to 4.84 V in about 154 seconds. 展开更多
关键词 Energy Harvesting VIBRATION piezoelectricITY Bulk lead zirconate titanate Precision Machining
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基于PZT薄膜的高频压电式微机械超声换能器的仿真与制备
7
作者 刘亚琦 陈明珠 +8 位作者 张巧珍 赵祥永 王巨杉 唐艳学 王飞飞 王书豪 汪尧进 苗斌 李加东 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2023年第5期597-608,共12页
压电式微机械超声换能器(PMUT)是当前生物医学超声成像领域的研究热点.锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3),PZT)压电薄膜是近年来微机械超声换能器使用的核心压电材料.基于PZT压电薄膜,使用有限元软件COMSOL Multiphysics创建了三维有限元仿... 压电式微机械超声换能器(PMUT)是当前生物医学超声成像领域的研究热点.锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3),PZT)压电薄膜是近年来微机械超声换能器使用的核心压电材料.基于PZT压电薄膜,使用有限元软件COMSOL Multiphysics创建了三维有限元仿真模型,并在(0,1)模态下研究了压电薄膜结构的几何参数,其谐振频率达到222.12 MHz,有效机电耦合系数(keff)为5.13%.采用光刻和刻蚀方法制备了PZT压电薄膜的PMUT单元原型器件.该器件的空腔结构完整,谐振频率在(0,1)模态下为25.87 MHz,仿真与测试结果相似,振动模态较纯,振动位移性能较好.研究结果表明:采用PZT压电薄膜的PMUT在高分辨率、高频医学超声成像中具有较好的应用前景. 展开更多
关键词 压电式微机械超声换能器(PMUT) 高频 锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3) pzt)薄膜 器件制备
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Properties of La_2O_3-Doped PNSZT Piezoelectric Ceramics Having Tetragonal and Rhombohedral Coexistent Phases
8
作者 黄新友 高春华 陈志刚 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z2期255-258,共4页
The relationship between composition and the electric mechanical properties for La2O3-doped lead niobium stibium zirconate titanate(La2O3-doped PNSZT) piezoelectric ceramics,in which there are tetragonal and rhombohed... The relationship between composition and the electric mechanical properties for La2O3-doped lead niobium stibium zirconate titanate(La2O3-doped PNSZT) piezoelectric ceramics,in which there are tetragonal and rhombohedral coexistent phases, was studied. A series of piezoelectric ceramics with good properties was obtained, having dielectric constants (ε= 1500 ~ 2500), plane electromechanical coupling factor(Kp = 0.45 ~ 0.65), mechanical quality factor( Qm = 500 ~ 1600). These materials are used for making ultrasonic sensor and filter, and marine acoustic launching and receiving device, and so on. It has been explored that the influence of composition on the lattice constant and phase composition of La2O3-doped PNSZT piezoelectric ceramics by XRD(X-ray diffraction) . The character of dielectric constant changing of La2O3-doped PNSZT piezoelectric ceramics before polarization and after polarization was studied. The affecting mechanism about composition on the electric machine properties of phase coexistent La2O3-doped PNSZT piezoelectric ceramics was analyzed and discussed. 展开更多
关键词 ceramics LA2O3 lead niobium stibium zirconate titanate piezoelectric ceramics rare earths
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Effects of loading contact on electric-power generation of lead zirconate titanate piezoelectric ceramic plate 被引量:1
9
作者 Mitsuhiro OKAYASU Tsukasa OGAWA 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE CSCD 2019年第4期509-518,共10页
To better understand the generation of electric power for piezoelectric Pb Zr Ti O3(PZT)ceramic plate(?25 mm),an attempt was made to investigate experimentally and numerically electricpower generation characteristics ... To better understand the generation of electric power for piezoelectric Pb Zr Ti O3(PZT)ceramic plate(?25 mm),an attempt was made to investigate experimentally and numerically electricpower generation characteristics during cyclic bending under various loading fixtures(?0–?20 mm),i.e.,different contact areas.Increasing the load-contact area on the PZT ceramic leads to a nonlinear decrease in the generated voltage.Decreasing contact area basically enhances the generated voltage,although the voltage saturates during loading when the contact area is less than?5 mm.A similar voltage is generated for?0 and?5 mm,which is attributed to strain status(ratio of compressive and tensile strain)and material failure due to different stress distribution in the PZT ceramic.On the basis of the obtained electric generation voltage,suitable loading conditions are clarified by loading with the?5 mm fixture,which generates a higher voltage and a longer lifetime of the PZT ceramic.From this approach,it is appeared that the area contact with the area ratio of 0.04(?5 mm/?20 mm)is suitable to obtain the high efficiency of the electric voltage. 展开更多
关键词 piezoelectric ceramic lead zirconate titanate ceramic ELECTRIC power generation
原文传递
路面用PZT/沥青压电复合材料的制备及性能 被引量:15
10
作者 谭忆秋 钟勇 +2 位作者 吕建福 欧阳剑 周水文 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期975-980,共6页
以锆钛酸铅PZT-5H为压电相,沥青为基体,采用热压成型法制备0-3型PZT/沥青压电复合材料.分析了此复合材料的制备工艺、极化条件及PZT的体积分数对压电应变常数d33的影响,测试了其介电性能,并完成了动态荷载作用下压电响应的测试.结果表明... 以锆钛酸铅PZT-5H为压电相,沥青为基体,采用热压成型法制备0-3型PZT/沥青压电复合材料.分析了此复合材料的制备工艺、极化条件及PZT的体积分数对压电应变常数d33的影响,测试了其介电性能,并完成了动态荷载作用下压电响应的测试.结果表明:优化的制备工艺为成型压应力10MPa,成型时间3min;最佳的极化条件是极化电场强度为3kV/mm,极化时间为10min,极化温度为50℃;PZT的最佳体积分数为75%;沥青基压电复合材料的相对介电常数εr及压电应变常数d33分别为32.95和53.7pC/N,荷载响应稳态输出电压为7.2V,其储存的能量为259.2μJ. 展开更多
关键词 锆钛酸铅 沥青压电复合材料 制备工艺 极化条件 压电性能 沥青路面
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四方相锆钛酸铅陶瓷制备及温度稳定性研究
11
作者 杨洋 侯育冬 +2 位作者 杜红亮 张阿梅 侯鸿平 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期351-355,共5页
采用传统固相法制备了Pb(Zr_(1-x)Ti_(x))O_(3)陶瓷,通过调节锆钛摩尔比将其定位于四方区域以改善温度稳定性,并通过优化烧结温度改善电学性能。实验结果表明,当x=0.52时,体系处于四方区域,此时陶瓷的温度稳定性有所提升,在室温~300℃时... 采用传统固相法制备了Pb(Zr_(1-x)Ti_(x))O_(3)陶瓷,通过调节锆钛摩尔比将其定位于四方区域以改善温度稳定性,并通过优化烧结温度改善电学性能。实验结果表明,当x=0.52时,体系处于四方区域,此时陶瓷的温度稳定性有所提升,在室温~300℃时,d33变化率为±14.7%。在1250℃下烧结的Pb(Zr_(0.48)Ti_(0.52))O_(3)陶瓷具有最佳的电学性能:压电常数d_(33)=183 pC/N,居里温度TC=402℃,相对介电常数ε_(r)=1209。 展开更多
关键词 压电陶瓷 锆钛酸铅 四方相 温度稳定性 烧结温度
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新型Sol-Gel技术PZT铁电厚膜的制备及电学性能研究 被引量:6
12
作者 夏冬林 刘梅冬 +3 位作者 曾亦可 李军 黄焱球 刘少波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1156-1160,共5页
采用新型sol-gel技术在 Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为 2~60μm的PZT铁 电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PZT厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构,无焦绿石相存在.S... 采用新型sol-gel技术在 Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为 2~60μm的PZT铁 电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PZT厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构,无焦绿石相存在.SEM电镜照片显示,PZT膜厚均匀一致,无裂 纹、高致密.厚度为50μm的PZT厚膜的介电常数为860,介电损耗为0.03,剩余极化强度 是25μC/cm2.矫顽场是40kV/cm. 展开更多
关键词 sol-gel技术 介电性能 铁电性能 铁电陶瓷 pzt铁电厚膜 制备 溶胶-凝胶方法
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高取向度PZT铁电薄膜的研制 被引量:6
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作者 王西成 曹伟 +1 位作者 田杰 莫小洪 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期16-18,共3页
用无机盐替代锆的醇盐,通过Sol-Gel方法,合成均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti/SiO2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理,制备出沿(100)高度定向的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的铁电性能。
关键词 锆钛酸铅 溶胶-凝胶 铁电薄膜 薄膜
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Sb_2O_3掺杂对PZT压电陶瓷微观结构与性能的影响 被引量:13
14
作者 凌志远 邱文辉 王科 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期31-34,共4页
Sb2O3掺入量(均为质量分数)<1.9%时,晶体结构为纯钙钛矿相,平均晶粒尺寸随掺入量增大由17μm减小至2μm,压电活性逐渐增强;Sb2O3掺入量>1.9%时,为钙钛矿与焦绿石两相复合结构,随Sb2O3掺入量增加,平均晶粒尺寸保持稳定,压电活性减... Sb2O3掺入量(均为质量分数)<1.9%时,晶体结构为纯钙钛矿相,平均晶粒尺寸随掺入量增大由17μm减小至2μm,压电活性逐渐增强;Sb2O3掺入量>1.9%时,为钙钛矿与焦绿石两相复合结构,随Sb2O3掺入量增加,平均晶粒尺寸保持稳定,压电活性减弱;Sb2O3掺入量为1.9%~2.0%处,压电活性最强。主要性能指标:εr为1925,tgδ为2.35×10–2,d33为440pC/N,kp为64%,Qm为70,tC为300℃。 展开更多
关键词 无机非金属材料 锆钛酸铅 掺杂 显微结构 压电性能
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PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制 被引量:6
15
作者 夏冬林 刘梅冬 +2 位作者 曾亦可 陈实 赵修建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期196-199,共4页
对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。
关键词 锆钛酸铅(pzt) 铁电厚膜 铁电声纳换能器 湿法化学刻蚀
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PZT铁电薄膜Sol-Gel技术制备和电性能研究 被引量:6
16
作者 夏冬林 刘梅冬 +1 位作者 赵修建 周学东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期354-360,共7页
以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,通过在Pt/Ti/siO2/si基片与PZT薄膜之间引入PT种子层,采用改进的sol-gel工艺制备出无裂纹,致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀的单... 以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,通过在Pt/Ti/siO2/si基片与PZT薄膜之间引入PT种子层,采用改进的sol-gel工艺制备出无裂纹,致密性好,晶粒尺寸小且分布均匀的单一钙钛矿结构的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜.实验结果表明,具有PT种子层的PZT铁电薄膜电性能较好.经600℃热处理的具有PT种子层的PZT薄膜,在1kHz测试频率下,其剩余极化强度和矫顽场分别为20μC/cm2和59kV/cm,介电常数和介电损耗分别为385和0.030. 展开更多
关键词 锆钛酸铅 pzt铁电薄膜 电性能 PT种子层 SOL-GEL法 热处理 电滞回线 I-V特性 介电常数
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PZT-PMN-BF高活性粉体及压电变压器的制备 被引量:3
17
作者 田玉明 徐明霞 +5 位作者 孙清池 陆翠敏 朱超锋 郝虎在 黄平 徐廷献 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1303-1307,共5页
以柠檬酸和乙二胺四乙酸为螯合剂,乙二醇为溶剂,通过溶胶凝胶法制备了一种满足压电变压器应用要求的0.9Pb(Zr0.53Ti0.47)O30.04Pb(Mn1/3Nb2/3)O30.06BiFeO3四元系压电陶瓷前驱体粉体。该粉体经650℃煅烧后呈钙钛矿结构,瓷体在1 020℃的... 以柠檬酸和乙二胺四乙酸为螯合剂,乙二醇为溶剂,通过溶胶凝胶法制备了一种满足压电变压器应用要求的0.9Pb(Zr0.53Ti0.47)O30.04Pb(Mn1/3Nb2/3)O30.06BiFeO3四元系压电陶瓷前驱体粉体。该粉体经650℃煅烧后呈钙钛矿结构,瓷体在1 020℃的低温下实现了致密烧结,材料的主要参数为:d31=-98.94×10-12C/N,d33=242×10-12C/N,K33=0.639,K31=0.303,Kp=0.535,Qm=1 880,能满足压电变压器的要求。开发的Rosen型压电陶瓷变压器使用100 MΩ负载在5 V的低电压驱动下,升压比能达到950倍以上。 展开更多
关键词 铌锰锆钛酸铅系粉体 溶胶-凝胶法 压电陶瓷 压电变压器
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PZT94/6陶瓷热释电性能 被引量:4
18
作者 杨同青 王旭升 +1 位作者 张良莹 姚熹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期492-494,共3页
采用Byer-Roundy法,在-120℃~+225℃范围内对PZT94/6陶瓷热释电性进行了研究。在35℃左右出现的热释电电流峰是由FRL-FRH相变引起的。利用此相变特性,可以获得较大的热释电系数,最大可达120&... 采用Byer-Roundy法,在-120℃~+225℃范围内对PZT94/6陶瓷热释电性进行了研究。在35℃左右出现的热释电电流峰是由FRL-FRH相变引起的。利用此相变特性,可以获得较大的热释电系数,最大可达120×10-8C/cm2·k。 展开更多
关键词 热释电 铁电陶瓷 pzt 锆钛酸铅
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用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化 被引量:3
19
作者 娄利飞 杨银堂 李跃进 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期453-455,共3页
采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL... 采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL:4drops(4滴HF溶液)配比的腐蚀液在室温下对未结晶的PZT压电薄膜进行了湿法腐蚀微细加工;然后,对图形化好的压电薄膜进行再结晶的热处理,实验结果表明这种方法可用于压电薄膜微器件的制备。 展开更多
关键词 锆钛酸铅(pzt) 压电薄膜 微传感器 湿法化学刻蚀
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基于PZT片的智能骨料受力性能试验研究 被引量:10
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作者 阎石 吴杰 Gang-bing SONG 《混凝土》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期61-63,67,共4页
PZT传感器在混凝土结构的健康检测中应用日益广泛。为了减小外部环境对PZT片工作性能的影响,将其放于一个小体积的混凝土砌块中并将这种新型的传感器称为智能骨料。作为一种新型的压电陶瓷传感器,中外学者对它的封装和保护方法进行了探... PZT传感器在混凝土结构的健康检测中应用日益广泛。为了减小外部环境对PZT片工作性能的影响,将其放于一个小体积的混凝土砌块中并将这种新型的传感器称为智能骨料。作为一种新型的压电陶瓷传感器,中外学者对它的封装和保护方法进行了探讨,但是对其本身受力性能的研究仍然处于初步阶段。进行了智能骨料的受压和受剪静力性能试验,通过被动检测技术对骨料的破坏过程进行实时监测直到骨料外包材料破坏为止。试验结果表明:智能骨料内部压电陶瓷片尺寸是影响其抗压与抗剪能力的主要因素,骨料外包层和内部压电陶瓷片尺寸越小,其智能骨料的抗压与抗剪能力越强。智能骨料良好抗压和抗剪能力为其在工程中的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 智能骨料 被动检测技术 压电陶瓷(锆钛酸铅) 受力性能
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