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Enhancing Accuracy of Flexible Piezoresistive Pressure Sensors by Suppressing Seebeck Effect
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作者 SUI Jingliang DU Minzhi +4 位作者 JING Yuanyuan YANG Xiaona WAN Xuefen YANG Yi ZHANG Kun 《Journal of Donghua University(English Edition)》 CAS 2021年第6期498-503,共6页
Flexible piezoresistive pressure sensors can offer convenient detection of mechanical deformations for wearable electronics.Previous studies of flexible piezoresistive pressure sensors focus on the sensitivity but the... Flexible piezoresistive pressure sensors can offer convenient detection of mechanical deformations for wearable electronics.Previous studies of flexible piezoresistive pressure sensors focus on the sensitivity but the low-cost and self-powered sensors remain a challenge due to the deviation of resistance signal acquisition caused by thermoelectric voltage.Here,piezoresistive pressure sensors with ultralow Seebeck coefficient of-0.72μV/K based on carbon nanotubes(CNTs)/polyethyleneimine(PEI)/melamine(CPM)sponge are reported.Due to the diminished Seebeck effect,the CPM sponge pressure sensors successfully reduce the deviation to 18.75%and can keep stable sensitivity and resistance change under a very low working voltage and change temperature environment.The stable properties of the sensors make them successful to work for real-time sensing in self-powered wearable electronics. 展开更多
关键词 piezoresistive pressure sensor carbon nanotube(CNT) Seebeck effect deviation in resistance measurement thermoelectric voltage
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MEMS正装传感器复合钝化层高温可靠性的研究
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作者 刘润鹏 赵妍琛 +4 位作者 刘东 雷程 梁庭 冀鹏飞 王宇峰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第6期19-25,共7页
绝缘体上硅(SOI)所制备的压阻式正装压力传感器可在高温下良好工作,但高温环境下电阻条和金属引线长期暴露在环境中易受到氧化和腐蚀,对传感器的输出造成影响,使电学性能发生变化甚至失效,为避免这种情况,通常在表面进行钝化处理。文中... 绝缘体上硅(SOI)所制备的压阻式正装压力传感器可在高温下良好工作,但高温环境下电阻条和金属引线长期暴露在环境中易受到氧化和腐蚀,对传感器的输出造成影响,使电学性能发生变化甚至失效,为避免这种情况,通常在表面进行钝化处理。文中采用SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合钝化层对SOI正装传感器芯片进行钝化,并且对钝化层进行高温老化考核,模拟高温和恶劣环境,验证其高温可靠性。实验结果表明:按照SiO_(2)厚度为200 nm、Si_(3)N_(4)厚度为300 nm的SiO_(2)-Si_(3)N_(4)复合钝化层能在350℃高温下对正装传感器进行有效保护且电学性能完好,满足芯片在高温下可靠性的要求。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压阻式正装压力传感器 复合钝化层 高温可靠性
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基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器
3
作者 康裕 王俊强 +3 位作者 曹咏弘 董琪琪 李云飞 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期79-85,共7页
针对传统微机电系统(MEMS)压力传感器性能难以提升且结构复杂等问题,制备了一种基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器结构。在Si_(3)N_(4)薄膜上刻蚀了阵列纳米孔作为压力腔,使用单层石墨烯夹在氮化硼薄膜间作为敏感结构,平铺于纳米孔阵... 针对传统微机电系统(MEMS)压力传感器性能难以提升且结构复杂等问题,制备了一种基于纳米孔的宽量程石墨烯压力传感器结构。在Si_(3)N_(4)薄膜上刻蚀了阵列纳米孔作为压力腔,使用单层石墨烯夹在氮化硼薄膜间作为敏感结构,平铺于纳米孔阵列上,由金布线层导出信号。测试表明,在0~20 MPa压力范围内,该压力传感器的灵敏度为9.35×10^(-5) MPa^(-1),重复性误差为满量程输出(FSO)的5.70%,迟滞为1.91%FSO,线性度为2.43%FSO,其重复性与线性度良好且迟滞较小。设计的宽量程石墨烯压力传感器能够实现0~20 MPa以内的压力测量,且器件加工一致性高、测量误差小、制备方法相对简单,有助于降低生产成本和提高生产效率,在压力测试领域展现出良好的应用前景。 展开更多
关键词 纳米孔 石墨烯 压力传感器 微机电系统(MEMS) 压阻效应
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基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析
4
作者 刘宝伟 王振廷 +3 位作者 宁金明 陈宝成 王元委 毕宏宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期15-18,共4页
某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯... 某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯体进行分析,通过显微镜、手捻法等方式方法,确定硅油中存在气泡导致传感器低气压段输出偏高,并对气泡中压力与输入压力之间的3类关系进行分析,得到输入压力小于气泡内部压力时,低气压段输出偏高故障现象的失效机理,并通过在空气环境下封装压力芯体,复现了故障现象,并建议增加对压力芯体进行低温低气压筛选试验。 展开更多
关键词 压阻效应 压力传感器 低气压输出 压力芯体 气泡
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基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计 被引量:20
5
作者 李丹丹 梁庭 +2 位作者 李赛男 姚宗 熊继军 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1315-1320,共6页
利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温... 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试,高温压力测试结果表明,在21℃(常温)至300℃的温度范围内,传感器敏感芯片可在压力量程内正常工作,传感器敏感芯片的线性度从0.9 985下降为0.9 865,控制在较小的范围内。高温压力下的性能测试结果表明,该压力传感器可用于300℃恶劣环境下的压力测量,其高温下的稳定性能为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 展开更多
关键词 高温压力传感器 压阻 敏感薄膜 SOI(绝缘体上硅) MEMS(微机电系统)
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单面多层结构硅微压传感器的研制 被引量:5
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作者 任建军 杨恒 +2 位作者 李昕欣 沈绍群 鲍敏杭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第4期1-6,共6页
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下... 提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足,从结构上给予了改进,文中给出了理论分析和实验结果。研制的微压传感器在400Pa的微小量程下,输出可达34mV/5V,非线性仅为±0.6%F.S. 展开更多
关键词 传感器 微压传感器 压阻 腐蚀 结构
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超孔隙水压力对低塑性黏性土桩土界面抗剪强度的影响 被引量:15
7
作者 王永洪 张明义 +1 位作者 刘俊伟 白晓宇 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期831-838,871,共9页
研究黏性土中桩土界面的抗剪强度及其参数受超孔隙水压力影响的规律,对工程实践具有重要意义。利用自制的大型恒刚度直剪仪,完成了一系列不同界面粗糙度、不同试样含水率和不同剪切速率试验条件下的直剪试验,分析了在不同试验条件下超... 研究黏性土中桩土界面的抗剪强度及其参数受超孔隙水压力影响的规律,对工程实践具有重要意义。利用自制的大型恒刚度直剪仪,完成了一系列不同界面粗糙度、不同试样含水率和不同剪切速率试验条件下的直剪试验,分析了在不同试验条件下超孔隙水压力变化规律,进而得到考虑超孔隙水压力的桩土界面抗剪强度及其参数的变化规律。研究结果表明:随着界面粗糙度等级提高,桩土界面超孔隙水压力减小,桩土界面抗剪强度、有效黏聚力和有效摩擦系数增加;随着含水率的增加,桩土界面超孔隙水压力增加,桩土界面抗剪强度降低,含水率对桩土界面抗剪强度的影响主要是改变了桩土界面的黏聚力,黏聚力先增大后减小,对摩擦系数的影响较小;特定试验条件下,随着剪切速率的增加,桩土界面超孔隙水压力增加,桩土界面抗剪强度降低,桩土界面黏聚力先增大后又减小,变化幅度不超过2 k Pa,对摩擦系数的影响较小。因此,桩土界面抗剪强度及其参数是界面粗糙度、试样含水率和剪切速率变化引起超孔隙水压力变化共同影响的结果,试验结果可供相关工程设计参考。 展开更多
关键词 静压桩 超孔隙水压力 直剪试验 界面阻力 硅压阻式传感器
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一种MEMS高温压力传感器 被引量:10
8
作者 王伟忠 何洪涛 +1 位作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第6期387-393,共7页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 压阻效应 高温
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基于压阻效应的陶瓷压力传感器 被引量:7
9
作者 邬林 陈丛 +2 位作者 钱江蓉 赵潇 胡国俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期26-28,共3页
设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力... 设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。 展开更多
关键词 压阻效应 陶瓷 压力传感器 压力检测 柔性调理电路
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电子探空仪气压传感器特性 被引量:5
10
作者 张伟星 王晓蕾 +1 位作者 陈晓颖 陈瑞林 《解放军理工大学学报(自然科学版)》 EI 北大核心 2011年第6期696-701,共6页
为了掌握电子探空仪气压传感器的测量性能及不同气压传感器的特性差异对测量准确度的影响,对硅压阻和电容膜盒2种气压传感器进行了一定时间的存储测试试验。利用同一环境下某一测试时间的气压标准值与传感器测量值的差值分析了2种气压... 为了掌握电子探空仪气压传感器的测量性能及不同气压传感器的特性差异对测量准确度的影响,对硅压阻和电容膜盒2种气压传感器进行了一定时间的存储测试试验。利用同一环境下某一测试时间的气压标准值与传感器测量值的差值分析了2种气压传感器的一致性,根据该差值随时间的变化分析了2种气压传感器的稳定性。结果表明,2种气压传感器的稳定性都没有一致的变化规律,但随时间的平均变化不超过±1.5hPa范围;2种气压传感器的一致性和稳定性特性对其测量性能影响较小;硅压阻气压传感器的一致性和稳定性均优于电容膜盒气压传感器。因此,硅压阻是一种较理想的电子探空仪气压传感器。 展开更多
关键词 探空仪 气压传感器 硅压阻 电容膜盒 一致性 稳定性
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基于应变片压阻效应的柔性传感器阵列的设计 被引量:15
11
作者 肖立志 郭兰申 张磊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第7期4-6,19,共4页
为了使应用于机器人"皮肤"的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传... 为了使应用于机器人"皮肤"的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传感器,根据应变片的压阻效应可知,在弹性元件表面的压力值与电阻的变化存在对应关系。为了能够快速识别每个传感器单元的受力信息,采用行扫描法对传感器阵列逐行扫描。为了能够大面积覆盖,采用FPC连接器对柔性传感器阵列块与块之间进行连接,以及进行传感器阵列与控制板之间信号的传递。 展开更多
关键词 机器人 柔性 压力传感器 压阻效应 弹性元件 行扫描法
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基于微机电系统的水下灵巧手触觉力测量传感器 被引量:4
12
作者 张建军 刘卫东 +1 位作者 张溢文 汤伟江 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期76-82,共7页
为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力... 为了实现深水环境下水下灵巧手抓取目标的定位及触觉力感知,设计了阵列式触觉力测量传感器.以硅杯作为力敏感核心,利用胶囊式差压状结构实现了水的静态压力矢量叠加下的触觉力测量,并消除了水的静态压力对触觉力测量的影响.利用弹性力学与板壳理论分析了方形硅杯底部变形与应力的解析解,并与有限元法的分析结果加以对比.结果表明,所设计的灵巧手触觉力测量传感器具有样本抓取的触觉感知及位置感知,其胶囊式差压状结构使得触觉力测量传感器能够消除水的静态压力的影响,硅杯式测量结构具有灵敏度高、误差小、输出应力大的特点. 展开更多
关键词 水下灵巧手 触觉力测量 差压补偿 压阻式传感器 硅杯
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一种SOI高温压力传感器敏感芯片 被引量:3
13
作者 王伟 梁庭 +5 位作者 李赛男 洪应平 葛冰儿 郑庭丽 贾平岗 熊继军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期243-248,共6页
从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装,研制出耐高... 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装,研制出耐高温压力传感器芯片,常温压力测试结果表明传感器敏感芯片在常温下灵敏度较高,非线性误差在0.1%以下,迟滞性小于0.5%。高温下的性能测试结果表明,传感器可以用于350℃恶劣环境条件下的压力测量,为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压阻 压力传感器 敏感芯片 高温
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高精度硅压阻式气压计设计 被引量:3
14
作者 高磊 马英辉 +1 位作者 刘祎 毛万华 《工矿自动化》 北大核心 2013年第12期21-25,共5页
针对硅压阻式气压传感器因温漂、离散性大而使其应用受限的问题,设计了一种高精度硅压阻式数字气压计。该气压计采用全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿和线性化处理,解决了硅压阻式气压传感器的温漂和非线性问题;在ATmega88PA微控... 针对硅压阻式气压传感器因温漂、离散性大而使其应用受限的问题,设计了一种高精度硅压阻式数字气压计。该气压计采用全温度范围的曲面拟合算法进行温度补偿和线性化处理,解决了硅压阻式气压传感器的温漂和非线性问题;在ATmega88PA微控制器内采用软件实现压力数据的温度补偿,并通过RS485接口将数据发送给上位机。测试结果表明,在-40~+60℃范围内,该气压计测量误差在0.50‰以内,满足设计要求。 展开更多
关键词 气压计 硅压阻式气压传感器 曲面拟合 温度补偿
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压阻式压力传感器零点输出研究 被引量:5
15
作者 李晶晶 岳瑞峰 刘理天 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第7期9-11,共3页
使用有限元方法 ,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ,结果表明 :由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ,即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ,传感器也可能存在零点输出。
关键词 压阻式 压力传感器 压阻效应 零点输出 力敏电阻条 温度分布
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高精度硅压阻式气压传感器系统设计 被引量:9
16
作者 周晓宇 张萌颖 +1 位作者 杜利东 赵湛 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第4期97-99,共3页
为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下... 为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45~45℃环境下,600~1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h Pa。 展开更多
关键词 硅压阻式气压传感器 芯片加热 PID控制 温度补偿
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基于小波神经网络的压力传感器温度补偿方法 被引量:9
17
作者 姚敏 赵敏 邢力 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第7期13-15,共3页
介绍了硅压阻式压力传感器温度误差产生的原因及其特点,在比较了多种神经网络优缺点的基础上,提出了一种利用小波神经网络对压力传感器温度误差及非线性误差进行补偿的方法。该网络与BP神经网络相比,具有更快的收敛速度和更好的补偿精... 介绍了硅压阻式压力传感器温度误差产生的原因及其特点,在比较了多种神经网络优缺点的基础上,提出了一种利用小波神经网络对压力传感器温度误差及非线性误差进行补偿的方法。该网络与BP神经网络相比,具有更快的收敛速度和更好的补偿精度。经过实验证明该网络能够有效地补偿压力传感器的温度非线性误差,在-40~60℃范围内,使温度误差从原来的5.4%降到了0.2%。 展开更多
关键词 温度补偿 硅压阻式压力传感器 小波神经网络
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导电橡胶复合材料压力传感特性研究 被引量:9
18
作者 仉月仙 李斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期11105-11109,共5页
基于填充型导电高分子柔性复合材料压阻效应,研究导电橡胶压力传感过程中的特殊性能。确定了实验材料与合成工艺,实验室制备出了炭黑填充型导电硅橡胶柔性复合材料,研究了复合材料压力传感特性主要影响因素。分别采用气相法和液相法对... 基于填充型导电高分子柔性复合材料压阻效应,研究导电橡胶压力传感过程中的特殊性能。确定了实验材料与合成工艺,实验室制备出了炭黑填充型导电硅橡胶柔性复合材料,研究了复合材料压力传感特性主要影响因素。分别采用气相法和液相法对炭黑粒子进行表面氧化改性,可有效提高炭黑在基体材料中的分散性,从而改善和提高压力传感性能。双组分基体材料压阻特性优于单组分材料,粘度越大,压阻特性越好,压力传感过程中的电阻弛豫时间越短,电阻迟滞特性系数越小。炭黑与多壁碳纳米管并用,可增强复合材料力敏效应,提高复合材料压力传感性能。 展开更多
关键词 导电橡胶 压阻效应 压力变送特性 柔性传感器
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半导体高温压力传感器的研究 被引量:2
19
作者 毛赣如 姚素英 +1 位作者 曲宏伟 张维新 《测控技术》 CSCD 北大核心 1996年第2期16-17,共2页
介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。
关键词 压阻效应 多晶硅 压力传感器 传感器
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一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置 被引量:2
20
作者 王权 丁建宁 +1 位作者 王文襄 杨平 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期214-216,221,共4页
随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适... 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 硅芯片 PYREX7740 静电键合 简易装置
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