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螺纹钢筋(棒材类)的精确计数方法 被引量:12
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作者 朱常青 冯筱林 杨建国 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1998年第5期559-564,共6页
本文提出了用数学形态学的腐蚀、膨胀操作、边界循环扫描收缩和消除伪象素点等算法对螺纹钢筋(棒材类)进行计数。
关键词 伪象素 螺纹钢筋 自动计数 计数 精确计数 棒材
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一种干法刻蚀形成高深宽比CIS Deep-P Well IMP掩模的工艺方法的探究
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作者 乔夫龙 耿金鹏 许鹏凯 《集成电路应用》 2018年第7期37-41,共5页
为有效提升CIS(CMOS Image Sensor)器件的FWC(Full Well Capacity),需要将更高能量的DWP IMP注入到更小的space pattern区,相比较单一的光刻胶,引入TRL(TriLayer:PR/Si HM/SOC)并使用干刻方法能有效地形成了high-aspect-ratio(高深宽比,... 为有效提升CIS(CMOS Image Sensor)器件的FWC(Full Well Capacity),需要将更高能量的DWP IMP注入到更小的space pattern区,相比较单一的光刻胶,引入TRL(TriLayer:PR/Si HM/SOC)并使用干刻方法能有效地形成了high-aspect-ratio(高深宽比,>20)的图案掩模。其中,DPW IMP阻挡掩模可以做到更厚,约4.2μm,DPW pattern的space可以做到更小,约0.2μm。该工艺革新为后续deeper DPW IMP,pixel shrinking,同时提升CIS器件的FWC光素性能提供了可能,针对引入TRL的干刻工艺的主要建立过程予以技术说明。 展开更多
关键词 集成电路制造 干刻刻蚀 CMOS图像传感器 full WELL capacity 光素性能 HIGH-ASPECT-RATIO Deep P-WELL IMP图案掩模 高深宽比 Tri-Layer PR/SiHM/SOC 像素压缩
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