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Wrinkle analysis of a space planar film reflect-array
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作者 Wei-wei XIAO Wu-jun CHEN Gong-yi FU 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期24-32,共9页
The presence of wrinkles in a membrane is the main factor that induces surface errors on space planar film reflect-arrays. Based on the commercial finite element (FE) package ABAQUS, a numerical procedure for membrane... The presence of wrinkles in a membrane is the main factor that induces surface errors on space planar film reflect-arrays. Based on the commercial finite element (FE) package ABAQUS, a numerical procedure for membrane wrinkle analysis was set up, and used to analyze a square planar film reflect-array under pure shear force to evaluate its induced wrinkle characteristics. First, the effect of shear force on the wrinkle pattern of the array was studied and validated by experiment. Second, the effect of prestress was studied. When the prestress increases, the quantity of the wrinkles increases, and the amplitude of the wrinkles decreases. Third, the influence of the boundary conditions was investigated. A frame side edge structure has a relatively smooth surface, but also relatively high stress. Finally, the behavior of a joint seam was analyzed. The results indicate that a joint band has a significant influence on the wrinkle pattern of the membrane. 展开更多
关键词 Space planar film reflect-array Wrinkle analysis Joint seam
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Photoluminescence Properties of Two-dimensional Planar Layer and Three-dimensional Island Layer for ZnO Films Grown Using MOCVD
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作者 HUANG Ke-ke HOU Chang-min +5 位作者 GAO Zhong-min LI Xiang-shan FENG Shou-hua ZHANG Yuan-tao ZHU Hui-chao DU Guo-tong 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2006年第6期692-695,共4页
ZnO(002) films with different thicknesses ranging from 7 to 300 nm were grown on sapphire(006) substrates via metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The two-dimensional(2D) planar layer and the three... ZnO(002) films with different thicknesses ranging from 7 to 300 nm were grown on sapphire(006) substrates via metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The two-dimensional(2D) planar layer and the three-dimensional(3D) island layer were studied by using of X-ray diffraction(XRD) rocking curves and atomic force microscopy (AFM). The room temperature photoluminescence (PL) spectra show a blue shift of the peak positions of the uhraviolet(UV) emission with increasing film thickness. The blue shift is remarkably high(393-380 nm) when an increase in film thickness(7-15 nm) is accompanied by the change of structure from a 2D planar layer to a 3D island layer. The PL spectra at 77 K also indicate that there are different transition mechanisms in the film thickness from a 2D planar layer to a 3D island layer near the 2D layer region. 展开更多
关键词 ZnO films Metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD) PHOTOLUMINESCENCE planar layer Island layer
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Magnetization reversal process in Fe/Si(001) single-crystalline film investigated by planar Hall effect
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作者 叶军 何为 +5 位作者 胡泊 汤进 张永圣 张向群 陈子瑜 成昭华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期424-427,共4页
A planar Hall effect(PHE) is introduced to investigate the magnetization reversal process in single-crystalline iron film grown on a Si(001) substrate.Owing to the domain structure of iron film and the characteris... A planar Hall effect(PHE) is introduced to investigate the magnetization reversal process in single-crystalline iron film grown on a Si(001) substrate.Owing to the domain structure of iron film and the characteristics of PHE,the magnetization switches sharply in an angular range of the external field for two steps of 90° domain wall displacement and one step of 180°domain wall displacement near the easy axis,respectively.However,the magnetization reversal process near the hard axis is completed by only one step of 90° domain wall displacement and then rotates coherently.The magnetization reversal process mechanism near the hard axis seems to be a combination of coherent rotation and domain wall displacement.Furthermore,the domain wall pinning energy and uniaxial magnetic anisotropy energy can also be derived from the PHE measurement. 展开更多
关键词 magnetic thin film domain wall displacement planar Hall effect
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基于ANCF的挠性太阳翼动力学建模及模态辨识研究 被引量:1
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作者 王慕昊 舒通通 +2 位作者 魏鸿超 赵亚涛 夏斌 《空间控制技术与应用》 CSCD 北大核心 2024年第1期68-74,共7页
可展薄膜结构平面太阳翼由于极具纤薄和轻柔的特性,导致其动力学性能参数显得相当复杂.为全面、准确地明晰大挠性太阳翼动力学特征对新型百公斤级低轨卫星姿态控制性能的影响,采用ANCF(absolute node coordinate formulation)索梁模型和... 可展薄膜结构平面太阳翼由于极具纤薄和轻柔的特性,导致其动力学性能参数显得相当复杂.为全面、准确地明晰大挠性太阳翼动力学特征对新型百公斤级低轨卫星姿态控制性能的影响,采用ANCF(absolute node coordinate formulation)索梁模型和ANCF薄膜单元构建主要挠性附件,基于索梁预应力建立大型空间可展结构的动力学模型.通过建立的动力学模型,综合考虑太阳光压力、气动阻力、重力梯度力矩和地磁力矩在内的复杂空间环境干扰,采用复模态指示函数(complex mode indication function,CMIF)进行薄膜结构平面太阳翼模态参数在轨辨识的研究.辨识结果与仿真分析结果的对比表明,CMIF方法能够有效地识别可展薄膜结构平面太阳翼的低阶固有模态,为该技术的工程实施提供了坚实的理论研究基础. 展开更多
关键词 薄膜结构平面太阳翼 绝对节点坐标法 预应力 复模态指示函数
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泥鳅扰动对稻田土壤孔隙水中砷的影响
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作者 把德功 周一敏 +3 位作者 吴家萌 付一强 李冰玉 雷鸣 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1993-2001,共9页
为探究不同养殖密度(低密度、中密度、高密度)泥鳅扰动对土壤孔隙水中砷(As)含量的影响,采集湖南浏阳稻田表层土,以泥鳅为扰动生物,对泥鳅扰动土壤孔隙水中As含量变化进行研究,为进一步开展土壤-水环境中As循环研究提供基础数据。结果表... 为探究不同养殖密度(低密度、中密度、高密度)泥鳅扰动对土壤孔隙水中砷(As)含量的影响,采集湖南浏阳稻田表层土,以泥鳅为扰动生物,对泥鳅扰动土壤孔隙水中As含量变化进行研究,为进一步开展土壤-水环境中As循环研究提供基础数据。结果表明:泥鳅扰动后,土壤pH随时间先升高后降低,扩散层变宽,并逐渐向深层土壤扩散,泥鳅组土壤pH表现为:中密度组>低密度组>高密度组,低密度组和中密度组土壤溶解氧(DO)显著高于对照组和高密度组(P<0.05),中密度组土壤DO略高于低密度组,推测中密度组的扰动能力较其他密度组强;土壤-水界面pH和DO梯度变化明显,低密度组和中密度组土壤-水界面DO变化梯度较高密度组大,分层现象明显,各处理土壤体系DO表现为:土壤上覆水>土壤-水界面>土壤;泥鳅扰动促进了As由土壤向土壤上覆水迁移释放,显著增加了土壤上覆水As含量,其中低密度组促进效果较中密度组和高密度组显著;各处理土壤孔隙水As含量随时间逐渐减小(淹水期除外),从土壤深处向土壤-水界面迁移,总体呈现为土壤表层小于深层,泥鳅扰动能显著减少土壤孔隙水As含量,尤其对低密度组和中密度组土壤孔隙水As含量减少具有一定促进作用,同时也促进了土壤中As向土壤-水界面迁移释放;第7天时,泥鳅组土壤孔隙水As含量变化最显著,贯穿于整个土壤深度,低密度组As含量显著小于中密度组和高密度组,说明低密度组促进效果较中密度组和高密度组显著,这与土壤上覆水结果一致。研究表明,泥鳅扰动显著减少了土壤孔隙水As含量,其中低密度组和中密度组对不同深度土壤孔隙水As含量减少具有一定的促进作用,同时也促进了土壤中As向土壤-水界面迁移释放。 展开更多
关键词 泥鳅 平面光极 稻田土壤 pH传感膜 DO传感膜 As
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Antisymmetric planar Hall effect in rutile oxide films induced by the Lorentz force
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作者 Yongwei Cui Zhaoqing Li +10 位作者 Haoran Chen Yunzhuo Wu Yue Chen Ke Pei Tong Wu Nian Xie Renchao Che Xuepeng Qiu Yi Liu Zhe Yuan Yizheng Wu 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第15期2362-2369,共8页
The conventional Hall effect is linearly proportional to the field component or magnetization component perpendicular to a film. Despite the increasing theoretical proposals on the Hall effect to the in-plane field or... The conventional Hall effect is linearly proportional to the field component or magnetization component perpendicular to a film. Despite the increasing theoretical proposals on the Hall effect to the in-plane field or magnetization in various special systems induced by the Berry curvature, such an unconventional Hall effect has only been experimentally reported in Weyl semimetals and in a heterodimensional superlattice. Here, we report an unambiguous experimental observation of the antisymmetric planar Hall effect(APHE) with respect to the in-plane magnetic field in centrosymmetric rutile RuO_(2) and IrO_(2) single-crystal films. The measured Hall resistivity is found to be linearly proportional to the component of the applied in-plane magnetic field along a particular crystal axis and to be independent of the current direction or temperature. Both the experimental observations and theoretical calculations confirm that the APHE in rutile oxide films is induced by the Lorentz force. Our findings can be generalized to ferromagnetic materials for the discovery of anomalous Hall effects and quantum anomalous Hall effects induced by in-plane magnetization. In addition to significantly expanding knowledge of the Hall effect, this work opens the door to explore new members in the Hall effect family. 展开更多
关键词 Antisymmetric planar Hall effect Lorentz force Rutile oxide films Crystal symmetry
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非平面碲硒镉薄膜太阳电池组件制备研究
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作者 李青霄 张心会 +2 位作者 李安琪 林彬娜 陈学义 《电源技术》 CAS 北大核心 2024年第2期259-262,共4页
随着光伏技术日益进步,其应用场景愈加细分,一些场景需要使用非平面光伏电池组件以兼顾其功能性与美观需求。基于顶衬碲硒镉薄膜太阳电池结构特点,利用玻璃热弯技术,在常压环境且充保护气体的管式炉中直接对顶衬碲硒镉薄膜太阳电池小面... 随着光伏技术日益进步,其应用场景愈加细分,一些场景需要使用非平面光伏电池组件以兼顾其功能性与美观需求。基于顶衬碲硒镉薄膜太阳电池结构特点,利用玻璃热弯技术,在常压环境且充保护气体的管式炉中直接对顶衬碲硒镉薄膜太阳电池小面板进行热弯,制备了非平面顶衬碲硒镉薄膜太阳电池小组件,使用I-V测试仪对其热弯前后I-V特性进行了研究。结果表明,热弯温度为610℃时,小组件的VOC、JSC、FF和效率与热弯前相比未见明显衰减,热弯温度为630℃时,小组件仍能保持约10%的光电转化效率。该研究证明,当应用场景需要非平面光伏电池时,通过直接热弯顶衬碲硒镉薄膜太阳电池面板制备非平面碲硒镉太阳电池组件是可行的,这为非平面碲硒镉太阳电池组件产业化提供了一种制备方法。 展开更多
关键词 碲硒镉 薄膜 非平面电池组件 太阳电池
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Preparation and Characterization of Hybrid ZnO/Ormosils Films
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作者 王宝玲 胡丽丽 +1 位作者 张丽艳 赵士龙 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第10期2799-2802,共4页
Hybrid ZnO/ormosils films are prepared by the sol-gel method. A FT-IR spectrometer, 900 UV/VIS/NIR spectrophotometer, atomic force microscope, and ellipsometer are employed to investigate microstructure and optical pr... Hybrid ZnO/ormosils films are prepared by the sol-gel method. A FT-IR spectrometer, 900 UV/VIS/NIR spectrophotometer, atomic force microscope, and ellipsometer are employed to investigate microstructure and optical properties of the films fired at different temperatures. The results show that the films with high transmittance and low surface roughness could be obtained at the heat-treatment temperature of 150℃, the refractive index and thickness of the film are 1.413, 2.11μm, respectively. Higher temperatures (350℃, 550℃) change the film microstructure severely, and then decrease the transmittance of the films, 展开更多
关键词 planar WAVE-GUIDE SOL-GEL PROCESS OPTICAL-PROPERTIES THIN-filmS SURFACE-PROPERTIES ORMOSIL filmS
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Effect of substrate curvature on thickness distribution of polydimethylsiloxane thin film in spin coating process
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作者 Ying Yan Ping Zhou +2 位作者 Shang-Xiong Zhang Xiao-Guang Guo Dong-Ming Guo 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第6期479-487,共9页
The polymer spin coating is critical in flexible electronic manufaction and micro-electro-mechanical system(MEMS)devices due to its simple operation, and uniformly coated layers. Some researchers focus on the effect... The polymer spin coating is critical in flexible electronic manufaction and micro-electro-mechanical system(MEMS)devices due to its simple operation, and uniformly coated layers. Some researchers focus on the effects of spin coating parameters such as wafer rotating speed, the viscosity of the coating liquid and solvent evaporation on final film thickness.In this work, the influence of substrate curvature on film thickness distribution is considered. A new parameter which represents the edge bead effect ratio(re) is proposed to investigate the influence factor of edge bead effect. Several operation parameters including the curvature of the substrate and the wafer-spin speed are taken into account to study the effects on the film thickness uniformity and edge-bead ratio. The morphologies and film thickness values of the spin-coated PDMS films under various substrate curvatures and coating speeds are measured with laser confocal microscopy. According to the results, both the convex and concave substrate will help to reduce the edge-bead effect significantly and thin film with better surface morphology can be obtained at high spin speed. Additionally, the relationship between the edge-bead ratio and the thin film thickness is like parabolic curve instead of linear dependence. This work may contribute to the mass production of flexible electronic devices. 展开更多
关键词 spin coating non-planar substrate film thickness distribution edge-bead effect
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基于1,2-二氰基苯/聚合物复合材料的高耐久性有机阻变存储器
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作者 李伟 朱慧文 +7 位作者 孙彤 屈文山 李建刚 杨辉 高志翔 施薇 魏斌 王华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期283-292,共10页
本文报道了一种基于1,2-二氰基苯(O-DCB)与聚(3-己基噻吩)(P3HT)复合薄膜的高耐久性有机阻变存储器(ORSM).ORSM表现出非易失型和双极性存储特性,电流开关比(I_(on/off))超过10^(4),耐久性高达400次,保持时间为10^(5)s,V_(set)和V_(reset... 本文报道了一种基于1,2-二氰基苯(O-DCB)与聚(3-己基噻吩)(P3HT)复合薄膜的高耐久性有机阻变存储器(ORSM).ORSM表现出非易失型和双极性存储特性,电流开关比(I_(on/off))超过10^(4),耐久性高达400次,保持时间为10^(5)s,V_(set)和V_(reset)分别为-6.9 V和2.6 V.器件的阻变机理是陷阱电荷的俘获与去俘获,即负偏压或正偏压诱导电荷陷阱的填充和抽离过程,导致电荷传输方式的改变,从而产生高低电阻间的切换.器件的高耐久性一方面是由于O-DCB较小的分子尺寸和较好的溶解性形成了均匀分布且稳定的电荷陷阱,另一方面是由于O-DCB较好的分子平面促进了其与P3HT共轭链的相互作用.该研究为高耐久性ORSM的实现提供了一种有效途径,加快了ORSM的商业化应用进程. 展开更多
关键词 有机阻变存储器 聚合物/小分子复合薄膜 分子平面性 高耐久性
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高质量二维WTe2薄膜的可控制备及电输运性能研究
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作者 赵新 卢志红 +3 位作者 张振华 肖杨 冯金地 甘凌霄 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2023年第6期418-423,共6页
以WCl_(6)为前驱体,采用化学气相沉积法制备二维WTe_(2)薄膜材料。借助X射线衍射仪、拉曼光谱、原子力显微镜、综合物性测量系统等探究了前驱体用量对二维WTe_(2)薄膜质量的影响并对薄膜的电输运性能进行表征。结果表明,在500℃下,仅需1... 以WCl_(6)为前驱体,采用化学气相沉积法制备二维WTe_(2)薄膜材料。借助X射线衍射仪、拉曼光谱、原子力显微镜、综合物性测量系统等探究了前驱体用量对二维WTe_(2)薄膜质量的影响并对薄膜的电输运性能进行表征。结果表明,在500℃下,仅需10 min的生长时间就可以获得大面积的WTe_(2)薄膜,且薄膜厚度随前驱体用量的减少而减薄。WCl_(6)前驱体为0.6 g时所制多层二维WTe_(2)薄膜在温度为10 K、磁场强度为50000 Oe下的磁电阻率为1.54%,该磁电阻率仍未达到饱和。样品平面霍尔电阻随电场和磁场夹角变化而周期性变化,表明所制WTe_(2)薄膜具有和块体WTe_(2)相似的电输运特性。 展开更多
关键词 二维材料 WTe_(2)薄膜 WCl_(6) 前驱体 磁电阻率 平面霍尔电阻 电输运性能
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可压缩气体中带电Newton流体平面液膜的不稳定性分析
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作者 段润泽 张晓磊 +2 位作者 张恒 刘联胜 王海霞 《气体物理》 2023年第5期70-82,共13页
液体雾化被广泛应用于工业、农业等领域,雾化过程中液体首先形成液膜,液膜在气液边界层内出现不稳定,导致液膜破碎。因此液膜的不稳定性对液体雾化起着非常重要的作用,有必要对液膜的不稳定性进行研究。采用数值计算的方法对可压缩气体... 液体雾化被广泛应用于工业、农业等领域,雾化过程中液体首先形成液膜,液膜在气液边界层内出现不稳定,导致液膜破碎。因此液膜的不稳定性对液体雾化起着非常重要的作用,有必要对液膜的不稳定性进行研究。采用数值计算的方法对可压缩气体中黏性平面液膜的不稳定性进行了研究,首先对黏性平面液膜和气体的速度分布进行推导,在此基础上采用谱方法对黏性平面液膜的不稳定性进行了研究。研究发现:在正弦和曲张模式下,施加电场会加速平面液膜的破碎;正弦模式比曲张模式更加不稳定,说明正弦模式在平面液膜不稳定中起主导作用;气体Mach数、电Euler数、气体Reynolds数、Weber数和动量通量比的增加会加速液膜的破裂;随着气体边界层与液膜厚度比和液体Reynolds数的增加,扰动波的增长速率降低,液膜变得更加稳定。 展开更多
关键词 平面液膜 带电流体 可压缩气体 不稳定性 谱方法
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基于厚薄膜混合封装基板的射频系统级封装设计
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作者 张磊 肖磊 《空天预警研究学报》 CSCD 2023年第6期438-441,共4页
采用芯片倒装的形式可以有效解决高功率微波芯片系统级封装(SIP)的散热问题,但基于厚膜工艺的LTCC/HTCC封装基板与倒装芯片存在尺寸失配、无法直接互联的问题.为此设计了一种基于厚薄膜混合技术的封装基板.首先通过内部采用传统厚膜工... 采用芯片倒装的形式可以有效解决高功率微波芯片系统级封装(SIP)的散热问题,但基于厚膜工艺的LTCC/HTCC封装基板与倒装芯片存在尺寸失配、无法直接互联的问题.为此设计了一种基于厚薄膜混合技术的封装基板.首先通过内部采用传统厚膜工艺、表面采用薄膜布线工艺的厚薄膜混合技术解决了芯片与封装基板尺寸失配的问题;然后对与芯片匹配的带地共面波导(CPWG)尺寸进行设计,采用梯形过渡结构使之与封装基板垂直过孔尺寸匹配;最后通过热仿真验证了该结构的系统散热性能.仿真结果表明,在射频性能良好情况下,本文封装结构散热性能优于传统形式封装. 展开更多
关键词 系统级封装 芯片倒装 厚薄膜混合技术 垂直过渡结构 带地共面波导 散热
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薄膜-泡沫复合平面调制靶的制备 被引量:8
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作者 尹强 朱方华 +2 位作者 周兰 张淑洋 张林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期365-368,共4页
利用浇注法制备了具有正弦波调制图纹的溴代聚苯乙烯薄膜,并在此基础上将低密度聚-4-甲基-1-戊烯(PMP)泡沫溶胶浇注在薄膜调制图纹的表面,从而得到了薄膜-泡沫复合平面调制靶样品。较为详细的讨论了具有正弦波调制图纹的复合平面调制靶... 利用浇注法制备了具有正弦波调制图纹的溴代聚苯乙烯薄膜,并在此基础上将低密度聚-4-甲基-1-戊烯(PMP)泡沫溶胶浇注在薄膜调制图纹的表面,从而得到了薄膜-泡沫复合平面调制靶样品。较为详细的讨论了具有正弦波调制图纹的复合平面调制靶的制备方法并通过台阶仪、显微镜观测了薄膜表面条纹的起伏以及薄膜-泡沫截面的复合情况,实验结果发现,采用此种方法得到的复合平面调制靶样品,其薄膜厚度、泡沫密度易于控制,薄膜、泡沫调制界面清晰,易于微靶的加工与装配。 展开更多
关键词 调制图纹 薄膜-泡沫复合 平面调制靶 浇注
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气膜孔喷气对涡轮气动性能影响的实验研究 被引量:13
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作者 乔渭阳 曾军 +3 位作者 曾文演 黄康才 孙大伟 张漫 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期14-19,共6页
为了认识气膜孔喷气对涡轮叶栅气动性能和流场结构的影响,应用涡轮平面叶栅风洞,实验测量和分析了在叶片表面不同位置气膜孔喷气情况下涡轮叶栅流场与性能,实验中气膜孔气流采用与涡轮叶栅相同的空气介质。实验结果表明,前缘气膜孔喷气... 为了认识气膜孔喷气对涡轮叶栅气动性能和流场结构的影响,应用涡轮平面叶栅风洞,实验测量和分析了在叶片表面不同位置气膜孔喷气情况下涡轮叶栅流场与性能,实验中气膜孔气流采用与涡轮叶栅相同的空气介质。实验结果表明,前缘气膜孔喷气使得涡轮叶栅损失随喷气流量增大而单调增大;但是,叶片压力面和吸力面气膜孔喷气对涡轮叶栅损失影响规律是复杂的,由于叶片表面不同位置流动特点的不同,在叶片表面不同位置的气膜孔喷气对涡轮叶栅流动损失和流动结构等的影响也是不相同的。 展开更多
关键词 薄膜冷却 总压损失^+ 边界层 气动特性 平面叶栅实验^+
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基于聚吡咯的平面型葡萄糖传感器的研究 被引量:10
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作者 田承云 曹大均 +2 位作者 章宗穰 朱建中 张国雄 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第7期854-857,共4页
在含有葡萄糖氧化酶的聚吡咯修饰的铂电极表面涂覆一层明胶,再用戊二醛交联制备了葡萄糖传感器。该传感器的基础电极采用薄膜沉积和剥离技术制作,包括一个工作电极和一个对电极(兼作参比电极)。该传感器线性范围为 0.1-4 mm... 在含有葡萄糖氧化酶的聚吡咯修饰的铂电极表面涂覆一层明胶,再用戊二醛交联制备了葡萄糖传感器。该传感器的基础电极采用薄膜沉积和剥离技术制作,包括一个工作电极和一个对电极(兼作参比电极)。该传感器线性范围为 0.1-4 mmol/L;响应时间和灵敏度分别为15-25 s和18.1mA/mol.cm2。传感器在4℃冰箱中存放6个月其活性仍有90%以上。 展开更多
关键词 平面型 葡萄糖 传感器 聚吡咯 酶电极 测定
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ULSI化学机械抛光的研究与展望 被引量:7
17
作者 张楷亮 宋志棠 +1 位作者 封松林 Chen Bomy 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期226-230,共5页
随着半导体行业的飞速发展,集成电路特征尺寸的微细化,半导体薄膜表面的高平坦化对器件高性能、低成本、高成品率有着重要的影响。作为唯一能实现全局平坦化方法的化学机械抛光(CMP),近年来发展迅速,应用广泛。文章综述了化学机械抛光... 随着半导体行业的飞速发展,集成电路特征尺寸的微细化,半导体薄膜表面的高平坦化对器件高性能、低成本、高成品率有着重要的影响。作为唯一能实现全局平坦化方法的化学机械抛光(CMP),近年来发展迅速,应用广泛。文章综述了化学机械抛光技术的发展现状:包括化学机械抛光设备、抛光液、抛光机理模型及应用研究进展;在此基础上,对CMP下一步发展的方向及其应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 化学机械抛光 平坦化 薄膜 特大规模集成电路 抛光液
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钢制平面蜗轮传动弹流润滑分析 被引量:13
18
作者 邱昕洋 张光辉 秦大同 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期24-29,共6页
在弹性流体动压润滑理论和平面蜗轮传动啮合特点研究基础上,提出了该传动的弹性流体动压润滑模型。计算了整个接触区内的最小弹流膜厚,分析了该传动的弹流润滑状态,揭示了最小膜厚的分布规律:蜗杆啮入端的润滑状况优于啮出端,蜗杆齿顶... 在弹性流体动压润滑理论和平面蜗轮传动啮合特点研究基础上,提出了该传动的弹性流体动压润滑模型。计算了整个接触区内的最小弹流膜厚,分析了该传动的弹流润滑状态,揭示了最小膜厚的分布规律:蜗杆啮入端的润滑状况优于啮出端,蜗杆齿顶的润滑状况优于齿根。分析了工况参数和优化变量对该传动润滑性能的影响情况,结果表明:改善平面蜗轮传动润滑性能较为有效的方法是优化压力角和增大蜗杆分度圆直径。 展开更多
关键词 平面蜗轮传动 钢蜗轮 弹流润滑 膜厚分布
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有机-无机杂化钙钛矿太阳电池的研究进展 被引量:4
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作者 吴刚 张欣茜 +1 位作者 顾卓伟 陈红征 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期136-143,共8页
可溶液加工的高效太阳电池及其活性层材料一直是全世界学术界与产业界关注与研究的热点。近年来,由于优异的光吸收特性和载流子传输能力,以及相对简单的制备方法,具有立体三维结构的有机-无机杂化钙钛矿晶体材料在太阳电池中的应用受到... 可溶液加工的高效太阳电池及其活性层材料一直是全世界学术界与产业界关注与研究的热点。近年来,由于优异的光吸收特性和载流子传输能力,以及相对简单的制备方法,具有立体三维结构的有机-无机杂化钙钛矿晶体材料在太阳电池中的应用受到越来越多的关注,并在过去的两年内取得了重大的研究进展。有机-无机杂化钙钛矿太阳电池的光电转化效率(PCE)纪录被不断刷新,目前已达19.3%,与无机太阳电池相当。主要从有机-无机杂化钙钛矿材料的结构与性质、有机-无机杂化钙钛矿薄膜材料的制备方法、纳米多孔载体结构和平板结构钙钛矿太阳电池、杂化钙钛矿太阳电池的稳定性4个方面,介绍了有机-无机杂化钙钛矿太阳电池近期的研究进展,并对其发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 有机-无机杂化钙钛矿太阳电池 材料类型 薄膜制备方法 平板结构 稳定性
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静电自组装技术及其应用 被引量:5
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作者 李小甫 余海湖 姜德生 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第11期51-54,共4页
静电自组装技术有许多优点 :工艺简单 ,能精确控制膜厚 ,每层膜厚都能控制在分子级水平 ,膜的稳定性较传统方法有较大提高 ,适用于制造大面积的薄膜器件。本文综述了静电自组装技术的特点、注意事项及其应用前景。
关键词 分子器件 静电自组装 薄膜器件 平面光波导 纳米材料 膜厚控制
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