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Ge-based Medium Wave Infrared MCT 1280×1024 Focal Plane Detector
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作者 Jun Jiang 《Journal of Electronic & Information Systems》 2022年第1期10-17,共8页
Medium-wave HgCdTe thin films grown on germanium-based substrates by molecular beam epitaxy were treated by large area n-on-p injection junction and flip-flop mixing process.The chips interconnected with low-noise and... Medium-wave HgCdTe thin films grown on germanium-based substrates by molecular beam epitaxy were treated by large area n-on-p injection junction and flip-flop mixing process.The chips interconnected with low-noise and multimodal options readout circuit composed a 1280×1024 Medium-wave Infrared Focal Plane Cooling Detector whose pixel spacing was 15 microns.Its main photoelectric properties are average NETD equivalent to 18.5 mK,non-uniformity equivalent to 7.5%,operability equivalent to 98.97%.The paper also studies the substrate-removal technique on Germanium-based chip,which improves the stability and reliability of detector. 展开更多
关键词 Germanium substrate Megapixel Mercury cadmium tellurium Medium wave focal plane detector Back thinning
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p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件技术研究 被引量:4
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作者 李立华 熊伯俊 +4 位作者 杨超伟 李雄军 万志远 赵鹏 刘湘云 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期534-539,共6页
As注入掺杂的p-on-n结构器件具有暗电流小、R_(0)A值高、少子寿命长等优点,是长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件发展的重要趋势。介绍了由昆明物理研究所研究制备的77 K温度下截止波长为9.5μm、10.1μm和71 K下14.97μm的p-on-n长波、... As注入掺杂的p-on-n结构器件具有暗电流小、R_(0)A值高、少子寿命长等优点,是长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件发展的重要趋势。介绍了由昆明物理研究所研究制备的77 K温度下截止波长为9.5μm、10.1μm和71 K下14.97μm的p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件,对器件的响应率、NETD、暗电流及R_(0)A等性能参数进行测试分析。测试结果表明,器件的有效像元率在99.78%~99.9%之间,器件的NETD均小于21 mK。实现了p-on-n长波、甚长波碲镉汞红外焦平面器件的有效制备。 展开更多
关键词 碲镉汞红外探测器 p-on-n长波器件 焦平面性能测试 NETD 暗电流
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THz焦平面连续波透射成像系统的成像面积及对比度 被引量:4
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作者 田莉 金伟其 +2 位作者 蔡毅 刘敬 王霞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2164-2170,共7页
研究了THz辐射和THz焦平面器件的特性,分析了THz焦平面探测器连续波透射成像系统的能量传输过程。考虑大气衰减、器件限制等影响因素以及连续激光照射、目标场景与焦平面探测器之间的信号传递关系,推导出了连续波透射成像系统的成像面... 研究了THz辐射和THz焦平面器件的特性,分析了THz焦平面探测器连续波透射成像系统的能量传输过程。考虑大气衰减、器件限制等影响因素以及连续激光照射、目标场景与焦平面探测器之间的信号传递关系,推导出了连续波透射成像系统的成像面积及对比度两个重要的参量模型。然后设计并组建了连续波THz透射成像系统。根据所建模型分别对信封中的环三亚甲基三硝铵(RDX)粉末和塑料盒中的金属刀片两种不同被测物体的成像面积及对比度进行了计算。结果表明:基于理论推导的两种实例其最大成像面积可达4.74cm×6.32cm和3.534cm×4.712cm,图像对比度分别为0.242 2和0.306。与美国麻省理工学院(MIT)的成像系统进行了对比,该系统的成像面积为3cm×3cm或4cm×4cm,与本文推导结果处于同一数量级,由此验证了本文提出的模型和方法的合理性和有效性。 展开更多
关键词 THz焦平面阵列探测器 连续波透射成像 照明系统 成像面积 成像对比度
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数字化中波红外焦平面探测器组件研究进展 被引量:10
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作者 白丕绩 赵俊 +4 位作者 韩福忠 李立华 王博 姚立斌 李敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第1期15-22,共8页
介绍了美国、以色列、法国等西方发达国家在数字化中波红外焦平面探测器方面的研究现状及发展趋势。从数字读出电路(ROIC)角度出发,阐述了上述三个发达国家开发的列级ADC数字化中波红外焦平面探测器的最新研究成果。在SWaP概念牵引下,... 介绍了美国、以色列、法国等西方发达国家在数字化中波红外焦平面探测器方面的研究现状及发展趋势。从数字读出电路(ROIC)角度出发,阐述了上述三个发达国家开发的列级ADC数字化中波红外焦平面探测器的最新研究成果。在SWaP概念牵引下,以色列、法国都推出了小像元(中心距为10μm及以下)、高温工作、数字化输出的百万像素中波红外焦平面探测器组件。最后介绍了昆明物理研究所在数字化红外焦平面探测器组件研究方面取得的最新进展。昆明物理研究所突破列级ADC数字读出电路关键技术后,研制出一系列中心距(15μm、20μm、25μm)的640×512列级ADC数字化中波红外焦平面探测器组件,主要技术指标与国外同类数字化中波红外焦平面探测器组件相当。 展开更多
关键词 列级ADC数字读出电路 中波焦平面 数字化制冷红外探测器组件
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128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器 被引量:3
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作者 许佳佳 金巨鹏 +7 位作者 徐庆庆 徐志成 靳川 周易 陈洪雷 林春 陈建新 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期501-504,共4页
报道了128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面阵列探测器的研究成果.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.红外吸收区结构为13 ML(InAs)/9 ML(GaSb),器件采用PIN结构,焦平面阵列光敏元大小为40μm×40μm.通... 报道了128×128元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面阵列探测器的研究成果.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.红外吸收区结构为13 ML(InAs)/9 ML(GaSb),器件采用PIN结构,焦平面阵列光敏元大小为40μm×40μm.通过台面形成、侧边钝化和金属电极生长,以及与读出电路互连等工艺,得到了128×128面阵长波焦平面探测器.在77 K时测试,器件的100%截止波长为8μm,峰值探测率6.0×109cmHz1/2W-1.经红外焦平面成像测试,探测器可得到较为清晰的成像. 展开更多
关键词 长波红外探测器 InAs GASB Ⅱ类超晶格 焦平面阵列
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平板工作面的平面波动量及其测量 被引量:1
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作者 刘亚南 《测试技术学报》 1998年第3期178-182,共5页
本文叙述了我国“铸铁平板”和“岩石平板”国家标准对平板工作面平面波动量的检定要求和检定方法。详细推导了平面波动仪的检出原理,给出了平板局部平面度误差和局部缺陷与平面波动量的关系。最后本文还对接触斑点和 200 mm 直线度与... 本文叙述了我国“铸铁平板”和“岩石平板”国家标准对平板工作面平面波动量的检定要求和检定方法。详细推导了平面波动仪的检出原理,给出了平板局部平面度误差和局部缺陷与平面波动量的关系。最后本文还对接触斑点和 200 mm 直线度与平面波动量的关系进行了探讨。 展开更多
关键词 平面波动仪 应用 平板工作面 测量
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320×256元InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外焦平面探测器 被引量:6
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作者 许佳佳 陈建新 +8 位作者 周易 徐庆庆 王芳芳 徐志成 白治中 靳川 陈洪雷 丁瑞军 何力 《红外与毫米波学报》 CSCD 北大核心 2014年第6期598-601,共4页
报道了320×256元In As/Ga SbⅡ类超晶格长波红外焦平面阵列探测器的研制和性能测试.采用分子束外延技术在Ga Sb衬底上生长超晶格材料,器件采用PBIN结构,红外吸收区结构为14 ML(In As)/7 ML(Ga Sb),焦平面阵列光敏元尺寸为27μm... 报道了320×256元In As/Ga SbⅡ类超晶格长波红外焦平面阵列探测器的研制和性能测试.采用分子束外延技术在Ga Sb衬底上生长超晶格材料,器件采用PBIN结构,红外吸收区结构为14 ML(In As)/7 ML(Ga Sb),焦平面阵列光敏元尺寸为27μm×27μm,中心距为30μm,通过刻蚀形成台面、侧边钝化和金属接触电极生长,以及与读出电路互连等工艺,得到了320×256面阵长波焦平面探测器.在77 K温度下测试,焦平面器件的100%截止波长为10.5μm,峰值探测率为8.41×109cm Hz1/2W-1,盲元率为2.6%,不均匀性为6.2%,采用该超晶格焦平面器件得到了较为清晰的演示性室温目标红外热成像. 展开更多
关键词 长波红外探测器 INAS/GASB Ⅱ类超晶格 焦平面阵列
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微梁传感器弹性模量的测试 被引量:4
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作者 张天林 郭哲颖 +2 位作者 张青川 张泰华 何世平 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期567-572,共6页
利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁... 利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁传感器结构的固有频率,再结合数值模拟计算求出传感器的等效弹性模量.通过几种检测结果的分析和比较,获得了更加精确的微梁传感器单元的弹性模量值,为微梁的优化设计和评估提供了可靠的参数. 展开更多
关键词 微悬臂梁式传感器 红外探测器 弹性模量 谱面滤波 多普勒测振仪 纳米硬度计
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中波高重频激光干扰非线性响应现象试验研究
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作者 吴军勇 陈念江 +5 位作者 韩隆 谢桂娟 褚凡忠 李宝 魏磊 赵长松 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期846-852,共7页
针对中波探测器被中波高重频激光干扰时出现的非线性问题,设计了中波高重频激光器干扰制冷型中波HgCdTe焦平面探测器的干扰试验,分析了干扰出现的非线性响应输出现象,并得到了中波HgCdTe焦平面探测器干扰出现非线性响应时的阈值。
关键词 中波高重频激光 非线性响应 HgCdTe焦平面探测器
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