光相位延迟的二维测量及系统设计

本文提出了一种测量光相位延迟的新方法 :四步相移法 ,在此原理基础上采用面阵CCD作为光强探测器 ,设计了一套同时测量待测样品通光面上各点的相位延迟和波片的方位角的测量系统 ,并较详细叙述了该系统的测量原理、系统结构、软件编制及测量结果。实验结果显示该系统用于波片相位延迟测量时其误差不大于 4% ,测量波片方位角时其误差不大于 2 %。