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Design and fabrication of compound varifocal lens driven by polydimethylsiloxane film elastic deformation
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作者 缪文浩 韩泽峰 +3 位作者 赵瑞 梁忠诚 寇松峰 徐荣青 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期342-346,共5页
A compound varifocal lens based on electromagnetic drive technology is designed and fabricated, where the polydimethylsiloxane(PDMS) film acts as a driving component, while the PDMS biconvex lens and the plane-concave... A compound varifocal lens based on electromagnetic drive technology is designed and fabricated, where the polydimethylsiloxane(PDMS) film acts as a driving component, while the PDMS biconvex lens and the plane-concave lens form a coaxial compound lens system. The plane-concave lens equipped with driving coils is installed directly above the PDMS lens surrounded by the annular magnet. When different currents are applied, the annular magnet moves up and down, driving the PDMS film to undergo elastic deformation, and then resulting in longitudinal movement of the PDMS lens. The position change of the PDMS lens changes the focal length of the compound lens system. To verify the feasibility and practicability of this design, a prototype of our compound lens system is fabricated in experiment. Our proposed compound lens shows that its zoom ability reaches 9.28 mm when the current ranges from -0.20 A to 0.21 A. 展开更多
关键词 compound varifocal lens pdms film elastic deformation focal length electromagnetic force zoom ability
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用于人体运动姿态监测基于IL@PDMS复合膜的摩擦电纳米发电机
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作者 宋金沙 张甜 +2 位作者 乔冰琴 赵涓宏 穆继亮 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期134-140,共7页
摩擦电纳米发电机(TENG)在自供电可穿戴领域得到了广泛关注,通过材料修饰及制备工艺优化可实现对人体运动姿态的监测。研制了一种可用于人体运动姿态监测的TENG。一方面基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)引入高介电性离子液体(IL),制备了IL@PDM... 摩擦电纳米发电机(TENG)在自供电可穿戴领域得到了广泛关注,通过材料修饰及制备工艺优化可实现对人体运动姿态的监测。研制了一种可用于人体运动姿态监测的TENG。一方面基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)引入高介电性离子液体(IL),制备了IL@PDMS复合膜作为摩擦层,有效提高了摩擦电输出性能;另一方面,基于光刻微电子机械系统(MEMS)工艺及模板转移技术对IL@PDMS复合膜表面进行金字塔微结构修饰,实现摩擦效应的增强。与纯PDMS膜相比,IL的引入可使摩擦电输出电流及输出电压分别提高近4倍和6倍;另外,表面微结构的修饰也使得输出电流及输出电压分别提升近1.5倍和0.7倍。此外,当工作10 000个周期后,摩擦电输出性能仍保持不变。实验表明,当将IL@PDMS-TENG贴附在手指上时,实现了对人体运动姿态的有效监测。该研究为可穿戴人体运动传感器提供了新的技术路径及应用前景。 展开更多
关键词 IL@pdms复合膜 摩擦电纳米发电机(TENG) 表面修饰 运动监测 离子液体
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B-PDA-G/PDMS导热绝缘材料的制备及应用
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作者 程春芬 潘佳俊 +2 位作者 唐孔科 夏兆鹏 刘志涛 《现代纺织技术》 北大核心 2024年第4期10-20,共11页
为解决可穿戴电子设备中的散热问题,开发了一种高导热、高电绝缘性能的柔性热管理材料。通过选用氮化硼(BN)和石墨烯纳米片(GNPs)作为杂化导热填料,选取聚多巴胺(PDA)对杂化导热填料表面进行改性,然后与聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合,采用... 为解决可穿戴电子设备中的散热问题,开发了一种高导热、高电绝缘性能的柔性热管理材料。通过选用氮化硼(BN)和石墨烯纳米片(GNPs)作为杂化导热填料,选取聚多巴胺(PDA)对杂化导热填料表面进行改性,然后与聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合,采用热压法制备了不同填料质量分数的B-PDA-G/PDMS导热绝缘膜。利用傅里叶变换红外光谱、X射线光电子能谱和扫描电镜等表征手段,探究填料B-PDA-G与单一BN对PDMS膜导热性能的影响,并评估其在纺织领域的应用可行性。结果表明:B-PDA-G/PDMS膜在低填料质量分数时能够保持良好的力学性能、电绝缘性和导热性能。当BN与GNPs的质量比为5∶5,填料质量分数为30%时B-PDA-G/PDMS导热绝缘膜的面内导热率最高可达7.63 W/(m·K),相较于BN/PDMS和纯PDMS膜分别提高了2.8倍和27.3倍。B-PDA-G/PDMS作为封装材料应用于电热织物中表现出良好的导热和散热性能,表明其在柔性可穿戴设备和电子器件的热管理中应用潜力巨大。 展开更多
关键词 表面改性 聚二甲基硅氧烷(pdms) 聚多巴胺(PDA) 导热绝缘 热管理
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Ultrahydrophobic melamine sponge via interfacial modification with reduced graphene oxide/titanium dioxide nanocomposite and polydimethylsiloxane for oily wastewater treatment
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作者 Hamidatu Alhassan Ying Woan Soon +1 位作者 Anwar Usman Voo Nyuk Yoong 《Water Science and Engineering》 EI CAS CSCD 2024年第2期139-149,共11页
Three-dimensional(3D)porous absorbents have attracted significant attention in the oily wastewater treatment technology due to their high porosity and elasticity.Given their amphiphilic surface,they have a propensity ... Three-dimensional(3D)porous absorbents have attracted significant attention in the oily wastewater treatment technology due to their high porosity and elasticity.Given their amphiphilic surface,they have a propensity to simultaneously absorb water and oil,which restricts their range of applications.In this study,a reduced graphene oxide and titanium dioxide nanocomposite(rGO/TiO_(2))was used to fabricate an ultra-hydrophobic melamine sponge(MS)through interfacial modification using a solution immersion technique.To further modify it,poly-dimethylsiloxane(PDMS)was grafted onto its surface to establish stronger covalent bonds with the composite.The water contact angle of the sponge(rGO/TiO_(2)/PDMS/MS)was 164.2°,which satisfies the condition for ultrahydrophobicity.The evidence of its water repellency was demonstrated by the Cassie-Baxter theory and the lotus leaf effect.As a result of the increased density of rGO/TiO_(2)/PDMS/MS,it recorded an initial capacity that was 2 g/g lower than the raw MS for crude oil absorption.The raw MS retained 53% of its initial absorption capacity after 20 cycles of absorption,while rGO/TiO_(2)/PDMS/MS retained 97%,suggesting good recyclability.Excellent oil and organic solvent recovery(90%-96%)was demonstrated by rGO/TiO_(2)/PDMS/MS in oil-water combinations.In a continuous separation system,it achieved a remarkable separation efficiency of 2.4×10^(6)L/(m^(3)·h),and in turbulent emulsion separation,it achieved a demulsification efficiency of 90%-91%.This study provides a practical substitute for massive oil spill cleaning. 展开更多
关键词 Oily wastewater Reduced graphene oxide polydimethylsiloxane(pdms) Emulsion separation Melamine sponge
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钛酸钡/炭黑/PDMS三元压电复合薄膜及其在振动能量采集器上的应用研究
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作者 罗翠线 贾文涛 +1 位作者 侯娇红 张卫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期789-796,共8页
制备了性能优越的三元无铅钛酸钡/炭黑/PDMS(BaTiO_(3)/C/PDMS)压电复合薄膜。周期振动击打下BaTiO_(3)/C/PDMS压电复合薄膜输出电压为7.43 V,比BaTiO_(3)/PDMS压电复合薄膜的输出电压增加了143%。当导电材料C的质量分数为3.2 wt%时,BaT... 制备了性能优越的三元无铅钛酸钡/炭黑/PDMS(BaTiO_(3)/C/PDMS)压电复合薄膜。周期振动击打下BaTiO_(3)/C/PDMS压电复合薄膜输出电压为7.43 V,比BaTiO_(3)/PDMS压电复合薄膜的输出电压增加了143%。当导电材料C的质量分数为3.2 wt%时,BaTiO_(3)/C/PDMS复合薄膜可获得最大输出电压,且压电性能和铁电性能最优。复合薄膜产生的电能可储存至超级电容器,用于驱动对应的商用发光二极管。将BaTiO_(3)/PDMS和BaTiO_(3)/C/PDMS基复合压电材料分别应用于非对称振动能量采集器,实验结果表明系统的-3 dB带宽由未填充C时的8.7 Hz增加到填充C后的9.3 Hz。 展开更多
关键词 压电传感器件 钛酸钡/炭黑/pdms 复合薄膜 能量采集器
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A STUDY ON RADIATION CROSSLINKING OF POLYDIMETHYLSILOXANE (PDMS) RUBBER LATEX 被引量:2
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作者 魏根栓 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE CAS CSCD 2004年第2期147-154,共8页
Polydimethylsiloxane (PDMS) rubber latex with two sorts of sensitizers, trimethylol propane tri-methacrylate (TMPTMA) and diethylene glycol di-acrylate (DEGDA), was irradiated with γ-rays and electron beams in variou... Polydimethylsiloxane (PDMS) rubber latex with two sorts of sensitizers, trimethylol propane tri-methacrylate (TMPTMA) and diethylene glycol di-acrylate (DEGDA), was irradiated with γ-rays and electron beams in various conditions. The radiation crosslinking reaction of PDMS occurs in the inner phase of the latex and is relatively isolated from the water phase. Therefore the oxygen and the radicals produced by the radiolysis reaction of water almost have no effect on the crosslinking reaction of polymer. The experimental data correspond with the Charlesby-Pinner relationship in the main. The gelation doses, degree of crosslinking and degradation as well as G values of crosslinking were calculated. From them, the sensitization coefficients were derived to offer a quantitative measurement of the enhancing effect of sensitizer on the radiation crosslinking. 展开更多
关键词 Radiation crosslinking polydimethylsiloxane (pdms) LATEX SENSITIZER Charelsby-Pinner equation
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Moth-eye Structured Polydimethylsiloxane Films for High-Efficiency Perovskite Solar Cells 被引量:1
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作者 Mincheol Kim Segeun Jang +2 位作者 Jiwoo Choi Seong Min Kang Mansoo Choi 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期271-280,共10页
Large-area polydimethylsiloxane(PDMS)films with variably sized moth-eye structures were fabricated to improve the efficiency of perovskite solar cells.An approach that incorporated photolithography,bilayer PDMS deposi... Large-area polydimethylsiloxane(PDMS)films with variably sized moth-eye structures were fabricated to improve the efficiency of perovskite solar cells.An approach that incorporated photolithography,bilayer PDMS deposition and replication was used in the fabrication process.By simply attaching the moth-eye PDMS films to the transparent substrates of perovskite solar cells,the optical properties of the devices could be tuned by changing the size of the moth-eye structures.The device with 300-nm moth-eye PDMS films greatly enhanced power conversion efficiency of ~21 % due to the antireflective effect of the moth-eye structure.Furthermore,beautiful coloration was observed on the 1000-nm moth-eye PDMS films through optical interference caused by the diffraction grating effect.Our results imply that moth-eye PDMS films can greatly enhance the efficiency of perovskite solar cells and building-integrated photovoltaics. 展开更多
关键词 polydimethylsiloxane filmS Moth-eye PHOTOLITHOGRAPHY PEROVSKITE solar cells Photovoltaic
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介电层造孔优化ITO-PET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感性能 被引量:1
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作者 蒋哲 康聿辰 +6 位作者 杨涛 贺贝贝 梁景琪 赵子聪 余志超 李刚 王开鹰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第6期839-846,共8页
灵敏度是柔性压力传感器的重要性能指标,为了有效提高传感器的灵敏度,同时兼顾其他各性能,选用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合介电层材料、氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇脂(ITO-PET)作为电极材料、二亚硝基五亚甲基四胺(DPT)作为造孔试剂... 灵敏度是柔性压力传感器的重要性能指标,为了有效提高传感器的灵敏度,同时兼顾其他各性能,选用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为复合介电层材料、氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇脂(ITO-PET)作为电极材料、二亚硝基五亚甲基四胺(DPT)作为造孔试剂,通过介电层造孔的方式,尝试配置不同质量分数DPT的DPT-PDMS试剂来寻找最佳配比,使制备的ITOPET/PDMS/ITO-PET结构的电容式柔性压力传感器的灵敏度显著提高,在低压范围灵敏度达到了1.65 kPa^(-1),相较于没有造孔的PDMS电容式柔性压力传感器的灵敏度(0.36 kPa^(-1))提高了3.58倍,最终取得了灵敏度高、工作压力范围(0~8 kPa)宽、阻滞误差小、循环稳定性高、工作温度范围(0~80℃)广、响应时间(<65 ms)短的电容式压力传感特性。由此可见,对介电层造孔能够有效提高传感器的灵敏度,并且传感器的其他性能均表现良好。 展开更多
关键词 电容式柔性压力传感器 柔性材料 造孔 聚二甲基硅氧烷(pdms) 灵敏度
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基于GNPs/PDMS复合薄膜的柔性压阻传感器制备及性能研究 被引量:1
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作者 魏国 廖宁波 章城 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期536-542,共7页
目前柔性压力传感器已被用于众多领域,其中压阻薄膜是柔性压力传感器的核心。将石墨烯纳米片(GNPs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合,通过倒模的方法制备压阻薄膜,经测试,GNPs浓度为8%时,材料具有较好的性能。以此为基础,制备了压敏结构间距... 目前柔性压力传感器已被用于众多领域,其中压阻薄膜是柔性压力传感器的核心。将石墨烯纳米片(GNPs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合,通过倒模的方法制备压阻薄膜,经测试,GNPs浓度为8%时,材料具有较好的性能。以此为基础,制备了压敏结构间距为1.2 mm、直径大小为1.0 mm的GNPs/PDMS基压阻传感器,经测试,所制备传感器的加载响应时间为340 ms,卸载响应时间为260 ms,并具有较好的稳定性,同时,基于该压阻式柔性压力传感器实现了人体手腕关节处压力信号的测试。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 复合薄膜 石墨烯纳米片 聚二甲基硅氧烷
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PDMS共混液制备PDMS/RGO-CO抗紫外超疏水多功能织物研究
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作者 苏迎杰 王达菲 +6 位作者 杨文 张孟洋 侯东睿 罗静 孙庆功 杨豪 王剑峰 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2023年第2期138-146,共9页
多功能棉织物(CO)可以进一步扩大棉织物的应用范围。本文利用正己烷和乙酸乙酯作为聚二甲基硅氧烷(PDMS)的共溶剂,并与还原氧化石墨烯(RGO)结合,制备具有抗紫外和超疏水性能的多功能棉织物(PDMS/RGO-CO),并通过改变正己烷和乙酸乙酯混... 多功能棉织物(CO)可以进一步扩大棉织物的应用范围。本文利用正己烷和乙酸乙酯作为聚二甲基硅氧烷(PDMS)的共溶剂,并与还原氧化石墨烯(RGO)结合,制备具有抗紫外和超疏水性能的多功能棉织物(PDMS/RGO-CO),并通过改变正己烷和乙酸乙酯混合比例、棉织物浸渍共混液次数、PDMS浓度,探究最佳的制备工艺。结果表明,正己烷和乙酸乙酯体积比为7∶3、棉织物浸渍次数为2次、PDMS为100 g/L时,PDMS/RGO-CO的超疏水能力最好,接触角(CA)达到165.9°,紫外线防护系数(UPF)达到544.46。与此同时,PDMS/RGO-CO还表现出优异的防污性能和油水分离能力。 展开更多
关键词 棉织物 聚二甲基硅氧烷 还原氧化石墨烯 超疏水 抗紫外 油水分离
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激光直写法制备超疏水PDMS表面
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作者 王宁 马盼 +2 位作者 王旭 刘浩东 赵万芹 《轻工机械》 CAS 2023年第3期72-77,共6页
为探究激光直写制备超疏水PDMS表面的方法,课题组通过激光点阵列直写制备了具有不同粘附力的超疏水表面。使用飞秒激光点阵列扫描在PDMS表面制备微纳结构,通过改变激光功率和扫描点间距实现了不同疏水性和粘附力的超疏水表面。通过对界... 为探究激光直写制备超疏水PDMS表面的方法,课题组通过激光点阵列直写制备了具有不同粘附力的超疏水表面。使用飞秒激光点阵列扫描在PDMS表面制备微纳结构,通过改变激光功率和扫描点间距实现了不同疏水性和粘附力的超疏水表面。通过对界面润湿状态的分析,研究了表面结构疏水性和粘附性转变的原因。结果表明:使用飞秒激光直写点阵列结构在PDMS上制备超疏水表面是一种有效且可调粘附性的方法。 展开更多
关键词 超疏水 激光加工 微纳结构 聚二甲基硅氧烷
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改进PDMS的高灵敏度C-LPFG丙酮气体传感器研究
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作者 宋文超 牛萍娟 +2 位作者 解媛 石嘉 孙浩 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第10期17-20,共4页
本文研究了一种基于级联长周期光纤光栅(C-LFPG)丙酮气体传感器。以单个长周期光纤光栅(LPFG)结构为基础,对聚合物敏感涂层聚二甲基硅氧烷(PDMS)折射率变化进行了仿真分析,研究了LPFG和C-LPFG对丙酮气体的灵敏度的影响。结果表明:优化P... 本文研究了一种基于级联长周期光纤光栅(C-LFPG)丙酮气体传感器。以单个长周期光纤光栅(LPFG)结构为基础,对聚合物敏感涂层聚二甲基硅氧烷(PDMS)折射率变化进行了仿真分析,研究了LPFG和C-LPFG对丙酮气体的灵敏度的影响。结果表明:优化PDMS后C-LPFG传感器的灵敏度约为-605 nm/RIU,相较于传统C-LPFG的灵敏度增大了约6倍,是传统LPFG传感器灵敏度的5.26倍,检测范围扩大了约1.5倍。 展开更多
关键词 级联长周期光纤光栅 聚二甲基硅氧烷 丙酮检测 气体传感器
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基于PDMS/MWCNTs的柔性温度传感器
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作者 杨景铄 彭慧玲 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第10期91-94,共4页
柔性可穿戴设备在人体运动检测、实时健康监测、医学保健方面显现出广阔的应用前景。本文制备了一种具有负电阻温度系数(NTC)的聚二甲基硅氧烷(PDMS)/多壁碳纳米管(MWCNTs)复合材料,并利用此复合材料制备了一种柔性温度传感器。此传感... 柔性可穿戴设备在人体运动检测、实时健康监测、医学保健方面显现出广阔的应用前景。本文制备了一种具有负电阻温度系数(NTC)的聚二甲基硅氧烷(PDMS)/多壁碳纳米管(MWCNTs)复合材料,并利用此复合材料制备了一种柔性温度传感器。此传感器温度传感机制是,MWCNTs的载流子浓度随着温度升高而增加,PDMS/MWCNTs的电阻率减小。当MWCNTs质量分数为PDMS的10%时,在30~41℃范围内,传感器温度灵敏度为-0.183%/℃,相对电阻变化线性度为99.94%,并具有良好的重现性与稳定性。可以预见,基于PDMS/MWCNTs的柔性温度传感器,不仅可以用于监测人体与物体的温度变化,而且在可穿戴医疗设备中也有巨大的潜力。 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 聚二甲基硅氧烷 柔性传感器 温度监测
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Py/GC-MS法检测安全套润滑剂遗留微量物证
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作者 陈麒全 赵鹏程 +1 位作者 宋辉 赵亮 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期995-1002,共8页
采用裂解气相色谱(Py/GC-MS)建立了安全套润滑剂遗留微量物证的高灵敏检测方法。制作模拟性侵案件样本,用正己烷进行超声提取,过膜处理后在N2流下蒸发提取物至50μL,将收集的提取物用移液枪转移到热解坩埚,待溶剂完全蒸发后,通过Py/GC-M... 采用裂解气相色谱(Py/GC-MS)建立了安全套润滑剂遗留微量物证的高灵敏检测方法。制作模拟性侵案件样本,用正己烷进行超声提取,过膜处理后在N2流下蒸发提取物至50μL,将收集的提取物用移液枪转移到热解坩埚,待溶剂完全蒸发后,通过Py/GC-MS进行测定。方法学考察结果表明,该方法的定量下限为5μg/kg,回收率为91.0%~103%,相对标准偏差(RSD)为7.1%~8.3%。采用所建方法对聚二甲基硅氧烷(PDMS)标准品和网购销量前20名的安全套制作的模拟样本进行分析,考察了生物流体(血液、尿液、唾液等体液)的干扰和在不同介质(内衣、皮肤)的持久性。该方法从所有硅基润滑安全套样本中均检出PDMS,可排除空白样本的干扰。生物流体对PDMS检测不会产生干扰,在内衣、皮肤环境下的最长附着时间分别为72、48 h,确立了性侵案件发生后的检测时间窗口,为安全套润滑剂遗留微量物证的检测提供了一种准确可靠的方法。 展开更多
关键词 安全套 润滑油 聚二甲基硅氧烷 Py/GC-MS 持久性
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湿法腐蚀硅制作PDMS微流控芯片 被引量:5
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作者 张峰 张宏毅 +2 位作者 周勇亮 杨渭 陈彬彬 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期194-198,共5页
提出一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片的方法。用15%四甲基氢氧化铵溶液各向异性腐蚀硅(100)制作模具,然后经过浇模,中真空键合得到PDMS微流控芯片。整个过程耗时约10h。用SEM和激光共焦显微成像系统观察整个制作过程。分析了硅... 提出一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片的方法。用15%四甲基氢氧化铵溶液各向异性腐蚀硅(100)制作模具,然后经过浇模,中真空键合得到PDMS微流控芯片。整个过程耗时约10h。用SEM和激光共焦显微成像系统观察整个制作过程。分析了硅片模具及PDMS微流控芯片图案的一致性及粗糙度,结果表明硅片模具图案的相对标准偏差低于3%,表面粗糙度Ra是0.0.51μm,PDMS微流控芯片相应的分别是1%和0.183μm。用PDMS微流控芯片进行电泳分离试验,分离场强200V/cm,在4.7cm长的分离通道中,30s内成功分离了四苯磺酸基卟啉(TPPS)和羧基钴酞菁(TCPcCo(Ⅱ))的混合样品。 展开更多
关键词 微流控芯片 制作 湿法腐蚀 硅(100) 聚二甲基硅氧烷
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PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺 被引量:7
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作者 高均超 段力 +6 位作者 王英 刘民 王凤丹 丁桂甫 王强 郑芳芳 邵靖 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第5期333-339,共7页
介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移。首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDM... 介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移。首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDMS软模板。对所制备的PDMS软模板和硅片硬母版结构的形貌、结构尺寸进行观测对比,结果显示PDMS软模板成功复制了硅片上的图形。将α-氰基丙烯酸乙酯旋涂到PDMS软模板上,然后将PDMS软模板上的图形转印到航空发动机叶片表面进行二次复制。在叶片表面得到的图形化结果为MEMS传感器的制作打下了坚实的基础。本实验提出的这种用PDMS转印的软光刻工艺可代替传统的光刻工艺,能够普遍适用于曲表面的三维结构集成制造。 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷(pdms) 电感耦合等离子体(ICP) 软光刻 纳米压印 叶片
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基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列 被引量:2
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作者 朱壮晖 李刚 +2 位作者 周洪波 张华 赵建龙 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1731-1736,共6页
为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、... 为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、释放以及键合完成基于PDMS微电极制作.其中,微电极绝缘层制作和电极位点暴露采用浇注PDMS并结合外力夹压固化和PDMS湿法刻蚀来实现.使用该方法制作的PDMS电极,结构稳定、可靠性好,具有良好的贴附性.同时,通过SEM和阻抗测试对所制作的微电极进行了表面形貌和电学性能的测试和评价.结果显示,相对于传统方法制作的PDMS微电极,电化学阻抗降低了近60%(频率1 kHz处),基于该方法制作的PDMS微电极在力学和电学性能方面均具明显优势. 展开更多
关键词 微电极阵列 聚二甲基硅氧烷 电镀 人工视网膜
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基于二氧化硅溅射的PMMA和PDMS亲水改性 被引量:4
18
作者 叶雄英 李子尚 +1 位作者 冯金扬 马增帅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2096-2102,共7页
为了提高以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料的微流体通道的浸润性,通过溅射SiO2对PMMA和PDMS进行了表面亲水改性处理。首先,对PMMA和PDMS进行氧等离子刻蚀,改变其表面形貌;然后,溅射SiO2进行表面亲水改性处理,由不... 为了提高以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料的微流体通道的浸润性,通过溅射SiO2对PMMA和PDMS进行了表面亲水改性处理。首先,对PMMA和PDMS进行氧等离子刻蚀,改变其表面形貌;然后,溅射SiO2进行表面亲水改性处理,由不同溅射时间得到不同厚度的SiO2薄膜。在亲水处理后一段时间之内对PMMA和PDMS表面分别进行接触角测量,评价不同条件下的改性效果,并对改性后的样片进行黏接性测试。结果表明:氧等离子刻蚀后,溅射时间10min以上的PMMA表面可在10天内保持极亲水的状态;溅射时间15min后的PMMA在35天之内接触角不超过10°;PDMS的亲水性可保持10天,接触角不超过60°;高温老化处理能延缓PDMS表面疏水性的恢复。实验结果显示:氧等离子刻蚀之后,溅射SiO2的方法可使PMMA和PDMS获得较长时间的表面亲水改性效果。另外,亲水改性处理后的PDMS之间仍可实现有效黏接,改性PMMA与未改性PDMS也能有效黏接。 展开更多
关键词 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 聚二甲基硅氧烷(pdms) 亲水改性 溅射 二氧化硅 等离子刻蚀
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基于微流体芯片结构的PDMS二次倒模工艺研究 被引量:2
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作者 郝晓剑 张斌珍 +3 位作者 杨潞霞 范新磊 姚徳启 王春水 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第11期28-30,33,共4页
研究了用于制作微流体芯片结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与PDMS之间的倒模方法。首先,通过使用同一个微流体芯片模具倒出多个相同的PDMS负模结构;接着分别在各负模结构上溅射不同种类、不同厚度的金属,然后再对溅射过金属的负模上浇铸PDM... 研究了用于制作微流体芯片结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与PDMS之间的倒模方法。首先,通过使用同一个微流体芯片模具倒出多个相同的PDMS负模结构;接着分别在各负模结构上溅射不同种类、不同厚度的金属,然后再对溅射过金属的负模上浇铸PDMS并固化以进行二次倒模,最后对二次倒模出的PDMS微流体结构表面粘连、结构完整性、尺寸等进行观测,从而通过比较得到倒模溅射所需的最佳金属和溅射金属薄膜的最优厚度。此方法倒出的PDMS微流体结构完整性好,不仅提出了一种全新的用于PDMS倒模的方法,而且解决了PDMS与PDMS之间直接倒模时所遇到的相互粘连和结构撕裂等难题。 展开更多
关键词 微流体 聚二甲基硅氧烷 溅射 倒模
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PDMS-b-PPO共聚物膜的组分比对其微观结构及传质特性的影响 被引量:3
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作者 刘威 纪树兰 +2 位作者 高静 张伟 秦振平 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期32-37,42,共7页
通过羟氨缩合法合成了一系列不同比例"软-硬"段的PDMS-b-PPO共聚物,利用1 HNMR测定组分比,采用溶剂挥发法将其制备成膜并用于乙醇/水的渗透汽化分离,考察了PDMS-b-PPO共聚物的组分比对小分子在膜中溶解扩散性及膜微观结构的影... 通过羟氨缩合法合成了一系列不同比例"软-硬"段的PDMS-b-PPO共聚物,利用1 HNMR测定组分比,采用溶剂挥发法将其制备成膜并用于乙醇/水的渗透汽化分离,考察了PDMS-b-PPO共聚物的组分比对小分子在膜中溶解扩散性及膜微观结构的影响.利用接触角法测定了PDMS-b-PPO膜的溶解度参数,采用比重法计算了乙醇和水分子在膜中的相互作用参数及扩散系数,并通过AFM和EDS等手段对膜的微观结构进行表征.结果表明,PDMSb-PPO膜具有微相分离的特征结构,随着膜中PDMS浓度的增加,膜的微相分离结构更加明显,乙醇在膜中的溶解和扩散能力明显增强. 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷-聚苯醚嵌段共聚物(pdms-b-PPO) 渗透汽化 乙醇 微相分离 溶解-扩散
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