聚酰亚胺与金刚石复合研磨膜的研制

根据软基体研磨膜的使用特点和聚酰亚胺的特性,研究聚酰亚胺与金刚石制作复合研磨膜的可能性。经试验确认,所制作的复合研磨膜符合使用要求,聚酰亚胺可以与金刚石磨料通过机械混合制作性能优良的复合研磨膜。这种复合膜的研制成功开拓了聚酰亚胺的又一应用领域。