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多孔SiO_2增透膜改性研究
被引量:
4
1
作者
刘小林
张伟清
乐月琴
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
2000年第5期3-8,共6页
本文通过在SiO2 溶胶中掺入聚乙二醇 (PEG)或同时掺入PEG和聚硅氧烷 ,研究了改性后SiO2 增透膜的性能。结果表明掺入PEG仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,而同时掺入PEG和聚硅烷不仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,还极大地提高了膜层的抗机械...
本文通过在SiO2 溶胶中掺入聚乙二醇 (PEG)或同时掺入PEG和聚硅氧烷 ,研究了改性后SiO2 增透膜的性能。结果表明掺入PEG仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,而同时掺入PEG和聚硅烷不仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,还极大地提高了膜层的抗机械损伤能力 ,延长了薄膜的使用寿命 ,达到了改善薄膜性能的目的。
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关键词
多孔二氧化硅
增透膜
聚乙二醇
聚硅氧烷
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职称材料
题名
多孔SiO_2增透膜改性研究
被引量:
4
1
作者
刘小林
张伟清
乐月琴
机构
上海铁道大学基础部
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
2000年第5期3-8,共6页
文摘
本文通过在SiO2 溶胶中掺入聚乙二醇 (PEG)或同时掺入PEG和聚硅氧烷 ,研究了改性后SiO2 增透膜的性能。结果表明掺入PEG仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,而同时掺入PEG和聚硅烷不仅提高了薄膜的激光损伤阈值 ,还极大地提高了膜层的抗机械损伤能力 ,延长了薄膜的使用寿命 ,达到了改善薄膜性能的目的。
关键词
多孔二氧化硅
增透膜
聚乙二醇
聚硅氧烷
Keywords
porous silica antireflective film polyethylene glycol siloxane
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔SiO_2增透膜改性研究
刘小林
张伟清
乐月琴
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
2000
4
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